一种应用于RTP退火设备的82V520W热源灯的制作方法

专利检索2022-05-11  5


一种应用于rtp退火设备的82v520w热源灯
技术领域
1.本实用新型涉及trp退火炉发热技术领域,具体涉及一种应用于rtp退火设备的82v520w热源灯。


背景技术:

2.rtp快速退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,目前在国外快速退火炉设备中,炉腔大多数为对称设计,一般为圆形或六角形,因此大部分的加热灯排列都采用同心圆形式。现有的退火炉通常使用卤素灯作为热源,卤素灯在工作时,电流通过电极片传递至灯丝,在灯丝和电极片连接的位置会产生较大热量,使得封装部的温度超过容许范围(350℃),进而导致电极片氧化膨胀甚至导致封装部出现裂缝,造成卤素灯失效;此外,现有技术中的卤素光源安装稳定较低,容易脱落损坏。因此,如何增强卤素灯散热性能和安装稳定性,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。


技术实现要素:

3.针对现有技术中的缺陷,本实用新型提供了一种应用于rtp退火设备的82v520w热源灯,具有散热效果好、发热稳定、安装稳定等特点。
4.本实用新型采用的技术方案是:一种应用于rtp退火设备的82v520w热源灯,包括封装灯管和散热管,所述散热管套设在封装灯管上,所述封装灯管一端伸出散热管形成放热部、另一端连接有安装座,所述放热部内设有发热灯芯;所述散热管内壁设有环绕封装灯管并沿封装灯管长度方向布置的散热导槽,所述散热管端部还与安装座插接适配,所述安装座上设有与发热灯芯导电连接的导电插脚。
5.本技术方案中;封装灯管上设置有散热管,确保发热灯芯在通电后得到充分散热,使其发热更加稳定;伸出散热管一端的放热部内置发热灯芯,放热部能够集中放热,当发热灯芯通电后能够快速提高退火炉内的温度;由于散热管延伸至安装座区域,位于散热管内的多道散热导槽环绕封装灯管布置,散热导槽能够起到良好的散热作用,避免热量向安装座一端传导,防止安装座过热等;卤素灯安装在rtp退火设备上时,通过导电插脚与设备构成导电连接即可,提高安装更换的便捷性。
6.进一步地,所述放热部端面呈弧形面布置。
7.进一步地,所述安装座上设有一对插接部,所述插接部上设有与发热灯芯导电连接的导电插脚,两插接部上还设有交错布置的柔性o型圈。
8.进一步地,所述插接部的外周上设有嵌装柔性o型圈的嵌入槽,两插接部上的嵌入槽交错布置。
9.进一步地,所述安装座包括插接段和连接段,所述插接段与散热管插接适配,所述插接部设置在连接段上。
10.进一步地,所述散热管端部边缘设有环绕插接段布置的固定片,所述固定片卡入插接段与连接段相连的端面上。
11.进一步地,所述插接段与连接段相连的一端外周上设有若干与固定片卡合适配的固定槽。
12.进一步地,所述发热灯芯呈螺旋状,并沿封装灯管长度方向布置。
13.进一步地,所述封装灯管为耐高温石英玻璃管。
14.本实用新型的有益效果是:本实用新型中在封装灯管上设置有散热管,确保发热灯芯在通电后得到充分散热,使其发热更加稳定;光源在通电后,散热导槽能够起到良好的散热作用,避免热量向安装座一端传导,防止安装座过热等;本实用新型在插接部上设有交错布置的柔性o型圈,通过交错布置柔性o型圈的方式不仅方便插拔和更换卤素灯,并且安装后更加稳定;具有较高的实用价值和推广价值。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中,类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中,各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
16.图1为本实用新型实施例一提供的应用于rtp退火设备的82v520w热源灯结构图。
17.附图标记:封装灯管100、放热部110、散热管200、散热导槽210、安装座300、插接部310、插接段320、固定槽321、连接段330、发热灯芯400、导电插脚500、柔性o型圈600。
具体实施方式
18.下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,因此只作为示例,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
19.需要注意的是,除非另有说明,本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
20.如图1所示,本实用新型实施例提供了一种应用于rtp退火设备的82v520w热源灯,该热源灯具有良好的散热效果和稳定发热效果;主要包括封装灯管100和散热管200,所述散热管200套设在封装灯管100上,所述封装灯管100一端伸出散热管200形成放热部110、另一端连接有安装座300,所述放热部110内设有发热灯芯400;所述散热管200内壁设有环绕封装灯管100并沿封装灯管100长度方向布置的散热导槽210,所述散热管200端部还与安装座300插接适配,所述安装座300上设有与发热灯芯400导电连接的导电插脚500。
21.如图1所示,本实施例在封装灯管100上设置有散热管200,确保发热灯芯400在通电后得到充分散热,使其发热更加稳定;伸出散热管200一端的放热部内置发热灯芯400,放热部能够集中放热,当发热灯芯400通电后能够快速提高退火炉内的温度;由于散热管200延伸至安装座300区域,位于散热管200内的多道散热导槽210环绕封装灯管100布置,散热导槽210能够起到良好的散热作用,避免热量向安装座300一端传导,防止安装座300过热等;卤素灯安装在rtp退火设备上时,通过导电插脚500与设备构成导电连接即可,提高安装更换的便捷性。
22.如图1所示,本实施例中的放热部端面呈弧形面布置。可增加核心放热面积。封装
灯管100内的发热灯芯400呈螺旋状,并沿封装灯管100长度方向布置,在材质上选用卤素发热丝,卤素灯丝具有热效率高、加热不氧化等优点;在使用时升温快、热惯性小、热化学性能稳定性好,使用寿命长,绝缘强度高;其使用效果良好。
23.如图1所示,为了提高安装和更换的便捷性,本实施例在安装座300上设有一对插接部310,所述插接部310上设有与发热灯芯400导电连接的导电插脚500,两插接部310上还设有交错布置的柔性o型圈600。插接部310上设有交错布置的柔性o型圈600,通过交错布置柔性o型圈600的方式不仅方便插拔和更换卤素灯,并且安装后更加稳定,柔性o型圈600可选用硅胶材质制作,柔性更好,更方便安装拆卸同时提高安装的稳定性。此外,插接部310的外周上设有嵌装柔性o型圈600的嵌入槽,两插接部310上的嵌入槽交错布置。这样,各个柔性o型圈600可稳定安装在嵌入槽内,防止柔性o型圈600脱落。
24.如图1所示,如前所述,安装座300一方面用于连接散热管200、一方面用于安装光源;本实施例中的安装座300包括插接段320和连接段330,所述插接段320与散热管200插接适配,所述插接部310设置在连接段330上。这样,散热管200套设在封装灯管100上后可与插接段320插接适配,而连接段330可与插接部310相连;此外,为了提高散热管200安装的稳定性,散热管200端部边缘设有环绕插接段320布置的固定片,所述固定片卡入插接段320与连接段330相连的端面上。插接段320与连接段330相连的一端外周上设有若干与固定片卡合适配的固定槽321。这样,散热管200与插接部310插接适配后,固定片能够卡入各个固定槽321内,提高散热管200安装的稳定性,防止散热管200脱落。
25.最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。
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