实用型双面电镀用主槽的制作方法

专利检索2022-05-10  207



1.本实用新型涉及电镀槽领域,尤其是实用型双面电镀用主槽。


背景技术:

2.晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。晶圆在制备的过程中,需要放入电镀槽内进行电镀。传统晶圆电镀均为单面电镀,仅可实现单面器件互联技术。但是现有的带有孔槽的晶圆在通孔电镀的过冲中,孔内无法全湿润,会有气泡,从而阻碍了电镀,使得晶圆孔内的电镀效果不好。


技术实现要素:

3.为了解决背景技术中描述的技术问题,本实用新型提供了一种实用型双面电镀用主槽。通过管组来回横移机构来驱使水管组来回移动。通过来回移动的水管及喷头,对着晶圆喷射药水,使得药水射入晶圆的孔槽,使得晶圆的孔槽预先湿润,再进行电镀,从而提高了晶圆的电镀效果。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
5.一种实用型双面电镀用主槽,包括主槽体、晶圆治具、水管组、喷头、管组来回横移机构、蜂窝板和金属阳极,所述晶圆治具、两个水管组、两个蜂窝板、两个金属阳极均安装在主槽体内,两个水管组均滑配连接在主槽体内,管组来回横移机构与两个水管组相连,水管组上分布有数个喷头,水管组与水泵相连,两个水管组之间设有晶圆治具,两个水管组位于两个蜂窝板之间,两个蜂窝板位于两个金属阳极之间。
6.具体地,所述管组来回横移机构由电机、圆盘、连杆、滑板、平台和滑杆组成,滑杆滑配连接在主槽体的滑槽内,水管组固定在滑杆上,滑杆一端固定在滑板上,滑板滑配连接在平台上,滑板铰接在连杆一端,连杆另一端铰接在圆盘,连杆与圆盘的连接点不在圆盘的圆心处,电机的输出轴端固定在圆盘的圆心上,电机的机台固定在平台上。
7.具体地,所述水管组由直管与环形管组成,数个相互平行的直管固定在环形管的环孔内,直管与环形管相连通,直管上分布有数个喷头。
8.具体地,所述蜂窝板上分布有数个穿孔。
9.本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种实用型双面电镀用主槽。通过管组来回横移机构来驱使水管组来回移动。通过来回移动的水管及喷头,对着晶圆喷射药水,使得药水射入晶圆的孔槽,使得晶圆的孔槽预先湿润,再进行电镀,从而提高了晶圆的电镀效果。
附图说明
10.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
11.图1是本实用新型的结构示意图;
12.图2是本实用新型的水管组和喷头的结构示意图;
13.图中1.主槽体,2.晶圆治具,3.水管组,4.喷头,5.管组来回横移机构,6.蜂窝板,7.金属阳极,51.电机,52.圆盘,53.连杆,54.滑板,55.平台,56.滑杆。
具体实施方式
14.现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
15.图1是本实用新型的结构示意图,图2是本实用新型的水管组和喷头的结构示意图。
16.如附图1所示,一种实用型双面电镀用主槽,包括主槽体1、晶圆治具2、水管组3、喷头4、管组来回横移机构5、蜂窝板6和金属阳极7,所述晶圆治具2、两个水管组3、两个蜂窝板6、两个金属阳极7均安装在主槽体1内,两个水管组3均滑配连接在主槽体1内,管组来回横移机构5与两个水管组3相连,水管组3上分布有数个喷头4,水管组3与水泵相连,两个水管组3之间设有晶圆治具2,两个水管组3位于两个蜂窝板6之间,两个蜂窝板6位于两个金属阳极7之间。蜂窝板6上分布有数个穿孔。
17.水管组3由直管与环形管组成,数个相互平行的直管固定在环形管的环孔内,直管与环形管相连通,直管上分布有数个喷头4。水泵抽取电药水送入水管组3内,药水经由水管组3上的数个喷头4往晶圆喷出。
18.管组来回横移机构5由电机51、圆盘52、连杆53、滑板54、平台55和滑杆56组成,滑杆56滑配连接在主槽体1的滑槽内,水管组3固定在滑杆56上,滑杆56一端固定在滑板54上,滑板54滑配连接在平台55上,滑板54铰接在连杆53一端,连杆53另一端铰接在圆盘52,连杆53与圆盘52的连接点不在圆盘52的圆心处,电机51的输出轴端固定在圆盘52的圆心上,电机51的机台固定在平台55上。
19.管组来回横移机构5的工作方式为,电机51的输出轴驱使圆盘52旋转,圆盘52会通过连杆53推拉滑板54,沿着平台55上的滑轨进行来回水平直线移动。当滑板54来回移动时,会带动水管组3来回移动。
20.如附图2所示,滑杆56上固定了两个水管组3,喷头4的出水口朝向晶圆治具2,所有水管组3上的喷头4组成一个阵列排列的喷头组,这样喷头组喷射出来的药水,就可以大面积的对晶圆进行喷射。
21.晶圆治具2置于主槽体1的卡槽内实现定位。晶圆正反两面的水管组3上的喷头4对着晶圆两面进行药水喷射,药水射入晶圆的孔槽,将晶圆孔槽预先湿润,然后再将晶圆进行电镀,这样就提高了晶圆的孔内镀层效果。
22.以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。


技术特征:
1.一种实用型双面电镀用主槽,其特征在于:包括主槽体(1)、晶圆治具(2)、水管组(3)、喷头(4)、管组来回横移机构(5)、蜂窝板(6)和金属阳极(7),所述晶圆治具(2)、两个水管组(3)、两个蜂窝板(6)、两个金属阳极(7)均安装在主槽体(1)内,两个水管组(3)均滑配连接在主槽体(1)内,管组来回横移机构(5)与两个水管组(3)相连,水管组(3)上分布有数个喷头(4),水管组(3)与水泵相连,两个水管组(3)之间设有晶圆治具(2),两个水管组(3)位于两个蜂窝板(6)之间,两个蜂窝板(6)位于两个金属阳极(7)之间。2.根据权利要求1所述的实用型双面电镀用主槽,其特征在于:所述管组来回横移机构(5)由电机(51)、圆盘(52)、连杆(53)、滑板(54)、平台(55)和滑杆(56)组成,滑杆(56)滑配连接在主槽体(1)的滑槽内,水管组(3)固定在滑杆(56)上,滑杆(56)一端固定在滑板(54)上,滑板(54)滑配连接在平台(55)上,滑板(54)铰接在连杆(53)一端,连杆(53)另一端铰接在圆盘(52),连杆(53)与圆盘(52)的连接点不在圆盘(52)的圆心处,电机(51)的输出轴端固定在圆盘(52)的圆心上,电机(51)的机台固定在平台(55)上。3.根据权利要求1所述的实用型双面电镀用主槽,其特征在于:所述水管组(3)由直管与环形管组成,数个相互平行的直管固定在环形管的环孔内,直管与环形管相连通,直管上分布有数个喷头(4)。4.根据权利要求1所述的实用型双面电镀用主槽,其特征在于:所述蜂窝板(6)上分布有数个穿孔。

技术总结
本实用新型涉及电镀槽领域,尤其是实用型双面电镀用主槽。该主槽包括主槽体、晶圆治具、水管组、喷头、管组来回横移机构、蜂窝板和金属阳极,所述晶圆治具、两个水管组、两个蜂窝板、两个金属阳极均安装在主槽体内,两个水管组均滑配连接在主槽体内,管组来回横移机构与两个水管组相连,水管组上分布有数个喷头,水管组与水泵相连,两个水管组之间设有晶圆治具,两个水管组位于两个蜂窝板之间,两个蜂窝板位于两个金属阳极之间。本实用新型通过管组来回横移机构来驱使水管组来回移动。通过来回移动的水管及喷头,对着晶圆喷射药水,使得药水射入晶圆的孔槽,使得晶圆的孔槽预先湿润,再进行电镀,从而提高了晶圆的电镀效果。从而提高了晶圆的电镀效果。从而提高了晶圆的电镀效果。


技术研发人员:陈云利 王健 李军 周志强
受保护的技术使用者:苏州尊恒半导体科技有限公司
技术研发日:2021.05.26
技术公布日:2021/11/21
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