玻璃卷的制造方法与流程

1.本发明涉及对形成有功能性膜的玻璃膜进行卷绕从而制造玻璃卷的方法。


背景技术：

2.以往，已知有如下技术，即，利用卷对卷(roll to roll)方式，在从母材玻璃卷将玻璃膜拉出并向规定的方向搬运的同时，在该玻璃膜形成功能性膜。
3.例如，在专利文献1公开有一种玻璃卷的制造方法，其包括：玻璃膜供给工序，将已从母材玻璃卷拉出的第一玻璃膜向规定的方向送出；成膜工序，在该第一玻璃膜对功能性膜(透明导电膜)进行加热成膜而形成第二玻璃膜；保护膜供给工序，将保护膜与第二玻璃膜重叠而形成第三玻璃膜；以及卷绕工序，将第三玻璃膜卷绕为卷状而构成玻璃卷。
4.如上述那样将形成有功能性膜的玻璃膜(第三玻璃膜)卷绕为卷状的情况下，需要将该玻璃膜与卷芯连结。例如，在专利文献2公开有为了防止玻璃膜的破损而利用树脂制的导膜(leader)将卷芯与玻璃膜连结的技术。
5.现有技术文献
6.专利文献
7.专利文献1：日本特开2018
‑
188320号公报
8.专利文献2：日本特开2017
‑
109850号公报


技术实现要素：

9.发明要解决的课题
10.在如以往那样利用卷对卷方式在玻璃膜形成功能性膜的情况下，树脂制的导膜由于与玻璃膜相比耐热性较低，因此在通过成膜工序时有可能因来自成膜装置的热量而断裂。
11.本发明是鉴于上述情况而完成的，技术课题在于不使导膜断裂地对玻璃膜进行加热成膜。
12.用于解决课题的方案
13.本发明是用于解决上述的课题，且是一种玻璃卷的制造方法，其利用加热成膜装置在从放卷装置送出的第一玻璃膜形成功能性膜从而形成第二玻璃膜，并利用卷绕装置卷绕所述第二玻璃膜从而制造玻璃卷，所述玻璃卷的制造方法的特征在于，包括：开始准备工序，在将与所述第一玻璃膜的始端部连结的第一导膜从所述放卷装置送出并使所述第一导膜通过了所述加热成膜装置之后，使所述第一导膜卷绕于所述卷绕装置；以及成膜工序，在所述第一导膜通过了所述加热成膜装置之后，利用所述加热成膜装置在所述第一玻璃膜形成功能性膜，所述开始准备工序包括使所述加热成膜装置升温至成膜温度的升温工序，在所述加热成膜装置升温至所述成膜温度之前，所述第一玻璃膜到达所述加热成膜装置。
14.根据该结构，在加热成膜装置达到成膜温度前，与第一玻璃膜连结的第一导膜能够通过该加热成膜装置。由此，能够不使第一导膜断裂地对第一玻璃膜进行加热成膜。需要
说明的是，“在加热装置升温至成膜温度之前”不仅包括升温工序的开始后，还包括升温工序的开始前。
15.也可以是，所述升温工序在所述第一玻璃膜与所述第一导膜连结的连结部通过了所述加热成膜装置之后开始。在第一导膜全部通过了加热成膜装置之后开始升温工序，从而能够可靠地防止由成膜工序导致的第一导膜的断裂。
16.在本发明的玻璃卷的制造方法中，也可以是，在所述升温工序中的所述加热成膜装置的升温中，所述第一玻璃膜到达所述加热成膜装置。
17.本发明的玻璃卷的制造方法也可以包括如下结束准备工序：在将与所述第一玻璃膜的终端部连结的第二导膜从所述放卷装置送出并使所述第二导膜通过了所述加热成膜装置之后，使所述第二导膜卷绕于所述卷绕装置，所述结束准备工序包括使所述加热成膜装置降温的降温工序，在所述第一玻璃膜的所述终端部到达所述加热成膜装置之前开始所述降温工序。
18.根据该结构，在第一玻璃膜通过加热成膜装置的期间开始降温工序，从而能够在第二导膜到达加热成膜装置以前使加热成膜装置的温度降低至该第二导膜不会断裂的温度。
19.在本发明的玻璃卷的制造方法中，也可以是，所述加热成膜装置具备在与所述第一玻璃膜接触而进行加热的同时进行搬运的加热辊，将所述开始准备工序中的所述第一玻璃膜的搬运速度设定得比所述成膜工序中的所述第一玻璃膜的搬运速度低。
20.根据该结构，将开始准备工序中的搬运速度设定得比成膜工序中的搬运速度低，从而能够在开始准备工序中尽可能减少不进行成膜就搬运的第一玻璃膜的量。
21.在本发明的玻璃卷制造方法中，也可以是，将所述结束准备工序中的所述第一玻璃膜的搬运速度设定得比所述成膜工序中的所述第一玻璃膜的搬运速度低。
22.根据该结构，将结束准备工序中的搬运速度设定得比成膜工序中的搬运速度低，从而能够在结束准备工序中尽可能减少不进行成膜就搬运的第一玻璃膜的量。
23.在本发明的玻璃卷的制造方法中，也可以是，将所述结束准备工序中的所述第一玻璃膜的搬运速度设定得比所述开始准备工序中的所述第一玻璃膜的搬运速度低。
24.结束准备工序的降温工序所需的时间比开始准备工序的升温工序所需的时间长。因此，通过将结束准备工序的搬运速度设定得比开始准备工序的搬运速度低，从而能够确保第二导膜到达加热成膜装置为止的时间更长。
25.在本发明的玻璃卷的制造方法中，也可以是，在所述升温工序中，在所述第一玻璃膜到达所述加热成膜装置之后，使所述第一玻璃膜在所述放卷装置与所述卷绕装置之间往复移动。由此，能够在开始准备工序中尽可能减少不进行成膜就搬运的第一玻璃膜的量。
26.发明效果
27.根据本发明，能够不使导膜断裂地对玻璃膜进行加热成膜。
附图说明
28.图1是示出第一实施方式的玻璃卷的制造装置的剖视图。
29.图2是示出玻璃卷的制造方法的流程图。
30.图3是示出玻璃卷的制造方法的一工序的剖视图。
31.图4是示出玻璃卷的制造方法的一工序的剖视图。
32.图5是示出玻璃卷的制造方法的一工序的剖视图。
33.图6是示出第二实施方式的玻璃卷的制造方法的一工序的剖视图。
34.图7是示出玻璃卷的制造方法的一工序的剖视图。
具体实施方式
35.以下，参照附图说明本发明的实施方式。图1至图5示出本发明的玻璃卷的制造方法的第一实施方式。
36.在本方法中使用的制造装置采用卷对卷(roll to roll)方式，在已从母材玻璃卷拉出的透明的玻璃膜形成功能性膜，并卷绕为卷状从而制造玻璃卷。以下，将从母材玻璃卷拉出的玻璃膜称作第一玻璃膜，将形成有功能性膜之后的玻璃膜称作第二玻璃膜。
37.如图1所示，制造装置1具备真空腔室2、放卷装置3、成膜装置4、引导辊5、传感器6、7、卷绕装置8以及控制装置9。
38.真空腔室2在内部收容放卷装置3、成膜装置4、引导辊5、传感器6、7以及卷绕装置8。真空腔室2的内部空间由真空泵设定为规定的真空度。能向真空腔室2内供给氩气等不活泼气体。
39.放卷装置3将母材玻璃卷gr1支承为能够旋转，并且从该母材玻璃卷gr1将第一玻璃膜gf1拉出并向成膜装置4送出。放卷装置3通过控制装置9的控制，能够变更母材玻璃卷gr1的旋转速度(第一玻璃膜gf1的送出速度)。
40.装配于放卷装置3的母材玻璃卷gr1包括第一玻璃膜gf1、与第一玻璃膜gf1的始端部gfa连结的第一导膜lf1、与第一玻璃膜gf1的终端部gfb连结的第二导膜lf2、与第一玻璃膜gf1重叠的保护膜pf1以及卷芯wc1。
41.第一玻璃膜gf1与各导膜lf1、lf2由粘性带等其他连结部件连结。以下，将第一玻璃膜gf1的始端部gfa与第一导膜lf1连结的连结部称作第一连结部10，将第一玻璃膜gf1的终端部gfb与第二导膜lf2连结的连结部称作第二连结部11。对于第二导膜lf2而言，其一端部(始端部)经由第二连结部11而与第一玻璃膜gf1的终端部gfb连结，其另一端部(终端部)连结于卷芯wc1。
42.第一玻璃膜gf1的厚度为500μm以下，优选为10μm以上且300μm以下，最优选为30μm以上且200μm以下。
43.作为第一玻璃膜gf1的材料，使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃，优选使用硼硅酸玻璃、钠钙玻璃、铝硅酸盐玻璃、化学强化玻璃，最优选使用无碱玻璃。这里，无碱玻璃是指实质上不含有碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体地说，是指碱成分的重量比为3000ppm以下的玻璃。本发明中的碱成分的重量比优选为1000ppm以下，更优选为500ppm以下，最优选为300ppm以下。
44.各导膜lf1、lf2使用树脂制的膜。具体而言，作为各导膜lf1、lf2，例如能够使用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、离聚物膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜、聚氯乙烯膜、聚偏二氯乙烯膜、聚乙烯醇膜、聚酯膜、聚碳酸酯膜、聚苯乙烯膜、聚丙烯腈膜、乙烯
‑
乙酸乙烯酯共聚物膜、乙烯
‑
乙烯醇共聚物膜、乙烯
‑
甲基丙烯酸共聚物膜、尼龙(注册商标)膜(聚酰胺膜)、聚酰亚胺膜、玻璃纸等有机树脂膜(合成树脂膜)等。
45.放卷装置3具备将母材玻璃卷gr1所含的保护膜pf1卷绕的保护膜回收部12。保护膜回收部12配设于卷绕装置8的上方的位置，但并不限定于该位置。保护膜回收部12使与第一玻璃膜gf1重叠的保护膜pf1剥离，并且卷绕为卷状而回收。
46.成膜装置4由在对第一玻璃膜gf1加热的同时进行搬运并在该第一玻璃膜gf1形成功能性膜的加热成膜装置构成。成膜装置4能够通过溅射法、蒸镀法、cvd法等各种成膜法，在第一玻璃膜gf1形成功能性膜。在本实施方式中，对利用溅射法形成作为功能性膜的透明导电膜、例如ito膜的情况进行说明。
47.成膜装置4由离子束溅射装置、磁控溅射装置等构成。作为溅射装置的成膜装置4主要具备包含靶的多个溅射源13以及将第一玻璃膜gf1加热的加热部14。
48.各溅射源13以使从靶飞散的溅射粒子(ito粒子)附着于第一玻璃膜gf1的一个面的方式，从加热部14隔开一定的间隔而配置。
49.加热部14由在与第一玻璃膜gf1接触的同时进行加热的能够旋转的加热辊(筒辊)构成。加热部14具备对第一玻璃膜gf1进行支承的圆筒状的辊主体15以及将该辊主体15加热的加热器16。
50.辊主体15由玻璃、陶瓷或者金属构成。辊主体15由轴部17支承为旋转自如。
51.加热器16为了对辊主体15进行加热，而配置于该辊主体15的内侧。加热器16由例如红外线加热器或者近红外线加热器构成，但并不限定于这些。
52.多个引导辊5由未图示的马达驱动旋转，但其一部分也可以由自由辊构成。引导辊5在放卷装置3与成膜装置4之间以及在成膜装置4与卷绕装置8之间隔开间隔地配置。
53.传感器6、7包括在成膜装置4的下游侧(成膜装置4与卷绕装置8之间)配没的第一传感器6以及在成膜装置4的上游侧(放卷装置3与成膜装置4之间)配设的第二传感器7。各传感器6、7例如由透射式激光传感器等非接触式的传感器构成，但并不限定于该结构。
54.第一传感器6对第一连结部10以及第一玻璃膜gf1的始端部gfa进行检测，并且将检测信号向控制装置9发送。第二传感器7对第二连结部11以及第一玻璃膜gf1的终端部gfb进行检测，并且将检测信号向控制装置9发送。
55.卷绕装置8将保护膜pf2与第二玻璃膜重叠并卷绕于卷芯wc2，从而形成玻璃卷。卷绕装置8通过控制装置9的控制，能够变更卷芯wc2的旋转速度。
56.卷绕装置8具备向卷绕于卷芯wc2的第二玻璃膜供给保护膜pf2的保护膜供给部18。保护膜供给部18配设于卷绕装置8的上方位置，但并不限定于该位置。保护膜供给部18具备保护膜卷pfr，并将已从保护膜卷pfr拉出的保护膜pf2向第二玻璃膜供给。
57.控制装置9例如包括安装有cpu、rom、ram、hdd、输入输出接口、显示器等各种硬件的计算机(例如pc)。控制装置9以能够通信的方式与放卷装置3、引导辊5、成膜装置4以及卷绕装置8连接，并执行卷绕装置8的控制、引导辊5的旋转控制、成膜装置4的加热、成膜、搬运的控制、卷绕装置8的控制等。
58.以下，对使用上述结构的制造装置1来制造玻璃卷的方法进行说明。如图2所示，本方法包括开始准备工序s1、成膜工序s2以及结束准备工序s3。
59.在开始准备工序s1中，母材玻璃卷gr1装配于放卷装置3，且从该母材玻璃卷gr1拉出第一导膜lf1，其始端部连结于卷绕装置8的卷芯wc2。之后，真空腔室2被封闭，其内部空间被设定为规定的真空度。另外，在真空腔室2内填充不活泼气体。
60.接下来，控制装置9使放卷装置3、引导辊5、加热部14的辊主体15以及卷绕装置8同步工作，以规定的速度将第一导膜lf1从上游侧的放卷装置3向下游侧的卷绕装置8搬运。这种情况下的第一导膜lf1的搬运速度期望在0.01～0.5m/min的范围内恒定，但并不限定于该范围。第一导膜lf1通过成膜装置4并被卷绕装置8卷绕。
61.在开始准备工序s1中，对于母材玻璃卷gr1所包括的第一玻璃膜gf1而言，通过了成膜装置4的第一导膜lf1卷绕于卷绕装置8，从而被从该母材玻璃卷gr1拉出。第一玻璃膜gf1与第一导膜lf1一起经过成膜装置4并被向卷绕装置8搬运。此时，第一玻璃膜gf1被以与第一导膜lf1的搬运速度相同的速度搬运。开始准备工序s1中的第一玻璃膜gf1的搬运速度设定得比后述的成膜工序s2中的第一玻璃膜gf1的搬运速度低。
62.开始准备工序s1包括使成膜装置4升温的升温工序。如图3所示，第一传感器6在第一连结部10通过了成膜装置4时，对第一连结部10以及第一玻璃膜gf1的始端部gfa进行检测，并将检测信号向控制装置9发送。由此，控制装置9使加热部14的加热器16工作，并开始辊主体15的加热。在该升温工序的开始时，第一连结部10以及第一玻璃膜gf1的始端部gfa通过了成膜装置4，因此在升温工序的执行中第一导膜lf1不与辊主体15接触。
63.辊主体15在将第一玻璃膜gf1向下游侧引导的同时由加热器16加热为规定的成膜温度以上。被加热的辊主体15的温度例如设定为200℃以上且500℃以下，但并不限定于该范围。需要说明的是，在升温工序的执行中，溅射源13不工作，不释放出溅射粒子。
64.控制装置9在升温工序完成时(当辊主体15被加热为规定的成膜温度以上时)，开始成膜工序s2。控制装置9控制放卷装置3的送出速度、辊主体15的旋转速度以及卷绕装置8的卷绕速度，并使第一玻璃膜gf1的搬运速度增加。成膜工序s2中的第一玻璃膜gf1的搬运速度期望在0.1～10m/min的范围内恒定，但并不限定于该范围。
65.辊主体15在将第一玻璃膜gf1加热的同时将该第一玻璃膜gf1向下游侧引导。第一玻璃膜gf1被辊主体15加热为150℃以上。在溅射粒子为ito的情况下，第一玻璃膜gf1期望加热为200℃以上，更期望为加热为250℃，最期望为加热为300℃以上。
66.通过控制装置9的控制，成膜装置4使溅射粒子(例如ito粒子)从多个溅射源13飞散，并依次附着在由辊主体15搬运的第一玻璃膜gf1。
67.通过利用辊主体15加热第一玻璃膜gf1，从而附着于该第一玻璃膜gf1的ito粒子结晶化，并形成低电阻(例如20ω/
□
以下)的功能性膜fm。由此，如图4所示形成第二玻璃膜gf2。
68.如图4所示，在成膜工序s2中，在利用保护膜供给部18将保护膜pf2与第二玻璃膜gf2重叠的同时，利用卷绕装置8将第二玻璃膜gf2以及保护膜pf2卷绕于卷芯wc2。由此，在卷芯wc2的周围形成玻璃卷gr2。玻璃卷gr2与卷芯wc2的旋转相应地扩大其外径。
69.当成膜工序s2接近结束时，全部第一玻璃膜gf1被从放卷装置3送出。之后，第二连结部11被从放卷装置3送出。如图5所示，当第二连结部11到达第二传感器7时，第二传感器7对该第二连结部11以及第一玻璃膜gf1的终端部gfb进行检测，并将检测信号向控制装置9发送。
70.当从第二传感器7接收到信号时，控制装置9开始进行结束准备工序s3。结束准备工序s3包括为了防止第二导膜lf2的断裂而使成膜装置4降温的降温工序。该降温工序在第一玻璃膜gf1通过成膜装置4的期间且终端部gfb到达成膜装置4前开始。
71.在降温工序中，控制装置9使由加热部14进行的加热停止。通过加热器16停止，从而辊主体15的温度逐渐降低。另外，控制装置9使成膜装置4的溅射源13停止。并且，控制装置9控制放卷装置3的送出速度、加热辊的旋转速度以及卷绕装置8的卷绕速度，并将第一玻璃膜gf1以及第二导膜lf2的搬运速度设定得比成膜工序s2中的搬运速度低。更优选的是，该搬运速度设定得比开始准备工序s1中的第一玻璃膜gf1的搬运速度低。
72.在降温工序中，在第一玻璃膜gf1通过加热部14的期间，使该辊主体15在进行旋转的同时降温，以成为第二导膜lf2不会断裂的温度(例如80℃以下)。当第一玻璃膜gf1通过加热部14时，与该第一玻璃膜gf1的终端部gfb连结的第二导膜lf2到达该加热部14。此时，由于辊主体15的温度已充分降低，因此第二导膜lf2不会发生断裂且被该辊主体15向下游侧搬运。
73.当通过了成膜装置4的第二导膜lf2被卷绕于卷绕装置8时，结束准备工序s3结束，并以玻璃卷gr2支承于卷绕装置8的状态完成。玻璃卷gr2被从真空腔室2取出，并向接下来的工序输送。
74.需要说明的是，在之后的工序中，玻璃卷gr2被从第二玻璃膜gf2拉出，通过光刻法等手段，在功能性膜fm形成规定的电路图案(例如电极图案)。当执行规定的制造相关处理时，保护膜pf2被从第二玻璃膜gf2去除(剥离)。
75.根据以上说明了的本实施方式的玻璃卷gr2的制造方法，在开始准备工序s1中，在辊主体15升温至成膜温度之前、即升温工序的开始前，使第一玻璃膜gf1到达加热部14，以使得第一导膜lf1不会因加热部14的热量而断裂。因而，加热部14的辊主体15不与第一导膜lf1接触，且在对第一玻璃膜gf1进行搬运的同时被加热器16加热。由此，能够不使第一导膜lf1溶解地可靠地进行成膜工序s2。
76.另外，在结束准备工序s3中，通过在第一玻璃膜gf1通过成膜装置4的期间执行降温工序，从而第二导膜lf2不会因加热部14的热量而断裂地通过成膜装置4，并被卷绕于卷绕装置8。
77.在本实施方式中，通过将开始准备工序s1以及结束准备工序s3中的第一玻璃膜gf1的搬运速度设定得比成膜工序s2中的第一玻璃膜gf1的搬运速度低，从而能够在升温工序的执行中以及降温工序的执行中尽可能减少不进行成膜就通过成膜装置4的第一玻璃膜gf1的量(长度)。
78.另外，通过将结束准备工序s3中的第一玻璃膜gf1的搬运速度设定得比开始准备工序s1中的第一玻璃膜gf1的搬运速度低，从而能够在与升温工序相比需要较长时间的降温工序中尽可能减少不进行成膜就通过成膜装置4的第一玻璃膜gf1的量(长度)。
79.图6以及图7示出本发明的第二实施方式。在本实施方式中，制造装置1中的成膜装置4的结构与第一实施方式不同。本实施方式的加热部14不具备辊主体15，而具备不与第一玻璃膜gf1接触地对该第一玻璃膜gf1进行加热的加热器16。溅射源13与加热器16隔开规定的间隔而配设。在加热器16的附近位置配设有将第一导膜lf1、第一玻璃膜gf1以及第二导膜lf2向溅射源13与加热器16之间引导的引导辊5a。
80.本实施方式中的其他结构与第一实施方式相同。在本实施方式中，对与第一实施方式共通的构成要素标注与第一实施方式相同的附图标记。
81.以下，对使用上述结构的制造装置1来制造玻璃卷gr2的方法进行说明。在本实施
方式中，在开始准备工序s1中，在第一玻璃膜gf1到达了成膜装置4(加热部14)之后，与第一实施方式同样地由第一传感器6对第一连结部10以及第一玻璃膜gf1的始端部gfa进行检测，并开始升温工序。
82.如图6所示，在升温工序的执行中，控制装置9控制放卷装置3、引导辊5、5a以及卷绕装置8，并使第一导膜lf1以及第一玻璃膜gf1在放卷装置3与卷绕装置8之间的搬运路径上往复移动。在这种情况下，期望第一连结部10以及第一玻璃膜gf1的始端部gfa在第一传感器6的下游侧的区域往复移动。由此，第一导膜lf1不会断裂，并且第一连结部10以及第一玻璃膜gf1的始端部gfa不会被第一传感器6再次检测，能够使第一玻璃膜gf1留在搬运路径。通过该往复移动，能够尽可能减少未形成功能性膜fm就被卷绕于卷绕装置8的第一玻璃膜gf1的量。需要说明的是，该往复移动的方式也能够应用于图1至图5中记载的本发明的玻璃卷的制造方法的第一实施方式。
83.当升温工序完成时，控制装置9控制放卷装置3、引导辊5、5a以及卷绕装置8，使第一玻璃膜gf1的往复移动结束，并且将该第一玻璃膜gf1朝向下游侧的卷绕装置8搬运。之后，如图7所示，执行由成膜装置4进行的成膜工序s2。当成膜工序s2结束时，控制装置9与第一实施方式同样地执行结束准备工序s3。
84.需要说明的是，本发明并不限定于上述实施方式的结构，也并不限定于上述的作用效果。本发明能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。
85.在上述的实施方式中，示出了将开始准备工序s1以及结束准备工序s3中的玻璃膜gf1、gf2以及导膜lf1、lf2的搬运速度设定得比成膜工序s2中的玻璃膜gf1、gf2的搬运速度低而搬运玻璃膜gf1、gf2以及导膜lf1、lf2的例子，但本发明并不限定于该结构。例如，也可以是，在开始准备工序s1、结束准备工序s3中，使玻璃膜gf1、gf2以及导膜lf1、lf2的搬运暂时停止。但是，在有可能因加热部14的辊主体15的热膨胀、收缩而辊主体15与玻璃膜gf1、gf2擦过的情况下，期望不使第一玻璃膜gf1停止而以低速进行搬运。
86.另外，也可以是，将开始准备工序s1中的第一玻璃膜gf1的搬运速度与结束准备工序s3中的第一玻璃膜gf1的搬运速度设定为相等。另外，也可以将开始准备工序s1以及结束准备工序s3中的第一玻璃膜gf1的搬运速度与成膜工序s2中的第一玻璃膜gf1的搬运速度设定为相等。
87.在上述的实施方式中，示出了在第一连结部10以及第一玻璃膜gf1的始端部gfa通过了加热部14之后，使开始准备工序s1的升温工序开始的例子，但本发明并不限定于该结构。例如，也可以是，在第一导膜lf1被加热部14的辊主体15搬运的期间开始升温工序。即，在本发明中，在升温工序的执行中(在辊主体15升温至成膜温度前)使第一玻璃膜gf1到达加热部14即可。
88.在上述的实施方式中，示出了在结束准备工序s3的降温工序中使加热部14的加热器16停止，并使该加热部14在真空腔室2内自然冷却的例子，但本发明并不限定于该方式。例如，也可以是，在降温工序中，从配设在真空腔室2内的喷嘴朝向加热部14喷射不活泼气体等制冷剂，从而冷却该加热部14。
89.在上述的实施方式中，在开始准备工序s1中，将第一导膜的搬运速度设为比较低的速度(例如0.01～0.5mm/min)，但并不限定于该方式。例如，通过适当调整第一传感器6的位置或增加传感器的个数，从而在开始准备工序s1中，在直到传感器检测出第一连结部10
的期间设定为比成膜工序s2中的搬运速度(例如0.1～10m/min)高的速度(例如1～15m/min)，由此能够缩短到开始升温工序为止的前置时间(lead time)。在这种情况下，也可以是，在传感器检测出第一连结部10之后，将搬运速度设为比较低的速度(例如0.01～0.5m/min)，而开始升温工序。
90.在上述的实施方式中，以在结束准备工序s3中将第一玻璃膜gf1的搬运速度设定得比开始准备工序s1中的第一玻璃膜gf1的搬运速度低的实施方式进行了说明，但并不限定于该实施方式。例如，也可以是，在结束准备工序s3中，在降温工序结束后成膜装置4的温度充分下降了的情况下，为了缩短前置时间，将第二导膜lf2的搬运速度设为高速(例如1～15m/min)。
91.附图标记说明
92.3 放卷装置
93.4 成膜装置
94.8 卷绕装置
95.14 加热部(加热辊)
96.fm 功能性膜
97.gf1 第一玻璃膜
98.gf2 第二玻璃膜
99.gfa 第一玻璃膜的始端部
100.gfb 第一玻璃膜的终端部
101.lf1 第一导膜
102.lf2 第二导膜
103.gr2 玻璃卷
104.s1 开始准备工序
105.s2 成膜工序
106.s3 结束准备工序。