一种具有排积液效果的MO源钢瓶的制作方法

一种具有排积液效果的mo源钢瓶
技术领域
1.本实用新型属于mo源封装容器技术领域，具体涉及了一种具有排积液效果的mo源钢瓶。


背景技术：

2.液态mo源作为一种应用于制备金属氧化物薄膜，它能很好地避免多源输送面临的复杂性问题。其方法是将各种mo源（比如液态镁源、液态铟源、电子级三甲基铝、液态膦源等）溶入有机溶剂，得到良好的mo源混合溶液并注入mo源钢瓶内，然后通过向mo源钢瓶的混合溶液内注入惰性气体得到气态mo源蒸汽，再经过流量控制送入反应室，这种方法的优点是简化了mo源输送方式，对mo源物料的要求降低，便于实现多种薄膜的交替沉积以获得超晶格结构。
3.由于mo源混合溶液在使用一段时间后mo源会消耗殆尽，因此需要将其废液排出mo源钢瓶。然而申请人通过研究发现，由于常规的出液管安装在mo源钢瓶的侧壁，出液管的出液口位置高于钢瓶内腔的底部，因此，位于钢瓶内腔的底部上方和出液管的出液口下方的积液无法通过出液管排出，mo源钢瓶容易产生积液，由于积液的存在，在重复充装时mo源混合溶液时，之前的废液和新的mo源混合溶液一起混合，最终会导致mo源的纯度降低，影响mo源的供应质量。
4.因此，本技术人希望通过对mo源钢瓶自身结构进行创造性设计来解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种具有排积液效果的mo源钢瓶，可以明显改善mo源钢瓶的积液问题，有效地将钢瓶内腔的废液排出，明显降低了钢瓶内腔的残存积液对重复充装mo源钢瓶的影响，最终有效提高了本实用新型mo源钢瓶供应mo源的纯度。
6.本实用新型采用的技术方案如下：
7.一种具有排积液效果的mo源钢瓶，包括具有钢瓶内腔的钢瓶本体，所述钢瓶本体一侧固定安装有出液管，其中，所述出液管的出液端口与所述钢瓶内腔连通，且钢瓶本体底部设有与所述出液端口连通的排积液沉孔。
8.优选地，所述排积液沉孔的深度不大于所述钢瓶本体底部的1/2厚度。
9.优选地，所述出液端口的底部与所述排积液沉孔的底部呈平齐状，且所述出液端口的顶部位于所述钢瓶本体底部的上方。
10.优选地，所述钢瓶本体的一侧设有用于密封安装所述出液管的出液管安装孔。
11.优选地，所述钢瓶本体的另一侧设有备用管，所述备用管的备用端口位于所述钢瓶本体底部的上方。
12.优选地，所述备用端口与所述钢瓶本体底部之间具有间距，该间距的范围为3
‑
12mm。
13.优选地，所述出液管的内径范围为4
‑
10mm，且其壁厚范围为1
‑
3mm。
14.优选地，所述出液管通过满焊焊接工艺固定安装在所述钢瓶本体上，且所述出液管安装有接头，用于和外部管路快速连接。
15.优选地，所述钢瓶本体的上端部分别安装有液位计和压力计，分别用于监测所述钢瓶内腔的液体液位和压力。
16.优选地，所述钢瓶本体的上端部分别安装有惰性气体进气管以及mo源蒸汽出气管。
17.本技术人发现导致mo源钢瓶的废液无法完全排出导致mo源供应纯度降低的核心因素是由于现有的出液管的安装位置高于钢瓶内腔的底部，导致钢瓶内腔的废液无法完全排出，因此，本技术人特别提出了在钢瓶本体底部设置与出液管的出液端口连通的排积液沉孔结构，同时确保出液端口与钢瓶内腔连通，因而在实施排出废液过程中，位于钢瓶内腔的废液通过出液管排出钢瓶内腔，由于钢瓶本体底部设有与出液端口连通的排积液沉孔，可以最大程度地排出钢瓶内腔底部的积液，进而可以有效改善mo源废液在钢瓶内腔的积液问题，最终可靠保证了本实用新型的mo源钢瓶供应mo源的纯度。
附图说明
18.图1是本技术具体实施方式下mo源钢瓶的结构示意图（带有局部剖视效果）；
19.图2是图1的俯视图；
20.图3是图1中出液管的局部放大图。
具体实施方式
21.本实施例公开了一种具有排积液效果的mo源钢瓶，包括具有钢瓶内腔的钢瓶本体，钢瓶本体一侧固定安装有出液管，其中，出液管的出液端口与钢瓶内腔连通，且钢瓶本体底部设有与出液端口连通的排积液沉孔。
22.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
23.请参见图1、图2和图3所示，一种具有排积液效果的mo源钢瓶1，包括具有钢瓶内腔10的钢瓶本体20，优选地，在本实施方式中，钢瓶本体20的上端部分别安装有液位计31和压力计32，分别用于监测钢瓶内腔10的液体液位和压力；钢瓶本体20的上端部分别安装有惰性气体进气管33以及mo源蒸汽出气管34。
24.在本实施方式中，钢瓶本体20一侧固定安装有出液管40，其中，出液管40的出液端口41与钢瓶内腔10连通，且钢瓶本体底部21设有与出液端口41连通的排积液沉孔22；优选地，为了进一步出液管40的排积液效果，在本实施方式中，出液端口41的底部与排积液沉孔22的底部呈平齐状，且出液端口41的顶部位于钢瓶本体底部21的上方；优选地，为了利于安装，在本实施方式中，钢瓶本体20的一侧设有用于密封安装出液管40的出液管安装孔，将出液管安装孔与出液管40进行密封安装连接；
25.优选地，为了确保钢瓶本体底部21的结构强度，在本实施方式中，排积液沉孔22的深度不大于钢瓶本体底部21的1/2厚度，具体优选地，在本实施方式中，排积液沉孔22的深度为钢瓶本体底部21的约1/3厚度；
26.优选地，在本实施方式中，钢瓶本体20的另一侧设有备用管50，备用管50的备用端口51位于钢瓶本体底部21的上方，可以作为备用的进液管或出液管或其他功能，本实施例不做特别限制；进一步优选地，在本实施方式中，备用端口51与钢瓶本体底部21之间具有间距，该间距的范围为3
‑
12mm；
27.优选地，在本实施方式中，出液管40的内径范围为4
‑
10mm，且其壁厚范围为1
‑
3mm；在安装时，出液管40通过满焊焊接工艺固定安装在钢瓶本体20上，且出液管40安装有接头42，用于和外部管路（图未示出）快速连接，本实施例中的备用管50可以参照出液管的结构设计。
28.本实施例特别提出了在钢瓶本体底部21设置与出液管40的出液端口41连通的排积液沉孔22结构，同时确保出液端口41与钢瓶内腔10连通，因而在实施排出废液过程中，位于钢瓶内腔10的废液通过出液管40排出钢瓶内腔10，由于钢瓶本体底部21设有与出液端口41连通的排积液沉孔22，可以最大程度地排出钢瓶内腔10的积液，进而可以有效改善mo源废液在钢瓶内腔10的积液问题，最终可靠保证了本实用新型的mo源钢瓶供应mo源的纯度。
29.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
30.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。