本发明涉及晶圆制造，尤其涉及一种晶圆斜面蚀刻设备和方法。背景技术、在通过等离子体对晶圆蚀刻处理过程中，会产生蚀刻副产物，例如碳、氧、氮、氟等组成的聚合物，该些聚合物往往形成在晶圆斜面边缘的顶部表面和底部表面上，并发生膜堆积。晶圆斜面边缘处所

本技术涉及道路情况，具体为一种改进型道路情况分析平台。背景技术、目前的平整度测试方法主要有断面类、反应类和主观评估类三种。断面类测试方法实际上是测定路面表面的高低起伏情况的，可通过精确测定高程得到，因此断面类的测试方法客观、再现性强、精度较

本发明公开一种用于两区域电网调频模型的磁悬浮飞轮阵列储能系统，涉及飞轮储能。背景技术、随着可再生能源大规模接入电网，传统电网控制面临新的问题。可再生能源具有随机波动性强，能量密度低、稳定性差等特性，给电网调度指定发电计划带来困难。此外，可再

本技术涉及灯具支架，特别涉及一种平衡支架。背景技术、现有的支架在安装灯具或中镜子等结构件时，不能实现使灯具或镜子处于平衡状态，或，无法实现自动调整灯具或镜子的平衡状态，需要人工去调整灯具或镜子的角度。技术实现思路、本实用新型旨在至少解决现有

本技术涉及密封护栏照明领域，具体是一种护栏照明装置。背景技术、护栏照明装置，可替代路灯杆直接用于对路面的照明，也可作单纯景观灯带，或是两者兼顾，实现道路照明、防撞和景观的结合统一。、在现有技术中，护栏照明装置较多，一种是护栏灯罩直接固定安装

本发明涉及计算机相关，特别是一种多核系统信息调度方法、装置、电子设备及存储介质。背景技术、现有的操作系统，对于处理器(central processing unit，cpu)的操作，例如微内核，采用的是针对任务的调度算法。在执行任务时，由进

本技术涉及机械零件打孔的,尤其涉及一种机械零件打孔机用废料收集机构。背景技术、在生产机械零件时，需要使用打孔机将机械零件的表面进行打孔加工，使得机械零件符合使用需求，打孔机一般通过钻孔的方式对机械零件进行打孔。、现有技术中，在进行机械零件的

本公开涉及石油勘探，尤其涉及一种砂岩储层流体识别方法及装置、设备及存储介质。背景技术、由碳酸盐含量引起的低孔-低渗砂岩储层流体识别困难是国内油气勘探开发面临的普遍问题。、现有技术中，针对低孔-低渗砂岩储层的流体性质提出的识别方法是，基于实验

本技术涉及检测，更具体地说，涉及一种激光测距仪料量检测装置。背景技术、在物料输送流程中，输送设备(如溜管、带式输送机等)内极易出现物料堵塞(俗称“堵料”)或无料(俗称“断料”)的现象，如果堵料或断料现象未得到及时发现，并采取有效措施制止，下

本申请属于电子设备，尤其涉及一种镜筒组件及头戴式设备。背景技术、随着科技的不断发展，扩展现实(extended reality，xr)、虚拟现实(virtualreality，vr)、增强现实(augmented reality，ar)、混