一种高频感应单晶炉冷却系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种高频感应单晶炉冷却系统，具体为一种高频感应单晶炉冷却系统，属于单晶炉技术领域。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用利用电磁感应原理加热将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
3.专利号cn 210974932 u的公布了一种单晶炉的冷却系统，炉体的侧壁包括有能对炉体冷却的第一冷却层，第一冷却层包括有左冷却层和右冷却层，左冷却层位于炉体的左半侧壁，左半侧壁内设置有第一导流板和第二导流板，使得冷却水经过第一导流板和第二导流板时能够全方位的对炉体进行冷却降温，降温效果好；同时炉体的底部设置有能对炉体底部进行冷却降温的第二冷却层，通过对炉体的侧壁和炉体的底部进行双重冷却，可使炉体的表面温度接近人体的表面温度，可用手直接触摸，不会对人体造成伤害；右冷却层位于炉体的右半侧壁，右半侧壁内设置有第三导流板和第四导流板，使得冷却水进入炉体的右半侧壁时会不断改变流经方向，对炉体的右半侧壁进行全方位的冷却。
4.现有技术的单晶炉有以下缺点：1、单晶炉加工后整体温度较高，现有单晶炉的冷却效果差，冷却一定时间后炉体表面温度仍较高，影响使用；2、炉体表面易与外界物体接触碰撞造成划损，影响炉体使用，因此，针对上述问题进行改进。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种高频感应单晶炉冷却系统，持续输送到空心管内的空气与水配合对炉体内冷却，冷却管与散热层配合对炉体外冷却，冷却效果好；炉体外侧喷涂的加强层、耐磨层等配合提高炉体的强度和防划能力，避免其表面划损。
6.本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种高频感应单晶炉冷却系统，包括炉体，所述炉体内侧固定连接有保温层，所述保温层包裹在内壳的外侧，所述内壳外表面焊接有空心管，所述空心管的进气口延伸到管道的内部，所述内壳与保温层之间构成冷却层，所述冷却层顶端右侧固定连接有出水管，所述冷却层右侧底端固定连接有进水管，所述炉体两侧均环绕连接有冷却管，所述冷却管底端焊接有连接管，所述冷却管底端螺纹连接有雾化喷头，所述炉体外表面喷涂有加强层，所述加强层外表面涂覆有耐磨层，所述耐磨层外表面喷涂有散热层，所述散热层表面粘接有防划膜，所述空心管的进气口延伸到出气管的内部，所述炉体底端贯穿连接有进气管，所述冷却管外侧固定连接有水管。
7.优选的，所述管道两端均焊接有空心管，所述连接管两端均焊接有冷却管。
8.优选的，所述冷却管位于卡件的内侧，所述卡件螺纹连接有炉体。
9.优选的，所述耐磨层的材质为聚四氟乙烯，所述防划膜的材质为聚氨酯。
10.优选的，所述进气管与空心管互通，所述水管的进气口延伸到冷却管的内部。
11.本实用新型的有益效果是：
12.1、持续输送到空心管内的空气与水配合对炉体内冷却，冷却管与散热层配合对炉体外冷却，冷却效果好；炉体内内壳与保温层间构成冷却层，内壳表面焊接有多个交错的空心管，且空心管某一侧均与炉体一端有间隙，可方便水呈s型流动，相邻空心管间通过管道连接，冷却时冷却水经进水管从炉体底部向冷却层内输送，同时进气管连接的鼓风机启动，鼓风机持续抽取外界空气经进气管向底端的空心管内输送，水经空心管导向向上的过程中持续吸收炉体内向内壳传输的热量，同时空心管内空气经管道持续向上方空心管内输送的同时吸收水传递给空心管的热量，冷却层内水吸热能力增大，空气持续输送过程中吸热后的空气经出气管移出，同时吸热后的水经出水管流出炉体，可快速对炉体内部进行降温，炉体外两侧环绕有多个冷却管且冷却管间通过连接管连接，冷却水经水管输送进冷却管内，冷却管底端连接有多个雾化喷头，冷却管内水经雾化喷头呈雾状向下喷洒到炉体表面，水颗粒吸收炉体表面的热量后汽化，可快速降低炉体外表面的热量，同时炉体外表面喷涂有材质为辐射散热涂料的散热层，散热层能够以8
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13.5μm波长形式发射走炉体上的热量，可对炉体进行散热，空心管内持续输送的空气与水配合对炉体内冷却，冷却管和散热层配合对炉体外冷却，炉体内外同时冷却，冷却效果好。
13.2、炉体外侧喷涂的加强层、耐磨层等配合提高炉体的强度和防划能力，避免其表面划损；炉体外侧从内到外依次有加强层、耐磨层和防划膜，最外侧防划膜先与外界接触，防划膜材质为聚氨酯，聚氨酯具有卓越的耐磨性能，柔韧性好，特别是有高抗撕裂性，良好的弹性，防划膜内含抗uv聚合物，抗黄变，且具有超强的韧性和耐磨性，抗碰撞，抵抗划伤能力强，与外界物体接触后表面不易划损，内层材质为聚四氟乙烯的耐磨层具有较强的耐磨性能，同时最内层加强层为碳化钨喷涂后熔渗进炉体的表层，从而形成合金化的表面强化层，提高炉体整体的硬度和耐磨性能，防划膜、耐磨层和加强层配合提高炉体整体的防划伤能力，硬度和耐磨性能，可避免炉体划损。
附图说明
14.图1为本实用新型整体的部分剖结构示意图；
15.图2为本实用新型炉体表面结构的结构示意图；
16.图3为本实用新型整体的结构示意图；
17.图4为本实用新型炉体内空心管的结构示意图。
18.图中：1、炉体；2、空心管；3、内壳；4、出水管；5、冷却管；6、连接管；7、保温层；8、管道；9、卡件；10、雾化喷头；11、进水管；12、加强层；13、耐磨层；14、散热层；15、防划膜；16、出气管；17、水管；18、进气管。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1
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4所示，一种高频感应单晶炉冷却系统，包括炉体1，所述炉体1内侧固
定连接有保温层7，所述保温层7包裹在内壳3的外侧，所述内壳3外表面焊接有空心管2，所述空心管2的进气口延伸到管道8的内部，所述内壳3与保温层7之间构成冷却层，所述冷却层顶端右侧固定连接有出水管4，冷却层内吸热后的水经出水管4流出，所述冷却层右侧底端固定连接有进水管11，冷却水经进水管11向冷却层内输送，所述炉体1两侧均环绕连接有冷却管5，所述冷却管5底端焊接有连接管6，所述冷却管5底端螺纹连接有雾化喷头10，冷却管5内水经雾化喷头10呈雾状喷出，所述炉体1外表面喷涂有加强层12，所述加强层12外表面涂覆有耐磨层13，耐磨层13和加强层12配合可提高炉体1强度，硬度和耐磨性能，所述耐磨层13外表面喷涂有散热层14，散热层14可吸收炉体1热量对炉体1进行散热，所述散热层14表面粘接有防划膜15，防划膜15可避免炉体1表面划损，所述空心管2的进气口延伸到出气管16的内部，空心管2内吸热后的空气经出气管16移出，所述炉体1底端贯穿连接有进气管18，鼓风机与进气管18连接，可持续往进气管18内输送空气，所述冷却管5外侧固定连接有水管17，冷却水经水管17输送进冷却管5内对炉体1进行冷却。
21.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述管道8两端均焊接有空心管2，所述连接管6两端均焊接有冷却管5，连接管6可对相邻的冷却管5进行连接，方便冷却水流通。
22.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却管5位于卡件9的内侧，所述卡件9螺纹连接有炉体1，卡件9两侧通过螺钉固定在炉体1表面，可固定冷却管5的位置。
23.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述耐磨层13的材质为聚四氟乙烯，耐磨层13具有较高的耐磨性能，所述防划膜15的材质为聚氨酯，聚氨酯具有高抗撕裂性，良好的弹性，防划能力好。
24.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述进气管18与空心管2互通，空气经进气管18输送进空心管2的内部，所述水管17的进气口延伸到冷却管5的内部，冷却水经水管17输送进冷却管5的内部。
25.本实用新型在使用时，炉体1内加热组件通电后加热对单晶进行生产，生产结束后需对炉体1进行冷却，炉体1内内壳3与保温层7间构成冷却层，内壳3表面焊接有多个交错的空心管2，且空心管2某一侧均与炉体1一端有间隙，可方便水呈s型流动，相邻空心管2间通过管道8连接，冷却时冷却水经进水管11从炉体1底部向冷却层内输送，同时进气管18连接的鼓风机启动，鼓风机持续抽取外界空气经进气管18向底端的空心管2内输送，水经空心管2导向向上的过程中持续吸收炉体1内向内壳3传输的热量，同时空心管2内空气经管道8持续向上方空心管2内输送的同时吸收水传递给空心管2的热量，冷却层内水吸热能力增大，空气持续输送过程中吸热后的空气经出气管16移出，同时吸热后的水经出水管4流出炉体1，可快速对炉体1内部进行降温，炉体1外两侧环绕有多个冷却管5且冷却管5间通过连接管6连接，冷却水经水管17输送进冷却管5内，冷却管5底端连接有多个雾化喷头10，冷却管5内水经雾化喷头10呈雾状向下喷洒到炉体1表面，水颗粒吸收炉体1表面的热量后汽化，可快速降低炉体1外表面的热量，同时炉体1外表面喷涂有材质为辐射散热涂料的散热层14，散热层14能够以8
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13.5μm波长形式发射走炉体1上的热量，可对炉体1进行散热，炉体1内外同时冷却，冷却效果好，炉体1外侧从内到外依次有加强层12、耐磨层13和防划膜15，最外侧防划膜15先与外界接触，防划膜15材质为聚氨酯，聚氨酯具有卓越的耐磨性能，柔韧性好，特别是有高抗撕裂性，良好的弹性，防划膜15内含抗uv聚合物，抗黄变，且具有超强的韧性和耐磨性，抗碰撞，抵抗划伤能力强，与外界物体接触后表面不易划损，内层材质为聚四氟乙
烯的耐磨层13具有较强的耐磨性能，同时最内层加强层12为碳化钨喷涂后熔渗进炉体1的表层，从而形成合金化的表面强化层，提高炉体1整体的硬度和耐磨性能，可避免炉体1划损。
26.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
27.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。