一种单晶硅棒开方机的制作方法

专利检索2022-05-10  21



1.本实用新型涉及单晶硅切割技术领域,具体是一种单晶硅棒开方机。


背景技术:

2.开方机是一种将圆柱状的单晶硅棒沿着晶线切割形成四棱柱状的装置,装置中最核心的设备为切割头,切割头使用金刚线缠绕后利用金刚线的快速移动切割单晶硅棒,传统的金刚线单晶硅棒开方机都仅能进行单根单晶硅棒的切割加工,效率低下且线速较慢。
3.中国专利(公告号:cn 207322823 u,公告日:2017.11.07)公布了一种双驱动单晶硅棒双边切割机,该切割机能够同时运行两组金刚石线锯对单晶硅棒棒进行切割,但是在切割前,需要人工找出单晶硅棒棒的晶线并标记,再通过人工上料,切割时缺乏足够的夹持结构或部件来对单晶硅棒进行夹持,且加工效率较低,因此实用性不够高。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒开方机,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
6.一种单晶硅棒开方机,包括工作台,所述工作台下端设有支柱,所述工作台上端设有切割机构和夹持机构,所述工作台上端设有滑道,所述夹持机构右端通过伸缩杆连接设置有辅助机构,所述夹持机构和辅助机构均设置在滑道上并能够在滑道上左右移动,所述切割机构包括切割机箱和切割机箱上设有主驱动轮、从动轮和张紧轮,所述从动轮设置在主驱动轮的正下方,所述张紧轮设置为上下相同的两个,两个张紧轮分别设置在主驱动轮和从动轮的正右方,所述夹持机构包括第一活动板、升降柱和安装框,所述第一活动板下端卡和设置在滑道内,第一活动板的上端与升降柱的下端固定连接,所述升降柱的侧端与安装框的一侧端固定连接,所述安装框内腔设有螺纹杆,所述螺纹杆通过连杆套与安装框内壁相连,所述安装框另一侧端设有电机,所述螺纹杆的一端穿过安装框并与所述电机的输出端相连,所述螺纹杆上设有左右相同的两个螺纹套,所述螺纹套的下端连接设置有夹臂,所述辅助机构包括第二活动板和辅助机箱,所述第二活动板下端卡和设置在滑道内,所述第二活动板的上端与辅助机箱下端固定连接,所述辅助机箱一侧端通过连接板连接设置有紧固板,所述紧固板上设有米字型紧固槽,所述米字型紧固槽内对应位置设有紧固杆。
7.作为本实用新型进一步的方案:所述主驱动轮与张紧轮、从动轮与张紧轮均沿着切割机箱高度方向中心轴线左右对称分布设置,所述主驱动轮、从动轮和张紧轮上共同设置有金刚石线锯。
8.作为本实用新型再进一步的方案:所述主驱动轮和张紧轮的上方均设有喷淋装置,所述喷淋装置沿着切割机箱高度方向中心轴线左右对称分布设置。
9.作为本实用新型再进一步的方案:左右两个所述喷淋装置之间设有线速测量器。
10.作为本实用新型再进一步的方案:所述螺纹杆上设有左右两组螺纹方向相反的外
螺纹,两组外螺纹沿着螺纹杆长度方向中心点左右对称分布设置。
11.作为本实用新型再进一步的方案:左右两个所述夹臂左右镜像对称分布设置。
12.作为本实用新型再进一步的方案:左右两个所述夹臂相互靠近的一端设有软垫,所述夹臂中部拐角处设有棱角预留缺口。
13.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该单晶硅棒开方机通过设置滑道来对夹持机构的水平位置进行调整,又配合设置有辅助机构来对待加工单晶硅棒进行紧固处理,进一步提高了夹持稳定性,夹持机构和辅助机构之间连接有伸缩杆,可根据待加工单晶硅棒的长度来调整夹持机构和辅助机构间的距离,通过电机间接带动夹臂来对单晶硅棒进行夹持,充分节省人力,整体装置结构简单且操作方便,夹持稳定性高,加工效率高,具有更强的实用性。
附图说明
14.图1为一种单晶硅棒开方机的整体结构示意图。
15.图2为一种单晶硅棒开方机中切割机构结构示意图。
16.图3为一种单晶硅棒开方机中夹持机构结构示意图。
17.图4为一种单晶硅棒开方机中辅助机构结构示意图。
18.图5为一种单晶硅棒开方机夹持机构结构示意图中的a部分放大示意图。
19.其中:工作台

1,支柱

2,切割机构

3,滑道

4,夹持机构

5,辅助机构

6,切割机箱

7,金刚石线锯

8,张紧轮

9,主驱动轮

10,从动轮

11,喷淋装置

12,线速测量器

13,第一活动板

14,升降柱

15,安装框

16,螺纹杆

17,电机

18,螺纹套

19,夹臂

20,第二活动板

21,辅助机箱

22,连接板

23,紧固板

24,米字型紧固槽

25,紧固杆

26,软垫

27,棱角预留缺口

28,伸缩杆

29。
具体实施方式
20.需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
21.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
22.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
24.实施例一
25.请参阅图1

4,一种单晶硅棒开方机,包括工作台1,所述工作台1下端设有支柱2,所述工作台1上端设有切割机构3和夹持机构5,所述工作台1上端设有滑道4,所述夹持机构5右端通过伸缩杆29连接设置有辅助机构6,所述夹持机构5和辅助机构6均设置在滑道4上并能够在滑道4上左右移动,所述切割机构3包括切割机箱7和切割机箱7上设有主驱动轮10、从动轮11和张紧轮9,所述从动轮11设置在主驱动轮10的正下方,所述张紧轮9设置为上下相同的两个,两个张紧轮9分别设置在主驱动轮10和从动轮11的正右方,所述夹持机构5包括第一活动板14、升降柱15和安装框16,所述第一活动板14下端卡和设置在滑道4内,第一活动板14的上端与升降柱15的下端固定连接,所述升降柱15的侧端与安装框16的一侧端固定连接,所述安装框16内腔设有螺纹杆17,所述螺纹杆17通过连杆套与安装框16内壁相连,所述安装框16另一侧端设有电机18,所述螺纹杆17的一端穿过安装框16并与所述电机18的输出端相连,所述螺纹杆17上设有左右相同的两个螺纹套19,所述螺纹套19的下端连接设置有夹臂20,所述辅助机构6包括第二活动板21和辅助机箱22,所述第二活动板21下端卡和设置在滑道4内,所述第二活动板21的上端与辅助机箱22下端固定连接,所述辅助机箱22一侧端通过连接板23连接设置有紧固板24,所述紧固板24上设有米字型紧固槽25,所述米字型紧固槽25内对应位置设有紧固杆26。
26.具体的,所述主驱动轮10与张紧轮9、从动轮11与张紧轮9均沿着切割机箱7高度方向中心轴线左右对称分布设置,所述主驱动轮10、从动轮11和张紧轮9上共同设置有金刚石线锯8。
27.进一步的,所述主驱动轮10和张紧轮9的上方均设有喷淋装置12,所述喷淋装置12沿着切割机箱7高度方向中心轴线左右对称分布设置。
28.进一步的,左右两个所述喷淋装置12之间设有线速测量器13。
29.进一步的,所述螺纹杆17上设有左右两组螺纹方向相反的外螺纹,两组外螺纹沿着螺纹杆17长度方向中心点左右对称分布设置。
30.进一步的,左右两个所述夹臂20左右镜像对称分布设置。
31.该开方机在使用时,将待加工单晶硅棒移至夹持机构5内,调整好位置后启动电机18,电机18带动螺纹杆17转动进而带动螺纹套19移动,螺纹套19移动带动夹臂20移动来对单晶硅棒进行夹紧,然后根据单晶硅棒的长度来调节伸缩杆29的长度并使单晶硅棒的一端伸入至紧固杆26内围,通过辅助机箱22控制紧固杆26在米字型紧固槽25内移动来对单晶硅棒的一端进行紧固处理,所述第一活动板14下端设有行动机构,通过行动机构控制第一活动板14在滑道4内移动,第一活动板14移动时会带动第二活动板21一起移动,再通过切割机箱7来启动主驱动轮10,主驱动轮10带动从动轮11和张紧轮9转动进而带动金刚石线锯8移动来对单晶硅棒进行切割加工,切割时可通过喷淋装置12来对金刚石线锯8进行降温,并配合线速测量器13来调整切割速度。
32.实施例二
33.参阅图3、5,在实施例1的基础上,对夹臂20的夹持能力进行改进提升,即在左右两个所述夹臂20相互靠近的一端设有软垫27,所述夹臂20中部拐角处设有棱角预留缺口28。
34.通过设置软垫27来避免夹持时对单晶硅棒产生的磨损,单晶硅棒的棱角处与棱角
预留缺口28相抵,使得夹臂20能够更好的对单晶硅棒进行夹持,同时大大提高了夹臂20的夹持泛用性。
35.综上所述,该单晶硅棒开方机通过设置滑道4来对夹持机构5的水平位置进行调整,又配合设置有辅助机构6来对待加工单晶硅棒进行紧固处理,进一步提高了夹持稳定性,夹持机构5和辅助机构6之间连接有伸缩杆29,可根据待加工单晶硅棒的长度来调整夹持机构5和辅助机构6间的距离,通过电机18间接带动夹臂20来对单晶硅棒进行夹持,充分节省人力,整体装置结构简单且操作方便,夹持稳定性高,加工效率高,具有更强的实用性。
36.上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明,但是本专利并不限于上述实施方式,在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。
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