一种双面曝光机用夹具及曝光机的制作方法

1.本实用新型属于半导体制作设备技术领域，尤其涉及一种双面曝光机用夹具及曝光机。


背景技术：

2.光刻机又叫掩模对准曝光机，曝光系统，是整个半导体制作工艺中较为关键的一个步骤，对产品的质量影响也是至关重要。
3.芯片因工艺需要实现正反两面对准曝光，常规的双面曝光都是通过的双面曝光机来实现，双面曝光机的优点是对准精度高，缺点是效率不高，价格高，针对一些精度要求没那么高的场合，使用双面曝光机会导致生产成本的上升，同时难以提升生产效率。


技术实现要素：

4.本技术实施例要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种双面曝光机夹具及曝光机，用于解决双面曝光效率低的问题。
5.本技术实施例解决上述技术问题的技术方案如下：一种双面曝光机用夹具，其包括：基板，所述基板上开设有通孔；
6.限位挡条，两所述限位挡条设置在所述基板上且位于所述通孔外侧，两所述限位挡条相互垂直形成直角限位机构；
7.顶角限位机构，所述顶角限位机构沿所述直角限位机构角平分线方向与所述直角限位机构相对设置，所述通孔位于所述顶角限位机构与所述直角限位机构之间。
8.相较于现有技术，以上技术方案具有如下有益效果：
9.通过限位挡条形成的直角限位机构和与之相对的顶角限位机构将光刻板限制固定在其中，位于两者之间的通孔对准光刻板，对光刻板上的芯片进行双面曝光，通过两相对的直角限位机构和顶角限位机构可以快速准确的对光刻板进行定位，避免了常规双面曝光机标记对准的低效率，提高了整体效率，同时降低了成本。
10.进一步地，所述顶角限位机构包括：弹性杆件，所述弹性杆件长度方向与所述直角限位机构角平分线方向相一致；
11.抵接块，所述抵接块固定在所述弹性杆件端部与所述直角限位机构相对设置；
12.限位块，所述限位块固定在所述基板上远离所述抵接块一端，所述弹性杆件端部设置有与所述限位块匹配的卡块，以将所述抵接块定位。
13.通过弹性杆件将连接在其端部抵接块弹性抵接住放置在直角限位机构和抵接块之间的光刻板进行快速固定定位，同时可以将抵接块通过相互匹配的卡块和限位块进行定位，使之保持打开状态，方便光刻板的放置，放置之后解除限位块对弹性杆件的定位，以实现对其中光刻板的夹紧固定。
14.进一步地，所述弹性杆件包括：顶杆，所述顶杆上匹配有固定在所述基板上的导向块；
15.弹性件，所述弹性件套接与所述顶杆上，且位于所述导向块与所述抵接块之间。
16.顶杆通过导向孔保证其与直角限位机构角平分线保持一致，通过套接在杆件上位于导向块与抵接块之间的弹性件提供弹力将抵接块抵接固定住。
17.进一步地，所述抵接块与所述弹性杆件可拆卸式连接。
18.将弹性杆件与抵接块设置为可拆卸式结构，方便更换抵接块。
19.进一步地，所述抵接块设置有与所述直角限位机构相对的直角卡口。
20.将抵接块设置有直角卡口，通过直角卡口和另一端形成的直角限位机构将光刻板对角的两个角点进行限位固定，保证光刻板固定在其中不会晃动。
21.进一步地，所述限位块上开设有与所述弹性杆件匹配的缺口，所述弹性杆件穿过所述缺口端部周面设置有所述卡块。
22.限位块上开设供弹性杆件通过的缺口，方便拉伸弹性杆件，弹性杆件端部设置的卡块通过缺口后旋转与限位块卡住，使得弹性杆件保持打开状态，方便将光刻板放入其中，之后，拉伸卡块旋转卡块通过缺口，弹性杆件由于弹性回复抵接住光刻板，对光刻板进行定位。
23.本实施例还提供一种曝光机，其包括操作平台，所述操作平台上设置有与上述的夹具的通孔对应的曝光孔；
24.平台限位机构，所述平台限位机构设置在所述曝光孔外周，用于限位上述的夹具，以将所述通孔对准所述曝光孔；
25.曝光机头，所述曝光机构对称设置在所述曝光孔两侧。
26.利用夹具夹持光刻板，之后将光刻板通过平台限位机构固定在操作平台上，下方曝光机头通过曝光孔和通孔对光刻板下面进行曝光，上方曝光机头对上面光刻板进行曝光，实现双面曝光。
附图说明
27.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1为具体实施例1所述的整体结构示意图
29.图2为具体实施例2所述的正视结构示意图。
30.附图标记：
31.1、基板；2、通孔；
32.3、限位挡条；4、直角限位机构；
33.5、顶角限位机构；
34.6、弹性杆件；61、顶杆；62、导向块；63、弹性件；
35.7、抵接块；71、直角卡口；
36.8、限位块；81、缺口；
37.9、卡块；
38.10、操作平台；11、曝光孔；
39.12、平台限位机构；
40.13、曝光机头。
具体实施方式
41.下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
42.需要注意的是，除非另有说明，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
43.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
44.此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
45.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
46.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
47.实施例1
48.如图1所示，本实用新型实施例所提供的一种双面曝光用夹具，其包括：基板1、限位挡条3及顶角限位机构5，所述基板1上开设有通孔2，具体地，本实施例中通孔2开设为与光刻板匹配的矩形，或满足其他要求的其他形状，两所述限位挡条3设置在所述基板1上且位于所述通孔2外侧，两所述限位挡条3相互垂直形成直角限位机构4，两相互垂直的限位挡条3设置为矩形通孔2的任意两相邻边外侧，所述顶角限位机构5沿所述直角限位机构4角平分线方向与所述直角限位机构4相对设置，即顶角限位机构5位于两限位挡条3所在矩形通孔2的角点的对角线方向上另一端的角点处，同时位于矩形通孔2的外侧，即所述通孔2位于所述顶角限位机构5与所述直角限位机构4之间。
49.通过限位挡条3形成的直角限位机构4和与之相对的顶角限位机构5将光刻板限制固定在其中，位于两者之间的通孔2对准光刻板，对光刻板上的芯片进行双面曝光，通过两相对的直角限位机构4和顶角限位机构5可以快速准确的对光刻板进行定位，避免了常规双面曝光机标记对准的低效率，提高了整体效率，同时降低了成本。
50.所述顶角限位机构5包括：弹性杆件6、抵接块7及限位块8，所述弹性杆件6长度方向与所述直角限位机构4角平分线方向相一致，所述抵接块 7固定在所述弹性杆件6端部与所述直角限位机构4相对设置，所述限位块 8固定在所述基板1上远离所述抵接块7一端，所述弹性杆件6端部设置有与所述限位块8匹配的卡块9，以将所述抵接块7定位。
51.通过弹性杆件6将连接在其端部抵接块7弹性抵接住放置在直角限位机构4和抵接块7之间的光刻板进行快速固定定位，同时可以将抵接块7通过相互匹配的卡块9和限位块8进行定位，使之保持打开状态，方便光刻板的放置，放置之后解除限位块8对弹性杆件6的定位，以实现对其中光刻板的夹紧固定，不会由于弹性杆件6的弹性在放光刻板时始终需要手动保持弹性杆件6。
52.具体地，所述限位块8上开设有与所述弹性杆件6匹配的缺口81，所述弹性杆件6穿过所述缺口81端部周面设置有所述卡块9。
53.限位块8上开设供弹性杆件6通过的缺口81，方便拉伸弹性杆件6，弹性杆件6端部设置的卡块9通过缺口81后旋转与限位块8卡住，使得弹性杆件6保持打开状态，方便将光刻板放入其中，之后，拉伸卡块9旋转卡块 9通过缺口81，弹性杆件6由于弹性回复抵接住光刻板，对光刻板进行定位。
54.所述弹性杆件6包括：顶杆61及弹性件63，所述顶杆61上匹配有固定在所述基板1上的导向块62，导向块62上开设有与顶杆61匹配的导向孔，导向孔轴心线方向与直角限位机构4角平分线方向一致，所述弹性件63套接与所述顶杆61上，且位于所述导向块62与所述抵接块7之间，弹性件63 可采用弹簧等实现。
55.顶杆61通过导向孔保证其与直角限位机构4角平分线保持一致，通过套接在杆件上位于导向块62与抵接块7之间的弹性件63提供弹力将抵接块 7抵接固定住。
56.所述抵接块7与所述弹性杆件6可拆卸式连接，将弹性杆件6与抵接块 7设置为可拆卸式结构，方便更换抵接块7。
57.具体地，所述抵接块7设置有与所述直角限位机构4相对的直角卡口71。
58.将抵接块7设置有直角卡口71，通过直角卡口71和另一端形成的直角限位机构4将光刻板对角的两个角点进行限位固定，保证光刻板固定在其中不会晃动。
59.实施例2
60.如图2所示，本实施例还提供一种曝光机，其包括：操作平台10、平台限位机构12及曝光机头13，所述操作平台10上设置有与实施例1的夹具的通孔2对应的曝光孔11，所述平台限位机构12设置在所述曝光孔11外周，用于限位上述的夹具，以将所述通孔2对准所述曝光孔11，所述曝光机构对称设置在所述曝光孔11两侧，将夹具通过平台限位机构12放置在操作平台 10上后，两曝光头、夹具的通孔2及曝光孔11位于同一竖直方向上，具体地，平台限位机构12可为固定在曝光孔11外周的与夹具外周匹配的用于固定夹具的框型结构，将夹具置于平台限位机构12中后，夹具中通孔2与曝光孔11相对应，具体地，曝光孔11的尺寸不小于通孔2的尺寸，且曝光孔 11的形状设置为与通孔2形状一致，优先设置为矩形。
61.利用夹具夹持光刻板，之后将光刻板通过平台限位机构12固定在操作平台10上，下方曝光机头13通过曝光孔11和通孔2对光刻板下面进行曝光，上方曝光机头13对上面光刻板进行曝光，实现双面曝光，针对精度要求不高的领域，具体地曝光时，需要对上下两层光刻板进行修边处理，即要求两块光刻板自身的对准精度≤30μm，而此精度要求以目前加
工精度可以满足，修边后的光刻板放在夹具上，通过顶角限位机构5再顶紧、压实，完全满足≤50μm工艺需求，针对精度要求不高的领域，能够实现高效率生产，同时成本低。
62.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。