多线切割机砂浆进料装置的制作方法

专利检索2022-05-11  1



1.本实用新型属于半导体切片技术领域,具体涉及一种多线切割机砂浆进料装置。


背景技术:

2.常用的大尺寸半导体晶棒切片工艺包括多线切割,多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动,把砂浆带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。
3.晶棒切片时,砂浆从管道缓慢的留到线网上面,但是由于砂浆从储液罐到线网需要砂浆管道将其的输送到线网上,砂浆输送过程中,具有一定的压力降,导致线网上的砂浆流量分布不完全相等,进而导致靠近砂浆管道末端的半导体切片的warp(翘曲度)、ttv(总厚度变化)、bow(弯曲度)取值增大,半导体切片合格率下降。


技术实现要素:

4.有鉴于此,本实用新型提供一种多线切割机砂浆进料装置,以解决现有技术中存在的多线切割机线网上砂浆流量分布不均匀的技术问题。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
6.一种多线切割机砂浆进料装置,包括砂浆进料管、砂浆内管及砂浆外管,所述砂浆外管套设于所述砂浆内管外侧;所述砂浆内管的一端封闭,另一端连接所述砂浆进料管;所述砂浆内管的一侧管壁上开设有若干砂浆分布孔;所述砂浆外管背离所述砂浆分布孔的一侧管壁上开设有砂浆分布槽。
7.优选地,所述砂浆内管的内径为所述砂浆外管的内径的1/2~3/4倍。
8.优选地,所述砂浆分布槽的槽宽为3mm~7mm。
9.优选地,所述砂浆外管的末端设置有补料管,所述补料管连通所述砂浆进料管,所述补料管上设置有流量调节阀。
10.优选地,所述多线切割机砂浆进料装置还包括线网砂浆流量分布调节组件,所述线网砂浆流量分布调节组件设置于所述砂浆外管的外侧,包括上调节箍及下调节箍,所述上调节箍与所述下调节箍相对设置,且端部与所述砂浆外管的管壁贴合,所述上调节箍的端部靠近所述砂浆分布槽的上边沿,所述下调节箍的端部靠近所述砂浆分布槽的下边沿,且所述上调节箍的端部与所述下调节箍的端部能够相互靠近。
11.优选地,所述线网砂浆流量分布调节组件设置有若干个,若干个所述线网砂浆流量分布调节组件排列设置于所述砂浆外管的外侧,且相邻两个所述线网砂浆流量分布调节组件贴合。
12.优选地,所述上调节箍的尾部设置有第一连接板,所述下调节箍的尾部设置有第二连接板,所述线网砂浆流量分布调节组件还包括调节杆,所述调节杆贯穿通过所述第一连接板与所述第二连接板,且两端设置有调节母。
13.优选地,所述调节杆上套设有缓冲簧,所述缓冲簧设置于所述第一连接板与所述
第二连接板之间。
14.由上述技术方案可知,本实用新型提供了一种多线切割机砂浆进料装置,其有益效果是:设置相互嵌套的砂浆内管、砂浆外管,砂浆内管的一端封闭,侧壁上开设有砂浆分布孔,砂浆外管的背离所述砂浆分布孔的侧壁上开设砂浆分布槽。砂浆经所述砂浆进料管,首先输送至所述砂浆内管内,并从所述砂浆分布孔中喷出后,充满所述砂浆外管,使得从所述开设砂浆分布槽中溢出的砂浆的压力或流量沿所述砂浆分布槽的长度方向均匀分布,进而降低多线切割机线网上砂浆分布的不均衡度,降低切片warp、ttv、bow的波动,尤其是改善晶棒尾部切片warp的波动,提高切片合格率。
附图说明
15.图1是多线切割机砂浆进料装置的结构示意图。
16.图2是多线切割机砂浆进料装置的侧视图。
17.图3是多线切割机砂浆进料装置的剖面示意图。
18.图4是图3所示的a部局部放大图。
19.图5是多线切割机砂浆进料装置的横截面示意图。
20.图中:多线切割机砂浆进料装置10、砂浆进料管100、砂浆内管200、砂浆分布孔210、砂浆外管300、砂浆分布槽310、补料管400、线网砂浆流量分布调节组件500、上调节箍510、第一连接板511、下调节箍520、第二连接板521、调节杆530、调节母531、缓冲簧532。
具体实施方式
21.以下结合本实用新型的附图,对本实用新型的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。
22.请参看图1至图5,一具体实施方式中,一种多线切割机砂浆进料装置10,用于向多线切割机的转动辊上均匀分布砂浆(或称磨料),该装置包括砂浆进料管100、砂浆内管200及砂浆外管300,所述砂浆外管300套设于所述砂浆内管200外侧。所述砂浆内管200的一端封闭,另一端连接所述砂浆进料管100。所述砂浆内管200的一侧管壁上开设有若干砂浆分布孔210,所述砂浆外管300背离所述砂浆分布孔210的一侧管壁上开设有砂浆分布槽310。
23.作为优选,所述砂浆内管200的内径为所述砂浆外管300的内径的1/2~3/4倍。例如,所述砂浆外管300的内径55mm,所述砂浆内管200的内径为30mm~45mm。
24.作为优选,所述砂浆分布槽310的槽宽为3mm~7mm,一般地,所述砂浆分布槽310的槽宽为3mm~5mm。
25.砂浆经所述砂浆进料管100,首先输送至所述砂浆内管200内,并从所述砂浆分布孔210中喷出后,充满所述砂浆外管300,使得从所述砂浆分布槽310中溢出的砂浆的压力或流量沿所述砂浆分布槽310的长度方向均匀分布,进而降低多线切割机线网上砂浆分布的不均衡度,降低切片warp、ttv、bow的波动,尤其是改善晶棒尾部切片warp的波动,提高切片合格率。
26.一实施例中,所述砂浆外管300的末端设置有补料管400,所述补料管400连通所述砂浆进料管100,所述补料管上设置有流量调节阀。作为优选,所述补料管400的管径远小于所述砂浆内管200的管径,例如,所述补料管400的管径小于10mm。根据所述砂浆外管300末
端的压力或流量损失,调节所述流量调节阀的开度,通过所述补料管400向所述砂浆外管300末端补充一定量的砂浆,以进一步提高砂浆布料均衡性,使多线切割机的线网上的砂浆分布均匀,降低切片warp、ttv、bow的波动,尤其是改善晶棒尾部切片warp的波动。
27.一优选实施例中,为根据实际生产需求,调整砂浆流量,改善切片warp波动,所述多线切割机砂浆进料装置10还包括线网砂浆流量分布调节组件500,所述线网砂浆流量分布调节组件500设置于所述砂浆外管300的外侧,包括上调节箍510及下调节箍520,所述上调节箍510与所述下调节箍520相对设置,且端部与所述砂浆外管300的管壁贴合,所述上调节箍510的端部靠近所述砂浆分布槽310的上边沿,所述下调节箍520的端部靠近所述砂浆分布槽310的下边沿,且所述上调节箍510的端部与所述下调节箍520的端部能够相互靠近。
28.通过调节所述上调节箍510与所述下调节箍520的端部的距离,调节所述砂浆分布槽310被遮挡的面积,进而调节砂浆流量。
29.进一步地,所述线网砂浆流量分布调节组件500设置有若干个,若干个所述线网砂浆流量分布调节组件500排列设置于所述砂浆外管300的外侧,且相邻两个所述线网砂浆流量分布调节组件500贴合。例如,若干所述线网砂浆流量分布调节组件500沿所述砂浆外管300的长度方向一次排列,且相邻两个所述线网砂浆流量分布调节组件500靠在的侧边靠在一起,如此将所述砂浆外管300分割为若干个可以调节流量的区域,则此时,可以根据砂浆在线网上的流量分布情况,或者根据晶棒切片的warp值分布情况,适当调整不同的线网砂浆流量分布调节组件500的所述上调节箍510与所述下调节箍520的端部的距离,以改变局部线网流量分布,对晶棒切片的warp值波动进行适应性调整,进一步降低切片warp值波动,提高切片合格率。
30.为能够准确调整所述上调节箍510与所述下调节箍520的端部的距离,可以在所述上调节箍510与所述下调节箍520的外侧施加使上调节箍510与所述下调节箍520相互靠近的作用力,该作用力可以是手动施加,也可以是自动施加,例如,可以在所述上调节箍510与所述下调节箍520上设置机械手。
31.一优选实施例中,为能够准确调整所述上调节箍510与所述下调节箍520的端部的距离,所述上调节箍510的尾部设置有第一连接板511,所述下调节箍520的尾部设置有第二连接板521,所述线网砂浆流量分布调节组件500还包括调节杆530,所述调节杆530贯穿通过所述第一连接板511与所述第二连接板521,且两端设置有调节母531。对称调节所述调节母531的旋入度,改变所述第一连接板511与所述第二连接板521的间距,在所述砂浆外管300的导向作用下,实现调节所述上调节箍510与所述下调节箍520的端部的距离。
32.进一步地,所述调节杆530上套设有缓冲簧532,所述缓冲簧532设置于所述第一连接板511与所述第二连接板521之间。所述缓冲簧532始终处于被压缩的状态,从而通过所述缓冲簧532使上调节箍510与所述下调节箍520保持相对所述砂浆外管300对称。
33.作为优选,所述调节杆530为弧形,以提供导向作用,使所述上调节箍510与所述下调节箍520始终与所述砂浆外管300贴合。
34.再一实施例中,所述上调节箍510与所述下调节箍520的内壁上可设置有能够相对所述砂浆外管300的外壁滑动的导向结构,以提供导向作用,使所述上调节箍510与所述下调节箍520始终与所述砂浆外管300贴合。
35.以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型
之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本实用新型权利要求所作的等同变化,仍属于实用新型所涵盖的范围。
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