一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵的制作方法

1.本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵。


背景技术：

2.电涡流式传感器由传感器激励导线和被测金属体组成。根据法拉第电磁感应定律，当传感器激励导线中通过以正弦交变电流时，导线周围将产生正弦交变磁场，使位于该磁场中的金属导体产生感应电流，该感应电流又产生新的交变磁场。新的交变磁场阻碍原磁场的变化，使得传感器导线的等效阻抗发生变化。
3.现有技术中，如中国专利文献cn208383054u公开了一种电涡流传感器组件，包括安装座和连接在安装座上的电感机构，所述安装座的中心具有圆形通孔，所述电感机构上缠绕电感导线，通过电感机构用于监测穿设于圆形通孔内的轴在四个位置的位移信号，从而监测轴的运转。
4.然而，上述方案中，电感机构和安装座之间采用焊接等固定方式连接，一方面不便于电感机构位置确定的精确性，另一方面，适于范围较窄，不能对不同规格的轴进行监测。


技术实现要素：

5.因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的电感机构安装位置不能精确掌控的缺陷，从而提供一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵。
6.为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种电涡流传感器组件，包括：
7.安装座，具有中心通孔；
8.电感探头，具有围绕所述中心通孔对称设置的多个，所述电感探头沿所述中心通孔的径向位置可调的连接在所述安装座上。
9.可选地，所述安装座上具有用于插入所述电感探头的安装孔。
10.可选地，所述安装座的安装孔内具有用于卡接所述电感探头的抵接件。
11.可选地，所述抵接件通过螺纹结构连接在所述安装座上，所述抵接件的一端延伸至所述安装孔内，所述抵接件的另一端伸向所述安装座的外部。
12.可选地，所述抵接件的朝向所述安装座外部的一端具有用于与操作件配合的转动限位结构。
13.可选地，所述电感探头与所述安装座通过螺纹连接。
14.可选地，所述安装座为环形结构，所述电感探头为柱形结构，所述电感探头的尾部穿过所述安装座后与所述安装座的外部连通。
15.可选地，所述电感探头的头部缠绕有导线，所述导线从电感探头的内部延伸至电感探头的尾部，所述安装座的外壁上设有用于所述电感探头的导线进行走线的环形凹槽。
16.可选地，所述安装座的底端设有若干用于安装定位的缺口。
17.本实用新型还提供一种磁悬浮分子泵，包括：上述方案中任一项所述的电涡流传
感器组件，所述电涡流传感器组件套设在磁悬浮分子泵的转轴上。
18.本实用新型技术方案，具有如下优点：
19.1.本实用新型提供的电涡流传感器组件，电感探头在安装座上能够进行径向调整，从而便于根据需进行监测的轴径，进行精确调整电感探头的位置，提高电涡流传感器组件的精度，以及可适配的轴径的范围。
20.2.本实用新型提供的电涡流传感器组件，通过抵接件对电感探头的位置进行定位，从而提高电涡流传感器组件在运行时的稳定性。
21.3.本实用新型提供的磁悬浮分子泵，由于采用了上述方案中任一项所述的电涡流传感器组件，因此具有上述任一项所述的优点。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为本实用新型的实施例中提供的电涡流传感器组件的立体图。
24.图2为图1中电感探头处的第一放大图。
25.图3为图1中电感探头位置处的主视剖视示意图。
26.图4为图1中电感探头处的第二放大图。
27.图5为图1中电感探头的立体图。
28.图6为图1中电感探头处的第三放大图。
29.附图标记说明：
30.1、安装座；2、电感探头；3、缺口；4、抵接件；5、头部；6、尾部；7、环形凹槽。
具体实施方式
31.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
33.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
35.本实施例提供的电涡流传感器组件，可用于对转动机械的轴进行监测，从而测量转轴在运行时的径向位移。
36.如图1所示，为本实施例提供的电涡流传感器组件的一种具体实施方式，包括：安装座1，具有中心通孔；具体的，所述安装座1可为具有一定高度的环形结构。另外，作为一种可替换实施方式，所述安装座1还可以是其他便于进行安装的常规形状。
37.如图1所示，本实施例提供的电涡流传感器组件还包括：电感探头2，连接在安装座1上，具体的，所述电感探头2通过螺纹旋拧在所述安装座1的内侧壁上，并且所述电感探头2具有四个，四个电感探头2围绕所述安装座1的中心通孔对称设置；另外，作为一种可替换实施方式，所述电感探头2还可以是两个、三个或更多个，多个电感探头2围绕安装座1的中心通孔中心对称设置。
38.另外，作为一种可替换实施方式，所述电感探头2还可以采用除了螺纹连接以外的其他方式安装在所述安装座1上，例如卡接连接等。从而使所述电感探头2能够沿所述中心通孔的径向位置进行调节，以适应被监测的轴径。
39.如图1所示，所述安装座1的底端设有若干用于安装定位的缺口3，该缺口3具有间隔设置的多个，通过该缺口3用于卡固在转动机械上。另外，作为一种可替换实施方式，所述缺口3可以省略，或者替换为其他常规定位结构。
40.如图1、图2所示，所述安装座1上具有用于插入所述电感探头2的安装孔，所述安装孔内通过细螺纹与所述电感探头2连接。另外，作为一种可替换实施方式，所述电感探头2还可以与所述安装孔为滑动配合，在所述安装孔内通过设置卡接结构与所述电感探头2连接。
41.如图3、图4所示，所述安装座1的安装孔内具有用于卡接所述电感探头2的抵接件4，所述抵接件4可选为顶丝；所述抵接件4通过螺纹结构相对于所述电感探头2垂直的连接在所述安装座1上，所述抵接件4的一端延伸至所述安装孔内，所述抵接件4的另一端与所述安装座1的外部连通，所述抵接件4的朝向所述安装座1外部的一端具有用于与操作件配合的转动限位结构，具体的，所述转动限位结构可以为内六角孔。另外，作为一种可替换实施方式，所述抵接件4可通过卡接的方式设置在所述安装座1上，所述限位结构可以省略。
42.如图5所示，所述电感探头2为柱形结构，所述电感探头2包括头部5和尾部6，所述头部5上具有用于缠绕导线的环形槽，将导线缠绕在该环形槽上后，从而形成线圈。所述电感探头2的内部具有用于走线的通孔，所述导线从电感探头2的内部延伸至电感探头2的尾部6。
43.如图6所示，所述安装座1的外壁上设有用于所述电感探头2的导线进行走线的环形凹槽7，所述电感探头2的尾部6穿过所述安装座1后与所述安装座1的外部连通。从电感探头2的尾部6延伸出的导线通过该环形凹槽7进行走线，从而使导线不会凸出安装座1外。
44.另外，本实施例还提供一种磁悬浮分子泵，包括：上述实施例中所述的电涡流传感器组件，所述电涡流传感器组件套设在磁悬浮分子泵的转轴上，从而用于监测转轴的运转稳定性。
45.显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或
变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。