一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置的制作方法

1.本实用新型涉及药剂浓度控制装置，具体为一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置。


背景技术：

2.半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
3.在清洗时会采用清洗机来进行清洗，现有的清洗机原有的加药箱截面积较大，相邻的液位高度传感器能测量的最小体积变化是500ml，这样液位高度传感器采集精度低，进而影响药液加入精度，影响浓度平衡，清洗效果差。


技术实现要素：

4.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置，有效的解决了现有的清洗机原有的加药箱截面积较大，相邻的液位高度传感器能测量的最小体积变化是500ml，这样液位高度传感器采集精度低，进而影响药液加入精度，影响浓度平衡，清洗效果差的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括用于清洗的清洗机加药箱以及用于存储药液的储液腔，还包括液位传感器和浓度均衡机构，所述加药箱内侧的底部均匀安装有若干个液位传感器，加药箱的顶端设置有浓度均衡机构；
6.浓度均衡机构包括出液管、回液管、第一龙门架、加液管、加料斗、密封盖、第一通孔、横管、输液管、第二龙门架、第二通孔和电磁阀，加药箱一侧的底部均匀设置有若干个出液管，出液管的一端连接有回液管，加药箱顶端靠近一侧位置处固定有第一龙门架，第一龙门架的顶端插接有若干个加液管，加液管的顶端设置有加料斗，加料斗的顶端旋接有密封盖，加液管的底端连接有横管，回液管的一端与横管的一端连接，横管的另一端连接有输液管，加药箱顶端靠近另一侧位置处固定有第二龙门架，输液管穿过第二龙门架位于储液腔的底部，输液管的底端安装有电磁阀。
7.优选的，所述第一龙门架对应加液管位置处开设有第一通孔。
8.优选的，所述第二龙门架对应输液管位置处开设有第二通孔。
9.优选的，所述电磁阀与外部开关电性连接。
10.优选的，所述回液管和输液管为一种耐腐蚀材质的构件。
11.优选的，所述密封盖与加料斗通过螺纹连接。
12.有益效果：本实用新型使用时，将现有的加药箱的25cm*20cm*50cm每1cm加液0.5l改为现在的10cm*10cm*100cm每1cm加液体0.1l，加液方式由原来的少次多量，改为多次少量，且加药箱截面积的减小，使得液位传感器测量的体积减小，从而提高液位传感器采集数据的精度，进而提高加药液机加药液的精度，保证清洗浓度的均匀性，采用现有的加液设备，保证每万片槽体内的药液浓度，保证清洗效果，同时在使用时，通过外部开关控制电磁阀关闭，将加料斗上的密封盖旋开，向加料斗加入清洗药液，加满后，密封盖旋紧在加料斗上，此时，通过外部开关控制电磁阀打开，此时，输液管及加料斗内的药液会经其一端流向储液腔的内部，在虹吸的作用下会使得回液管通过出液管将储液腔内的药液吸出，从而形成循环，直至液面平衡时，此时，通过横管上安装的水泵工作进行循环，保证加药箱内储液腔内的药液的均匀性，本实用新型结构新颖，构思巧妙，将现有的加药箱的25cm*20cm*50cm每1cm加液0.5l改为现在的10cm*10cm*100cm每1cm加液体0.1l，可以保证在清洗过程中储液腔的药剂浓度，减少因药剂浓度的问题导致的生产过程中的品质异常，保证硅片清洗品质。
附图说明
13.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
14.图1是本实用新型整体结构示意图；
15.图2是本实用新型液位传感器安装结构示意图；
16.图3是本实用新型内部结构示意图；
17.图中标号：1、加药箱；2、储液腔；3、液位传感器；4、浓度均衡机构；5、出液管；6、回液管；7、第一龙门架；8、加液管；9、加料斗；10、密封盖；11、第一通孔；12、横管；13、输液管；14、第二龙门架；15、第二通孔；16、电磁阀。
具体实施方式
18.下面结合附图1
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3对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。
19.实施例一，由图1
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3给出，本实用新型提供一种清洗机加药箱药剂浓度控制装置，包括用于清洗的清洗机加药箱1以及用于存储药液的储液腔2，还包括液位传感器3和浓度均衡机构4，加药箱1内侧的底部均匀安装有若干个液位传感器3，加药箱1的顶端设置有浓度均衡机构4；
20.浓度均衡机构4包括出液管5、回液管6、第一龙门架7、加液管8、加料斗9、密封盖10、第一通孔11、横管12、输液管13、第二龙门架14、第二通孔15和电磁阀16，加药箱1一侧的底部均匀设置有若干个出液管5，出液管5的一端连接有回液管6，加药箱1顶端靠近一侧位置处固定有第一龙门架7，第一龙门架7的顶端插接有若干个加液管8，加液管8的顶端设置有加料斗9，加料斗9的顶端旋接有密封盖10，加液管8的底端连接有横管12，回液管6的一端与横管12的一端连接，横管12的另一端连接有输液管13，加药箱1顶端靠近另一侧位置处固定有第二龙门架14，输液管13穿过第二龙门架14位于储液腔2的底部，输液管13的底端安装有电磁阀16，加药箱1的宽度为10cm，横管12的中部安装有水泵。
21.实施例二
22.实施例一中加液管8通过不便，参照图3，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，第一龙门架7对应加液管8位置处开设有第一通孔11，便于加液管8的穿过固定。
23.实施例三
24.实施例一中输液管13固定不便，参照图3，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，第二龙门架14对应输液管13位置处开设有第二通孔15，便于输液管13的固定使用。
25.实施例四
26.实施例一中电磁阀16控制不便，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，电磁阀16与外部开关电性连接，便于电磁阀16的控制。
27.实施例五
28.实施例一中回液管6和输液管13性能不足，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，回液管6和输液管13为一种耐腐蚀材质的构件，使得回液管6和输液管13具有较好的耐腐蚀性能。
29.实施例六
30.实施例一中密封盖10安装不便，参照图3，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，密封盖10与加料斗9通过螺纹连接，便于密封盖10的安装使用。
31.工作原理：本实用新型使用时，将现有的加药箱1的25cm*20cm*50cm每1cm加液0.5l改为现在的10cm*10cm*100cm每1cm加液体0.1l，加液方式由原来的少次多量，改为多次少量，且加药箱1截面积的减小，使得液位传感器3测量的体积减小，从而提高液位传感器3采集数据的精度，进而提高加药液机加药液的精度，保证清洗浓度的均匀性，采用现有的加液设备，保证每万片槽体内的药液浓度，保证清洗效果，同时在使用时，通过外部开关控制电磁阀16关闭，将加料斗9上的密封盖10旋开，向加料斗9加入清洗药液，加满后，密封盖10旋紧在加料斗9上，此时，通过外部开关控制电磁阀16打开，此时，输液管13及加料斗9内的药液会经其一端流向储液腔2的内部，在虹吸的作用下会使得回液管6通过出液管5将储液腔2内的药液吸出，从而形成循环，直至液面平衡时，此时，通过横管12上安装的水泵工作进行循环，保证加药箱1内储液腔2内的药液的均匀性。
32.有益效果：本实用新型结构新颖，构思巧妙，将现有的加药箱1的25cm*20cm*50cm每1cm加液0.5l改为现在的10cm*10cm*100cm每1cm加液体0.1l，可以保证在清洗过程中储液腔2的药剂浓度，减少因药剂浓度的问题导致的生产过程中的品质异常，保证硅片清洗品质。
33.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。