一种用于半导体设备的尾气管装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体为一种用于半导体设备的尾气管装置。


背景技术：

2.半导体设备是指生产半导体相关产品的专用设备。以中国电子专用设备工业协会的分类口径，半导体设备主要包括集成电路设备、光伏设备、led设备。其中，集成电路设备附加值最高，包括前端集成电路制造设备与后端集成电路封测设备，最终品为应用于电子、通信等各行业领域的芯片。在对半导体设备进行保养或者维修的时候，难免会遇到要将一些气体管道进行闷锁处理，以免其内部发生氧化等反应而造成的锈蚀以及爆炸，在针对拆下的尾气管道时，大多情况下是直接用一种金属闷头将管道口闷死，避免不必要的内部腐蚀。
3.然而，现有的用于尾气管口进行封堵的方式存在以下的问题：(1)现有的封堵方式多采用闷板组件对管口进行封堵，闷板组件主要包括卡箍、密封垫和闷板组成，在对尾气管拆卸到封堵这段时间，难免会有少量的空气进入管道，这样会造成管道内壁的氧化，甚至会因为管道中含有含磷化合物而发生爆炸，这样会大大地减小尾气管的寿命；(2)现有的闷板组件结构较为简单，封堵时难以对进入的空气进行处理，封堵的效果达不到要求。为此，需要设计相应的技术方案解决存在的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种用于半导体设备的尾气管装置，解决了现有的封堵方式多采用闷板组件对管口进行封堵，闷板组件主要包括卡箍、密封垫和闷板组成，在对尾气管拆卸到封堵这段时间，难免会有少量的空气进入管道，这样会造成管道内壁的氧化，甚至会因为管道中含有含磷化合物而发生爆炸，这样会大大地减小尾气管的寿命，这一技术问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体设备的尾气管装置，包括安装于半导体设备上的金属尾气管，所述金属尾气管的上端形成有管口，所述管口处安装有闷板组件，所述闷板组件包括卡箍和内嵌于卡箍内部的闷板本体，所述卡箍的下沿与管口外壁相抵触且上沿与闷板本体相抵触，所述卡箍与管口、闷板本体的连接处均套嵌有密封圈，所述闷板本体的中部开设有槽口，所述槽口内部安装有阻塞垫且开口处焊接有公头螺纹组件，所述公头螺纹组件上安装有氮气导入机构，所述氮气导入机构包括螺丝帽和固定于螺丝帽上端的氮气软管，所述螺丝帽螺纹套嵌于公头螺纹组件上，所述氮气软管的下端与螺丝帽的上端密封连接且上端形成有导入口，所述导入口内通入氮气。作为本实用新型的一种优选实施方式，所述卡箍由对称设置的两组卡紧半环组成，两组所述卡紧半环的一端连接处设置有垫片且另一端连接处均加工成型有对接块，两组所述卡紧半环均通过销栓活动安装于垫片上。
6.作为本实用新型的一种优选实施方式，两组所述对接块的中部均开设有调节口，其中一组所述调节口的上方开设有活动口，所述活动口内活动穿插有转动杆，所述转动杆的下端连接有螺杆，所述螺杆的外端螺纹固定有旋钮。
7.作为本实用新型的一种优选实施方式，两组所述卡紧半环的内壁均加工成型有弧形槽，所述密封圈内嵌于弧形槽内。
8.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述阻塞垫内置于槽口内且包括垫塞和对称设置于垫塞底部的两组复位弹簧，两组所述复位弹簧的上端固定于槽口下开口的侧壁上且下端与垫塞的底部固定连接。
9.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述垫塞的上端径小于槽口的规格且顶部开设有集气口，所述垫塞的中部等于槽口的规格，所述垫塞的下端大于槽口的规格。
10.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述公头螺纹组件包括中部开设有通气口的主套管和加工成型于主套管外围的螺纹结构，所述通气口与螺丝帽的内腔相连通。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
12.1.本实用新型设计了一种专门用于半导体设备的尾气管进行封堵的装置，在常规闷板组件基础上设计有氮气导入机构，能够在尾气管内部持续的通入高纯氮气，因为氮气本身的惰性等性能，能够防止空气对尾气管的氧化腐蚀，甚至爆炸风险，此外，加入的氮气软管既经济实惠，而且操作简便。
13.2.本实用新型在闷板中部的开口内设计有阻塞垫，在氮气导入机构与闷板组件连接前，可以通过阻塞垫保持尾气管的开口处于密封状态，减小空气的进入。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构图；
15.图2为本实用新型所述闷板组件结构图；
16.图3为本实用新型所述阻塞垫未通气状态下示意图；
17.图4为本实用新型所述阻塞垫通气状态下示意图。
18.图中:1、金属尾气管；2、管口；3、卡箍；4、闷板本体；5、密封圈；6、槽口；7、阻塞垫；8、公头螺纹组件；9、螺丝帽；10、氮气软管；11、导入口；12、卡紧半环；13、垫片；14、对接块；15、调节口；16、活动口；17、转动杆；18、螺杆；19、旋钮；20、弧形槽；21、垫塞；22、复位弹簧；23、集气口；24、通气口；25、主套管。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体设备的尾气管装置，包括安装于半导体设备上的金属尾气管1，金属尾气管1的上端形成有管口2，管口2处安装有闷板组件，闷板组件包括卡箍3和内嵌于卡箍3内部的闷板本体4，卡箍3的下沿与管口2外壁相抵触且上沿与闷板本体4相抵触，卡箍3与管口2、闷板本体4的连接处均套嵌有密封
圈5，闷板本体4的中部开设有槽口6，槽口6内部安装有阻塞垫7且开口处焊接有公头螺纹组件8，公头螺纹组件8上安装有氮气导入机构，氮气导入机构包括螺丝帽9和固定于螺丝帽9上端的氮气软管10，螺丝帽9螺纹套嵌于公头螺纹组件8上，氮气软管10的下端与螺丝帽9的上端密封连接且上端形成有导入口11，导入口11内通入氮气。
21.进一步改进地，如图2所示：卡箍3由对称设置的两组卡紧半环12组成，两组卡紧半环12的一端连接处设置有垫片13且另一端连接处均加工成型有对接块14，两组卡紧半环12均通过销栓活动安装于垫片13上，这样的设计方式便于两组卡紧半环12进行转动调节。
22.进一步改进地，如图2所示：两组对接块14的中部均开设有调节口15，其中一组调节口15的上方开设有活动口16，活动口16内活动穿插有转动杆17，转动杆17的下端连接有螺杆18，螺杆18的外端螺纹固定有旋钮19，当需要对卡箍3进行锁紧时，可以通过转动旋钮19对两组卡紧半环12拉紧锁扣。
23.进一步改进地，如图2所示：两组卡紧半环12的内壁均加工成型有弧形槽20，密封圈5内嵌于弧形槽20内，通过密封圈5可以提高闷板组件与管口2连接的紧密度和密封堵。
24.进一步改进地，如图3所示：阻塞垫7内置于槽口6内且包括垫塞21和对称设置于垫塞21底部的两组复位弹簧22，两组复位弹簧22的上端固定于槽口6下开口的侧壁上且下端与垫塞21的底部固定连接，通过复位弹簧22可以达到对垫塞21下移和复位的目的，一方面可以达到密封的目的，另一方面便于氮气的导入。
25.进一步改进地，如图3所示：垫塞21的上端径小于槽口6的规格且顶部开设有集气口23，垫塞21的中部等于槽口6的规格，垫塞21的下端大于槽口6的规格，这样的设计方式在常规状态通过垫塞21底部对槽口6进行密封处理，当通入氮气时气体吹至集气口23并推动垫塞21向下移动并脱离槽口6，便于氮气的导入。
26.具体地，公头螺纹组件8包括中部开设有通气口24的主套管25和加工成型于主套管25外围的螺纹结构，通气口24与螺丝帽9的内腔相连通，这样的设计方式便于氮气导入机构与公头螺纹组件8进行拆装。
27.在使用时：本实用新型当需要对金属尾气管1进行拆装检修时，首先拆开金属尾气管1，这时金属尾气管1的管口2会暴露在空气中，将焊接有公头螺纹组件8的闷板组件锁在金属尾气管1的管口2上，此时阻塞垫7对槽口6处于封堵状态，然后把带有螺丝帽9的氮气软管10锁在公头螺纹组件8上，打开氮气开关，开始通气，气体吹至集气口23并推动垫塞21向下移动并脱离槽口6，便于氮气的导入，这样金属尾气管1就能源源不断地通入氮气，既带走了管道中的空气，又避免了管道内壁的氧化腐蚀，延长了尾气管的寿命。
28.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。