一种晶圆表面清理装置的制作方法

专利检索2022-05-11  5



1.本实用新型主要涉及半导体生产领域,尤其涉及一种晶圆表面清理装置。


背景技术:

2.晶圆在每一步生产加工完成后,表面会残有因加工而产生的遗留物,或者是外部环境带来的外来污染。这些杂志会对后续的加工形成影响,需要清理。但晶圆表面极易被划伤,不能直接接触,所以常规方法难以完成。


技术实现要素:

3.针对现有技术的上述缺陷,本实用新型提供一种晶圆表面清理装置,包括清洁外壳1,清洁外壳1内部设有吸尘管道2,吸尘管道2的吸附口外侧设有滤网3,滤网3通过嵌设在清洁外壳1内部进行固定,清洁外壳1在吸尘管道2的吸附口朝向处开设有集尘口,集尘口上设有防触碰圈4,集尘口内部前端设有清尘板5,清尘板5通过固定杆6进行固定,集尘口内部后端设有废料收集腔7。
4.优选的,清洁外壳1采用铝合金材质,内部设有集尘区。
5.优选的,吸尘管道2一端为吸附口,另一端与外部负压产生装置相连。
6.优选的,滤网3为网罩结构,截面为圆弧形,采用不锈钢材质。
7.优选的,防触碰圈4为橡胶材质,通过熔融与集尘口固定连接,防触碰圈4的顶部高于清洁外壳1的表面。
8.优选的,清尘板5靠近集尘口的一面设有凸起,远离集尘口的一面设有避让口,清尘板5通过固定板8和固定杆6的配合进行固定。
9.优选的,固定杆6一端为直线型,设有螺纹,穿设过清洁外壳1后通过螺母进行固定,另一端设有折弯,通过清尘板5进行限位。
10.优选的,废料收集腔7为铝合金材质,通过嵌入的方式与清洁外壳1固定连接。
11.本实用新型的有益效果:避免了与晶圆的直接接触,通过吸附的方式可以将残留物去除,同时将颗粒物与灰尘分开,避免堵塞,通过清尘板的清理可以反复利用。
附图说明
12.图1为本实用新型的结构图;
13.图中,
14.1、清洁外壳;2、吸尘管道;3、滤网;4、防触碰圈;5、清尘板;6、固定杆;7、废料收集腔;8、固定板。
具体实施方式
15.为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案,并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂,下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说
明本发明而不用于限制本发明的范围。
16.如图1所示可知,本实用新型包括有:清洁外壳1,清洁外壳1内部设有吸尘管道2,吸尘管道2的吸附口外侧设有滤网3,滤网3通过嵌设在清洁外壳1内部进行固定,清洁外壳1在吸尘管道2的吸附口朝向处开设有集尘口,集尘口上设有防触碰圈4,集尘口内部前端设有清尘板5,清尘板5通过固定杆6进行固定,集尘口内部后端设有废料收集腔7。
17.在本实施中优选的,清洁外壳1采用铝合金材质,内部设有集尘区。
18.设置上述结构,清洁外壳1采用铝合金材质,质量较轻,便于拿取。
19.在本实施中优选的,吸尘管道2一端为吸附口,另一端与外部负压产生装置相连。
20.在本实施中优选的,滤网3为网罩结构,截面为圆弧形,采用不锈钢材质。
21.设置上述结构,滤网3采用网罩结构便于分离大颗粒物体,防止堵塞,采用不锈钢材质可以延长使用寿命。
22.在本实施中优选的,防触碰圈4为橡胶材质,通过熔融与集尘口固定连接,防触碰圈4的顶部高于清洁外壳1的表面。
23.设置上述结构,橡胶材质不易碰伤晶圆表面,用于避免清洁外壳1与晶圆表面直接接触。
24.在本实施中优选的,清尘板5靠近集尘口的一面设有凸起,远离集尘口的一面设有避让口,清尘板5通过固定板8和固定杆6的配合进行固定。
25.设置上述结构,清尘板5用于清理滤网3表面的清理,避让口用于避让滤网3。
26.在本实施中优选的,固定杆6一端为直线型,设有螺纹,穿设过清洁外壳1后通过螺母进行固定,另一端设有折弯,通过清尘板5进行限位。
27.设置上述结构,固定杆6钩住清尘板5后用螺母锁死固定,取用清尘板5时,松开螺母,旋转固定杆6,便可取出。
28.在本实施中优选的,废料收集腔7为铝合金材质,通过嵌入的方式与清洁外壳1固定连接。
29.设置上述结构,废料收集腔7用于手机大颗粒废料
30.在使用中,拿住清洁外壳1,启动外部的负压产生装置,吸尘管道2开始吸附,大颗粒杂质被滤网3过滤,清尘板5可以将滤网3表面的废料,清理至废料收集腔7中。
31.上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效,而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本专利请的权利要求所涵盖。


技术特征:
1.一种晶圆表面清理装置,其特征在于,包括清洁外壳(1),所述清洁外壳(1)内部设有吸尘管道(2),所述吸尘管道(2)的吸附口外侧设有滤网(3),所述滤网(3)通过嵌设在清洁外壳(1)内部进行固定,所述清洁外壳(1)在吸尘管道(2)的吸附口朝向处开设有集尘口,所述集尘口上设有防触碰圈(4),所述集尘口内部前端设有清尘板(5),所述清尘板(5)通过固定杆(6)进行固定,所述集尘口内部后端设有废料收集腔(7)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面清理装置,其特征在于:所述清洁外壳(1)采用铝合金材质,内部设有集尘区。3.根据权利要求1所述的一种晶圆表面清理装置,其特征在于:所述吸尘管道(2)一端为吸附口,另一端与外部负压产生装置相连。4.根据权利要求1所述的一种晶圆表面清理装置,其特征在于:所述滤网(3)为网罩结构,截面为圆弧形,采用不锈钢材质。5.根据权利要求1所述的一种晶圆表面清理装置,其特征在于:所述防触碰圈(4)为橡胶材质,通过熔融与集尘口固定连接,所述防触碰圈(4)的顶部高于清洁外壳(1)的表面。6.根据权利要求1所述的一种晶圆表面清理装置,其特征在于:所述清尘板(5)靠近集尘口的一面设有凸起,远离集尘口的一面设有避让口,所述清尘板(5)通过固定板(8)和固定杆(6)的配合进行固定。7.根据权利要求1所述的一种晶圆表面清理装置,其特征在于:所述固定杆(6)一端为直线型,设有螺纹,穿设过清洁外壳(1)后通过螺母进行固定,另一端设有折弯,通过清尘板(5)进行限位。8.根据权利要求1所述的一种晶圆表面清理装置,其特征在于:所述废料收集腔(7)为铝合金材质,通过嵌入的方式与清洁外壳(1)固定连接。

技术总结
本实用新型提供一种晶圆表面清理装置,包括清洁外壳,清洁外壳内部设有吸尘管道,吸尘管道的吸附口外侧设有滤网,滤网通过嵌设在清洁外壳内部进行固定,清洁外壳在吸尘管道的吸附口朝向处开设有集尘口,集尘口上设有防触碰圈,集尘口内部前端设有清尘板,清尘板通过固定杆进行固定,集尘口内部后端设有废料收集腔;本实用新型避免了与晶圆的直接接触,通过吸附的方式可以将残留物去除,同时将颗粒物与灰尘分开,避免堵塞,通过清尘板的清理可以反复利用。复利用。复利用。


技术研发人员:胡杰
受保护的技术使用者:海太半导体(无锡)有限公司
技术研发日:2021.05.20
技术公布日:2021/12/24
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