1.本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体为一种生产优化的单晶炉。
背景技术:
2.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响,单晶硅的应用范围很广,其加工时需要使用单晶炉,现阶段的单晶炉在使用时能够满足其基本的使用需求,但是仍然存在着一些不足。
3.存在以下问题:
4.1、首先,现阶段的单晶炉内部构造设计不合理,导致单晶硅生产速度下降,原液加工效率低,影响使用。
5.2、其次,现阶段的装置拆装不便,不方便检修,同时不方便进出料,构造设计不合理。
技术实现要素:
6.(一)解决的技术问题
7.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种生产优化的单晶炉,通过优化传统单晶炉的构造,扩大单晶炉内部空间,通过在单晶炉的一端设置框架和防护盖,升级其使用性能,解决了现阶段的装置加工效率低、不方便拆装检修的问题。
8.(二)技术方案
9.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种生产优化的单晶炉,包括箱体,所述箱体的左部固定有箱体框架,所述箱体框架的另一侧连接有侧防护盖,所述箱体的轴心位置横向设置有绕线轮,所述绕线轮的右侧一端连接有滚珠花键轴,所述滚珠花键轴设置在箱体的右侧,所述绕线轮的左侧一端与箱体之间设置有轴承,所述轴承的外部连接有卡簧,所述卡簧通过定位座固定在箱体的内部左部,所述定位座的外侧设置有金属防护板,所述箱体框架内包括框架本体,以及形成在所述框架本体内部的凹陷平台,所述凹陷平台内设置有前后贯穿的异形腔体,所述凹陷平台的外壁上设置有销轴孔。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述绕线轮和滚珠花键轴之间的连接处安装有磁流体,且箱体的外部设置有气体通孔。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述绕线轮的外壁上安装有滑套,且滑套外接有绕线轮螺母。
12.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述箱体的右侧一端设置有侧板。
13.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述箱体和箱体框架之间设置有垫块,所述垫块、箱体和箱体框架之间采用定位件进行固定。
14.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述侧防护盖和箱体框架之间设置有盖板
连接件。
15.作为本实用新型的一种优选技术方案,所述侧防护盖的外壁上左右对应安装有型材用拉手和环形盖,所述环形盖上固定有销钉定位杆。
16.(三)有益效果
17.与现有技术相比,本实用新型提供了一种生产优化的单晶炉,具备以下有益效果:
18.1、该生产优化的单晶炉,通过在箱体的左部设置箱体框架,箱体框架能够起到加强结构强度,方便装置拆装的目的,箱体框架和绕线轮之间依次设置轴承、卡簧等组件,能够大大增强装置工作时的稳定性能,降低晃动及震感,进而优化其使用效果,本实用新型相对于传统设备,使用性能更良好,能够增加产品的加工速度,同时本实用新型扩大了箱体内部空间,优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以仿真结果设定合理的理论拉晶曲线,使得拉晶效果更好。
19.2、该生产优化的单晶炉,通过在箱体的左侧部分安装箱体框架,箱体框架和箱体之间设置垫块,稳定性好,箱体框架的另一侧设置侧防护盖,能够实现物料的处理,本实用新型设置了箱体框架,一方面能够增强设备使用的稳定性,其次方便检修,解决了现阶段的装置稳定性不佳、不方便检修处理的问题。
附图说明
20.图1为本实用新型结构示意图;
21.图2为本实用新型图1中a处的结构放大图;
22.图3为本实用新型的外部结构示意图;
23.图4为本实用新型中箱体框架的结构示意图;
24.图5为本实用新型中箱体框架的正视图。
25.图中:1、箱体;2、绕线轮;3、滑套;4、垫块;5、定位件;6、箱体框架;7、型材用拉手;8、侧板;9、绕线轮螺母;10、磁流体;11、滚珠花键轴;12、盖板连接件;13、定位座;14、金属防护板;15、轴承;16、卡簧;17、侧防护盖;18、销钉定位杆;19、环形盖;20、气体通孔;21、框架本体;22、凹陷平台;23、异形腔体;24、销轴孔。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
27.实施例
28.请参阅图1
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5所示,本实用新型提供以下技术方案:一种生产优化的单晶炉,包括箱体1,箱体1的左部固定有箱体框架6,箱体框架6的另一侧连接有侧防护盖17,箱体1的轴心位置横向设置有绕线轮2,绕线轮2的右侧一端连接有滚珠花键轴11,滚珠花键轴11设置在箱体1的右侧,绕线轮2的左侧一端与箱体1之间设置有轴承15,轴承15的外部连接有卡簧16,卡簧16通过定位座13固定在箱体1的内部左部,定位座13的外侧设置有金属防护板14,箱体框架6内包括框架本体21,以及形成在框架本体21内部的凹陷平台22,凹陷平台22内设
置有前后贯穿的异形腔体23,凹陷平台22的外壁上设置有销轴孔24。
29.本实施方案中,通过在箱体1的轴心位置横向设置有绕线轮2,实现拉晶处理,绕线轮2的右侧一端连接有滚珠花键轴11,滚珠花键轴11设置在箱体1的右侧,实现绕线轮2的驱动,通过在绕线轮2的左侧一端与箱体1之间设置有轴承15,轴承15的外部连接有卡簧16,增强其工作时的稳定性,降低震动。
30.具体的,绕线轮2和滚珠花键轴11之间的连接处安装有磁流体10,且箱体1的外部设置有气体通孔20。
31.本实施例中,箱体1的外部设置有气体通孔20,实现气体的进出。
32.具体的,绕线轮2的外壁上安装有滑套3,且滑套3外接有绕线轮螺母9。
33.本实施例中,通过该方式起到绕线轮2的防护效果。
34.具体的,箱体1的右侧一端设置有侧板8。
35.本实施例中,通过设置侧板8,具有加强防护的作用。
36.具体的,箱体1和箱体框架6之间设置有垫块4,垫块4、箱体1和箱体框架6之间采用定位件5进行固定。
37.本实施例中,通过在箱体1和箱体框架6之间设置垫块4,稳定性好。
38.具体的,侧防护盖17和箱体框架6之间设置有盖板连接件12。
39.本实施例中,通过该方式实现箱体框架6的连接安装。
40.具体的,侧防护盖17的外壁上左右对应安装有型材用拉手7和环形盖19,环形盖19上固定有销钉定位杆18。
41.本实施例中,通过设置环形盖19,方便物料的进出。
42.本实用新型的工作原理及使用流程:使用时可以在滚珠花键轴11的一端安装驱动机制,比如电机等,箱体1内部的温度高,实现多晶硅等多晶材料熔化,用直拉的方式进行物料的加工成型,工作时绕线轮2能够实现单晶硅等物料的线性拉硅作用,绕线轮2的一端设置轴承15,轴承15和金属防护板14之间设置卡簧16,能够起到绕线轮2工作时的缓压作用,降低振动,金属防护板14通过盖板连接件12与箱体框架6连接,实现其定位,本实用新型在箱体1的左部设置箱体框架6,将箱体框架6设置在箱体1和侧防护盖17之间,箱体框架6的设置能够大大提高装置运行的稳定性,进而提高加工效率,侧防护盖17的外壁上设置有型材用拉手7,方便侧防护盖17的开合,需要检修时,将侧防护盖17拆除,同时箱体框架6和箱体1之间为可拆卸安装,能够方便箱体1内部组件的检修。
43.最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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