一种半导体晶圆用的安装结构的制作方法

1.本实用新型涉及安装结构技术领域，具体为一种半导体晶圆用的安装结构。


背景技术：

2.晶圆是制造半导体芯片的一种硅晶片，是将参有特殊杂质的硅晶体拉成硅晶棒后，经过打磨与切削制成的，制成的晶圆将安装在传输设备中运送向各个芯片制造的步骤机器中，直至完成晶圆上芯片的制造，而这些都离不开晶圆的安装设备。
3.在生产晶圆的过程中需要对晶圆进行覆膜，需要先将晶圆安装到晶圆卡槽中，之后放入覆膜机中进行覆膜，但晶圆质地较脆，安装时易使晶圆破损，且直接用手接触会影响晶圆的质量，从而降低晶圆品质，并且晶圆在运输过程中容易受到惯性力等外力的影响，从而使晶圆的位置发生偏移，不利于晶圆到达下一个机器中的加工，所以需要设计一种安装时晶圆不易破损，且晶圆的位置不易发生偏移的半导体晶圆用的安装结构来解决该问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆用的安装结构，具备安装时晶圆不易破损，且安装时晶圆的位置不易发生偏移的优点，解决了背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆用的安装结构，包括承重板以及固定连接在承重板上的第一支撑板，所述第一支撑板上转动连接有转动杆，所述转动杆上固定连接有齿轮，所述承重板上固定连接有第二支撑板，所述第二支撑板上滑动连接有滑动柱，所述滑动柱上固定连接有齿条，所述齿条与齿轮啮合，所述齿条远离齿轮的一端固定连接有连接块，所述连接块上滑动连接有支撑块，所述支撑块上固定连接有吸盘，所述吸盘上吸附有晶圆，所述承重板上固定连接有承重块，所述承重块上放置有放置台，所述放置台上放置有晶圆卡槽，所述承重块上设有防止晶圆跑偏的限位机构。
6.优选的，所述限位机构包括第四支撑板，所述承重块上固定连接有第三支撑板，所述第三支撑板的具体数量为两组，且每组所述第三支撑板上固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆上固定连接有第四支撑板，两组所述第四支撑板分别与放置台的两侧相抵。
7.优选的，所述限位机构包括限位杆，每组所述第四支撑板上固定连接有限位柱，所述限位柱上固定连接有限位杆，两组所述限位杆的两端分别与支撑块贴合，所述连接块上开设有与限位杆配合的通槽。
8.优选的，所述滑动柱上固定连接有第一滑块，所述第二支撑板上开设有与第一滑块配合的滑槽。
9.优选的，所述伸缩杆上套接有弹簧，所述弹簧的两端分别与第三支撑板和第四支撑板相抵。
10.优选的，所述转动杆远离齿轮的一端固定连接有转动块，所述转动块上固定连接有把手。
11.优选的，所述支撑块上固定连接有第二滑块，所述连接块上开设有与第二滑块配
合的滑槽。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：本实用新型通过设置承重板达到对整体设备支撑的效果，通过设置第一支撑板达到对转动杆支撑的效果，通过设置转动杆达到人工摇动把手时通过转动杆达到齿轮转动的效果，通过设置齿轮达到齿条滑动的效果，通过设置第二支撑板达到支撑滑动柱的效果，通过设置滑动柱达到支撑齿条的效果，通过设置齿条达到连接块滑动的效果，通过设置连接块达到连接块滑动时支撑块同步滑动的效果，通过设置支撑块达到支撑块滑动时吸盘同步滑动的效果，通过设置吸盘达到对晶圆吸附的效果，通过设置承重块达到支撑放置台和限位机构的效果，通过设置放置台达到放置晶圆卡槽的效果，通过设置第三支撑板达到支撑伸缩杆的效果，通过设置伸缩杆达到支撑第四支撑板的效果，通过设置第四支撑板达到装夹放置台且支撑限位柱的效果，通过设置限位柱达到限位杆滑动且当连接块滑动时与限位柱相抵达到限位的效果，通过设置限位杆达到当人工放置放置台时，第四支撑板会随之移动，从而限位杆滑动达到使得支撑块滑动与放置台处于同一水平线的效果，通过设置第一滑块和第二支撑板上开设的滑槽达到滑动柱可以滑动且支撑齿条的效果，通过设置伸缩杆和弹簧达到为放置台定位且支撑块快速定位的效果，通过设置转动块达到支撑把手的效果，通过设置把手达到当人工摇动把手时转动杆转动的效果，通过设置第二滑块和连接块上开设的滑槽达到支撑块可以滑动的效果。
13.通过上述结构的配合解决了晶圆在安装时易破损的问题，同时解决了晶圆在安装时易发生偏移的问题。
附图说明
14.图1为本实用新型整体的结构示意图；
15.图2为本实用新型伸缩杆和弹簧的结构示意图；
16.图3为本实用新型连接块和支撑块的结构示意图；
17.图4为本实用新型限位杆和限位柱的结构示意图。
18.图中：1、承重板；101、第一支撑板；1011、转动杆；1012、转动块； 1013、把手；1014、齿轮；102、第二支撑板；1021、滑动柱；1022、第一滑块；1023、齿条；1024、连接块；1025、支撑块；1026、吸盘；1027、第二滑块；103、承重块；1031、第三支撑板；1032、伸缩杆；1033、弹簧；1034、第四支撑板；1035、限位杆；1036、限位柱；1037、放置台。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.本实用新型提供一种技术方案：一种半导体晶圆用的安装结构，包括承重板1以及固定连接在承重板1上的第一支撑板101，第一支撑板101上转动连接有转动杆1011，转动杆1011上固定连接有齿轮1014，承重板1上固定连接有第二支撑板102，第二支撑板102上滑动连接有滑动柱1021，滑动柱 1021上固定连接有齿条1023，齿条1023与齿轮1014啮合，齿条
1023远离齿轮1014的一端固定连接有连接块1024，连接块1024上滑动连接有支撑块 1025，支撑块1025上固定连接有吸盘1026，吸盘1026上吸附有晶圆，承重板1上固定连接有承重块103，承重块103上放置有放置台1037，放置台1037 上放置有晶圆卡槽，承重块103上设有防止晶圆跑偏的限位机构。
21.参阅图1、图2，通过设置承重板1达到对整体设备支撑的效果，通过设置第一支撑板101达到对转动杆1011支撑的效果，通过设置转动杆1011达到人工摇动把手1013时通过转动杆1011达到齿轮1014转动的效果，通过设置齿轮1014达到齿条1023滑动的效果，通过设置第二支撑板102达到支撑滑动柱1021的效果，通过设置滑动柱1021达到支撑齿条1023的效果，通过设置齿条1023达到连接块1024滑动的效果，通过设置连接块1024达到连接块1024滑动时支撑块1025同步滑动的效果，通过设置支撑块1025达到支撑块1025滑动时吸盘1026同步滑动的效果，通过设置吸盘1026达到对晶圆吸附的效果，通过设置承重块103达到支撑放置台1037和限位机构的效果，通过设置放置台1037达到放置晶圆卡槽的效果。
22.限位机构包括第四支撑板1034，承重块103上固定连接有第三支撑板 1031，第三支撑板1031的具体数量为两组，且每组第三支撑板1031上固定连接有伸缩杆1032，伸缩杆1032上固定连接有第四支撑板1034，两组第四支撑板1034分别与放置台1037的两侧相抵。
23.参阅图2、图4，通过设置第三支撑板1031达到支撑伸缩杆1032的效果，通过设置伸缩杆1032达到支撑第四支撑板1034的效果，通过设置第四支撑板1034达到装夹放置台1037且支撑限位柱1036的效果。
24.限位机构包括限位杆1035，每组第四支撑板1034上固定连接有限位柱 1036，限位柱1036上固定连接有限位杆1035，两组限位杆1035的两端分别与支撑块1025贴合，连接块1024上开设有与限位杆1035配合的通槽。
25.参阅图2、图4，通过设置限位柱1036达到限位杆1035滑动且当连接块 1024滑动时与限位柱1036相抵达到限位的效果，通过设置限位杆1035达到当人工放置放置台1037时，第四支撑板1034会随之移动，从而限位杆1035 滑动达到使得支撑块1025滑动与放置台1037处于同一水平线的效果。
26.滑动柱1021上固定连接有第一滑块1022，第二支撑板102上开设有与第一滑块1022配合的滑槽。
27.参阅图1，通过设置第一滑块1022和第二支撑板102上开设的滑槽达到滑动柱1021可以滑动且支撑齿条1023的效果。
28.伸缩杆1032上套接有弹簧1033，弹簧1033的两端分别与第三支撑板1031 和第四支撑板1034相抵。
29.参阅图2，通过设置伸缩杆1032和弹簧1033达到为放置台1037定位且支撑块1025快速定位的效果。
30.转动杆1011远离齿轮1014的一端固定连接有转动块1012，转动块1012 上固定连接有把手1013。
31.参阅图1，通过设置转动块1012达到支撑把手1013的效果，通过设置把手1013达到当人工摇动把手1013时转动杆1011转动的效果。
32.支撑块1025上固定连接有第二滑块1027，连接块1024上开设有与第二滑块1027配合的滑槽。
33.参阅图3，通过设置第二滑块1027和连接块1024上开设的滑槽达到支撑块1025可以滑动的效果。
34.工作原理：该一种半导体晶圆用的安装结构使用时，通过设置承重板1 达到对整体设备支撑的效果，通过设置第一支撑板101达到对转动杆1011支撑的效果，通过设置转动杆1011达到人工摇动把手1013时通过转动杆1011 达到齿轮1014转动的效果，通过设置齿轮1014达到齿条1023滑动的效果，通过设置第二支撑板102达到支撑滑动柱1021的效果，通过设置滑动柱1021 达到支撑齿条1023的效果，通过设置齿条1023达到连接块1024滑动的效果，通过设置连接块1024达到连接块1024滑动时支撑块1025同步滑动的效果，通过设置支撑块1025达到支撑块1025滑动时吸盘1026同步滑动的效果，通过设置吸盘1026达到对晶圆吸附的效果，通过设置承重块103达到支撑放置台1037和限位机构的效果，通过设置放置台1037达到放置晶圆卡槽的效果。
35.通过设置第三支撑板1031达到支撑伸缩杆1032的效果，通过设置伸缩杆1032达到支撑第四支撑板1034的效果，通过设置第四支撑板1034达到装夹放置台1037且支撑限位柱1036的效果。
36.通过设置限位柱1036达到限位杆1035滑动且当连接块1024滑动时与限位柱1036相抵达到限位的效果，通过设置限位杆1035达到当人工放置放置台1037时，第四支撑板1034会随之移动，从而限位杆1035滑动达到使得支撑块1025滑动与放置台1037处于同一水平线的效果。
37.通过设置第一滑块1022和第二支撑板102上开设的滑槽达到滑动柱1021 可以滑动且支撑齿条1023的效果。
38.通过设置伸缩杆1032和弹簧1033达到为放置台1037定位且支撑块1025 快速定位的效果。
39.通过设置转动块1012达到支撑把手1013的效果，通过设置把手1013达到当人工摇动把手1013时转动杆1011转动的效果。
40.通过设置第二滑块1027和连接块1024上开设的滑槽达到支撑块1025可以滑动的效果。
41.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。