一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构的制作方法

专利检索2022-05-10  9



1.本实用新型涉及刻蚀机技术领域,尤其涉及一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构。


背景技术:

2.led刻蚀机集成了高密度等离子源、快速响应的全自动匹配射频系统、精密的腔室温度控制系统、稳定的高精度压力控制系统、先进的中央喷嘴进气系统和独特的腔室表面处理等多项先进技术,用ic刻蚀工艺更为精密的设计要求来实现led领域更高性能的刻蚀工艺,可以适应不同客户的不同规格图形片要求,获得优异的刻蚀工艺结果。水冷盘是腔室温度控制的核心部件。
3.目前市场上的水冷盘都是采用多个螺丝、螺栓配合进行安装,安装复杂,耗费人力和工时。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在安装复杂的缺点,而提出的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,包括壳体和水冷盘,所述壳体为空腔结构,壳体的内壁通过六角螺钉固定有呈十字状的卡盘架,所述卡盘架的顶部通过螺钉固定有对称布置的固定座,所述固定座的一侧滑动设置有顶部呈倾斜状的卡块,所述水冷盘的顶部开设有对称布置且与所述卡块相匹配的卡槽。
7.优选的,所述壳体的内部滑动安装有升降板,升降板的顶部焊接有四组对称布置的支撑板,每两个支撑板之间均通过螺钉固定有楔块,所述卡块的一侧焊接有条形板,所述条形板靠近底端的一侧焊接有连接杆,所述连接杆与楔块滑动配合。
8.优选的,所述楔块的一侧开设有斜槽,所述连接杆的一端嵌入在所述斜槽的内部。
9.优选的,所述固定座的内部开设有通槽,所述卡盘架上开设有对称布置的贯穿槽孔,所述条形板穿过通槽和贯穿槽孔的内部。
10.优选的,所述通槽的内壁一侧固定连接有弹簧,所述弹簧的另一端与所述卡块的一侧固定连接。
11.优选的,所述升降板的底部通过螺母螺栓固定有拆卸轴,拆卸轴的另一端焊接有把手。
12.本实用新型的有益效果是:
13.1、本实用新型中通过卡盘架、卡块以及卡槽等结构的设置,安装时可直接将水冷盘按压安装在卡盘架上,安装方便快捷,采用了四组卡块设计,固定性强。
14.2、本实用新型中通过升降板、楔块、拆卸轴以及把手等结构的设置,可拉动下的把手使得卡块与卡槽分离,从而能够快速地将水冷盘拆下,便于维修和更换。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构的示意图;
16.图2为本实用新型提出的水冷盘拆下的结构示意图;
17.图3为本实用新型提出的去掉壳体的结构示意图;
18.图4为本实用新型提出的水冷盘的结构示意图;
19.图5为本实用新型提出的固定座的侧面剖视图。
20.图中:1壳体、2升降板、3拆卸轴、4把手、5卡盘架、6水冷盘、61卡槽、7固定座、71通槽、72弹簧、8卡块、9支撑板、10楔块、11连接杆、12条形板。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
22.参照图1

5,一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,包括壳体1和水冷盘6,壳体1为空腔结构,壳体1的内壁通过六角螺钉固定有呈十字状的卡盘架5,卡盘架5的顶部通过螺钉固定有对称布置的固定座7,固定座7的一侧滑动设置有顶部呈倾斜状的卡块8,水冷盘6的顶部开设有对称布置且与卡块8相匹配的卡槽61。
23.其中,通过卡盘架5、卡块8以及卡槽61等结构的设置,安装时可直接将水冷盘6按压安装在卡盘架5上,安装方便快捷,采用了四组卡块8设计,固定性强,通过升降板2、楔块10、拆卸轴3以及把手4等结构的设置,可拉动下的把手4使得卡块8与卡槽61分离,从而能够快速地将水冷盘6拆下,便于维修和更换。
24.壳体1的内部滑动安装有升降板2,升降板2的顶部焊接有四组对称布置的支撑板9,每两个支撑板9之间均通过螺钉固定有楔块10,卡块8的一侧焊接有条形板12,条形板12靠近底端的一侧焊接有连接杆11,连接杆11与楔块10滑动配合,楔块10的一侧开设有斜槽,连接杆11的一端嵌入在斜槽的内部,固定座7的内部开设有通槽71,卡盘架5上开设有对称布置的贯穿槽孔,条形板12穿过通槽71和贯穿槽孔的内部,通槽71的内壁一侧固定连接有弹簧72,弹簧72的另一端与卡块8的一侧固定连接,升降板2的底部通过螺母螺栓固定有拆卸轴3,拆卸轴3的另一端焊接有把手4。
25.本实施例中,壳体1固定在刻蚀机上,安装时,将水冷盘6从卡盘架5的正上方向下按压,水冷盘6对卡块8挤压,使得卡块8收入各通槽71的内部,当水冷盘6的底部与卡盘架5接触后,固定座7内部的卡块8弹出,压紧在水冷盘6对应的卡槽61内部,从而使得水冷盘6固定;
26.进一步的,需要对水冷盘6进行更换或维修时,人员可向下拉动把手4,把手4带着拆卸轴3移动,拆卸轴3带动升降板2向下滑移,各升降板2从而带着各个支撑板9和楔块10移动,楔块10对连接杆11挤压,使得各个条形板12带着卡块8移动,卡块8与卡槽61分离后,可直接将水冷盘6取下。
27.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范
围之内。


技术特征:
1.一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,包括壳体(1)和水冷盘(6),其特征在于,所述壳体(1)为空腔结构,壳体(1)的内壁通过六角螺钉固定有呈十字状的卡盘架(5),所述卡盘架(5)的顶部通过螺钉固定有对称布置的固定座(7),所述固定座(7)的一侧滑动设置有顶部呈倾斜状的卡块(8),所述水冷盘(6)的顶部开设有对称布置且与所述卡块(8)相匹配的卡槽(61)。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,其特征在于,所述壳体(1)的内部滑动安装有升降板(2),升降板(2)的顶部焊接有四组对称布置的支撑板(9),每两个支撑板(9)之间均通过螺钉固定有楔块(10),所述卡块(8)的一侧焊接有条形板(12),所述条形板(12)靠近底端的一侧焊接有连接杆(11),所述连接杆(11)与楔块(10)滑动配合。3.根据权利要求2所述的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,其特征在于,所述楔块(10)的一侧开设有斜槽,所述连接杆(11)的一端嵌入在所述斜槽的内部。4.根据权利要求2所述的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,其特征在于,所述固定座(7)的内部开设有通槽(71),所述卡盘架(5)上开设有对称布置的贯穿槽孔,所述条形板(12)穿过通槽(71)和贯穿槽孔的内部。5.根据权利要求4所述的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,其特征在于,所述通槽(71)的内壁一侧固定连接有弹簧(72),所述弹簧(72)的另一端与所述卡块(8)的一侧固定连接。6.根据权利要求2所述的一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,其特征在于,所述升降板(2)的底部通过螺母螺栓固定有拆卸轴(3),拆卸轴(3)的另一端焊接有把手(4)。

技术总结
本实用新型涉及刻蚀机技术领域,尤其涉及一种刻蚀机内部的水冷卡盘结构,解决现有技术中存在的缺点,包括壳体和水冷盘,所述壳体为空腔结构,壳体的内壁通过六角螺钉固定有呈十字状的卡盘架,所述卡盘架的顶部通过螺钉固定有对称布置的固定座,所述固定座的一侧滑动设置有顶部呈倾斜状的卡块,所述水冷盘的顶部开设有对称布置且与所述卡块相匹配的卡槽。通过卡盘架、卡块以及卡槽等结构的设置,安装时可直接将水冷盘按压安装在卡盘架上,安装方便快捷,采用了四组卡块设计,固定性强。固定性强。固定性强。


技术研发人员:张忠华
受保护的技术使用者:苏州飞思达精密机械有限公司
技术研发日:2021.04.13
技术公布日:2021/12/14
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