一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置的制作方法

专利检索2022-05-11  11



1.本实用新型涉及装夹定位技术领域,具体为一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置。


背景技术:

2.溅射靶材是利用高能粒子轰击高纯度靶材靶面,使靶材原子获得能量克服表面逸出功而从表面逸出沉积到基板上形成薄膜层。利用磁控溅射工艺可以在晶体表面镀上金属、合金或电介质薄膜。但是高能粒子从各个方向轰击靶材导致逸出的靶材原子方向性差。不同方向的靶材原子沿直线到达基板表面会降低基板各部分沉积的薄膜层的均匀性,尤其当基板特征尺寸小,填孔深宽比大的情况下,靶材原子仅有一部分能垂直沉积到基底上,而大深宽比的台阶孔容易被堵住形成孔洞。
3.现有的溅射靶材生产过程中,一般采用电子束焊的焊接方式,使电子束枪绕待焊件圆周运动,进行焊接过程,现有技术实施时,若是大批量作业生产,工人长期手持焊枪,焊接溅射靶材,会造成工人手臂酸疼,增加工人生产的劳动强度。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,包括工底板,所述底板一侧设置有支架,所述支架顶端设置有横杆,所述横杆下侧设置有t型滑块,所述t型滑块下部开有内腔并设置有折叠杆,所述折叠杆一端设置有夹箍,所述底板上端一侧设置有垫板,所述垫板上端设置有伺服电机,所述伺服电机输出轴一侧设置有相互啮合且齿数不同的第一齿轮和第二齿轮,所述第二齿轮一侧设置有滚动轴承,所述滚动轴承一侧设置有支撑杆,所述滚动轴承另一侧设置有立杆,所述立杆顶端设置有定位模具。
6.所述的:所述伺服电机接有外接电源并设置有控制开关,所述第一齿轮与第二齿轮齿数不同且第一齿轮的齿数少于第二齿轮的齿数。
7.所述的:所述横杆开有t型凹槽并与t型滑块滑动配合连接。
8.所述的:所述折叠杆由两端完全相同的圆杆组成,且通过定位螺栓连接并能成任意角度。
9.所述的:所述夹箍开有内槽,且内槽形状为倒梯形。
10.所述的:所述支撑杆底端与底板顶端固定连接,所述支撑杆顶端与滚动轴承一侧固定连接,所述滚动轴承另一侧与立杆底端固定连接。
11.所述的:所述立杆顶部开有螺纹,所述定位模具底部开有螺纹孔且与立杆顶部的螺纹相互配合。
12.所述的:所述定位模具沿圆周方向外壁设置有若干个夹紧螺栓且所述定位模具外壁上开有与之配合的螺纹深孔。
13.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
14.通过设置夹箍夹紧电子束枪,在大规模批量生产时,极大程度上减少了工人的劳动强度,减少了工作量,提高了工作效率;通过设置t型滑块和滑槽的配合使用以及折叠杆的调节作用,增加了夹箍的自由度,便于本实用新型加工不同型号的溅射靶材,增强本实用新型的实用型;通过设置夹紧螺栓,夹箍放置在定位模具的溅射靶材,避免溅射靶材在定位模具中偏移;通过设置伺服电机以及第一齿轮和第二齿轮的啮合作用,带动定位模具的转动,使整个焊接过程能更稳定高效进行;通过设置定位模具和立杆的螺纹配合连接,可以使该装置使用不同型号溅射靶材对应的定位模具,适用性更广,适用性更强,且螺纹的配合连接,可以更方便的对定位模具进行维护维修和更换过程。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置的主视图;
16.图2为本实用新型提出的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置的滑块滑槽放大示意图;
17.图3为本实用新型提出的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置夹箍示意图;
18.图4为本实用新型提出的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置定位模具示意图。
19.图中:
20.1、底板;2、支架;3、横杆;4、t型滑块;5、折叠杆;6、夹箍;7、垫板;8、伺服电机;9、第一齿轮;10、第二齿轮;11、支撑杆;12、滚动轴承;13、立杆;14、定位模具;15、夹紧螺栓。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1

4,图为本实用新型中一优选实施方式,一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,包括底板1,所述底板1一侧设置有支架2,所述支架2顶端设置有横杆3,所述横杆3下侧设置有t型滑块4,所述t型滑块4下部开有内腔并设置有折叠杆5,所述折叠杆5一端设置有夹箍6,所述底板1上端一侧设置有垫板7,所述垫板7上端设置有伺服电机8,所述伺服电机8输出轴一侧设置有相互啮合且齿数不同的第一齿轮9和第二齿轮10,所述第二齿轮10一侧设置有滚动轴承12,所述滚动轴承12一侧设置有支撑杆11,所述滚动轴承12另一侧设置有立杆13,所述立杆13顶端设置有定位模具14。
23.通通过设置夹箍6夹紧电子束枪,在大规模批量生产时,极大程度上减少了工人的劳动强度,减少了工作量,提高了工作效率;通过设置t型滑块4和滑槽的配合使用以及折叠杆5的调节作用,增加了夹箍6的自由度,便于本实用新型加工不同型号的溅射靶材,增强本实用新型的实用型;通过设置夹紧螺栓15,夹箍6放置在定位模具14的溅射靶材,避免溅射靶材在定位模具14中偏移;通过设置伺服电机8以及第一齿轮9和第二齿轮10的啮合作用,带动定位模具14的转动,使整个焊接过程能更稳定高效进行。
24.本实用新型的工作流程及工作原理:将溅射靶材以及背板放置于相对应的定位模
具14上,通过夹紧螺栓15固定好溅射靶材,调节t型滑块位置以及折叠杆5的角度使夹箍6正对待焊部件的位置,打开外接控制开关进行焊接过程,焊接完成后,关闭控制开关,取下焊接完成的部件。
25.以上内容是结合具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明,不能认定本实用新型具体实施只局限于这些说明,对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型的构思的前提下,还可以做出若干简单的推演或替换,都应当视为属于本实用新型所提交的权利要求书确定的保护范围。


技术特征:
1.一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)一侧设置有支架(2),所述支架(2)顶端设置有横杆(3),所述横杆(3)下侧设置有t型滑块(4),所述t型滑块(4)下部开有内腔并设置有折叠杆(5),所述折叠杆(5)一端设置有夹箍(6),所述底板(1)上端一侧设置有垫板(7),所述垫板(7)上端设置有伺服电机(8),所述伺服电机(8)输出轴一侧设置有相互啮合且齿数不同的第一齿轮(9)和第二齿轮(10),所述第二齿轮(10)一侧设置有滚动轴承(12),所述滚动轴承(12)一侧设置有支撑杆(11),所述滚动轴承(12)另一侧设置有立杆(13),所述立杆(13)顶端设置有定位模具(14)。2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,其特征在于:所述伺服电机(8)接有外接电源并设置有控制开关,所述第一齿轮(9)与第二齿轮(10)齿数不同且第一齿轮(9)的齿数少于第二齿轮(10)的齿数。3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,其特征在于:所述横杆(3)开有t型凹槽并与t型滑块(4)滑动配合连接。4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,其特征在于:所述折叠杆(5)由两端完全相同的圆杆组成,且通过定位螺栓连接并能成任意角度。5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,其特征在于:所述夹箍(6)开有内槽,且内槽形状为倒梯形。6.根据权利要求1所述的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,其特征在于:所述支撑杆(11)底端与底板(1)顶端固定连接,所述支撑杆(11)顶端与滚动轴承(12)一侧固定连接,所述滚动轴承(12)另一侧与立杆(13)底端固定连接。7.根据权利要求1所述的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,其特征在于:所述立杆(13)顶部开有螺纹,所述定位模具(14)底部开有螺纹孔且与立杆(13)顶部的螺纹相互配合。8.根据权利要求1所述的一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,其特征在于:所述定位模具(14)沿圆周方向外壁设置有若干个夹紧螺栓(15)且所述定位模具(14)外壁上开有与之配合的螺纹深孔。

技术总结
本实用新型涉及金属管弯折技术领域,一种溅射靶材电子束焊装夹定位装置,包括工底板,所述底板一侧设置有支架,所述支架顶端设置有横杆,所述横杆下侧设置有T型滑块,所述T型滑块下部开有内腔并设置有折叠杆,所述折叠杆一端设置有夹箍,所述底板上端一侧设置有垫板,所述垫板上端设置有伺服电机,所述伺服电机输出轴一侧设置有相互啮合且齿数不同的第一齿轮和第二齿轮,所述第二齿轮一侧设置有滚动轴承,所述滚动轴承一侧设置有支撑杆,所述滚动轴承另一侧设置有立杆,所述立杆顶端设置有定位模具,本装置实用型强,适用性广泛,节能环保。保。保。


技术研发人员:范如意 陈圣涵
受保护的技术使用者:励束智能制造(南通)有限公司
技术研发日:2021.08.06
技术公布日:2022/1/4
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