一种真空镀膜腔室门吸附结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜装置技术领域，尤其涉及一种真空镀膜腔室门吸附结构。


背景技术：

2.国内现有真空腔室门的密封主要依靠外部压紧机构。主要分为纯机械的压紧机构和气动压紧机构。纯机械的压紧机构又可大致分为简单的机械压紧机构和复杂的压紧机构。
3.简单的机械压紧机构：结构简单，制造方便，成本低廉，但是在把箱门和箱体压到一起时，比较费力，当箱体门有小量变形时，压紧更费力；并且仅限于较小箱体尺寸的压紧使用；对应的压紧零件凸轮磨损较快，使用寿命较短。复杂的压紧机构：优点是在使用此结构压紧箱体门和箱体时，转动平稳灵活，比较省力；即便箱体门有小量的变形，压紧也比较省力，使用寿命相对较长；缺点：制造难度加大，生产加工周期变长，装配制造成本大大增加，经济性比较差，这也使其得不到广泛应用。气动压紧机构：使用寿命长；不用人力直接压紧，生产效率高，压紧可靠；缺点是外部结构复杂，且由于气缸力不能垂直作用在门的垂直面，增大了门轴的磨损；并且都有受力点单一的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在解决现有技术中存在的技术问题。为此，本实用新型提供一种真空镀膜腔室门吸附结构，目的是在不采用外部压紧的前提下实现真空腔室门的密封。
5.基于上述目的，本实用新型提供了一种真空镀膜腔室门吸附结构，包括真空镀膜腔体和用于封闭真空镀膜腔体的门，所述真空镀膜腔体贴合门的一侧面设有真空槽和密封结构，所述吸附结构还包括与真空槽相连通的抽真空机构，所述抽真空机构通过对真空槽抽真空使真空镀膜腔体与门贴合密封。
6.所述密封结构包括密封槽和安装于密封槽内的密封圈。
7.所述密封槽为两个，两个密封槽均为环形槽，所述密封圈为o型密封圈，所述真空槽设于两个密封槽之间。
8.所述真空槽为环形真空槽。
9.所述抽真空机构包括真空泵、真空调压阀、控制阀和真空连接管路，所述真空泵通过真空连接管路与真空槽连通。
10.本实用新型的有益效果：本实用新型通过在真空镀膜腔体与门贴合的表面设置真空槽，并通过外部抽真空机构进行抽真空，实现门与真空镀膜腔体在贴合处的负压吸附贴合，同时，在真空镀膜腔体的贴合面设置了密封槽及密封圈，实现真空镀膜腔体与门吸附贴合后的密封。本实用新型的吸附结构中，门面受力均匀，不会产生局部变形；门与真空镀膜腔体连接的铰接结构十分简单，没有很高的强度、精度要求；操作简单，自动化程度高。
附图说明
11.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
12.图1为本实用新型的整体结构示意图；
13.图2为图1的a
‑
a剖视图；
14.图3为图2中的局部放大图；
15.图4为抽真空机构与真空镀膜腔体的连接结构示意图。
16.图中标记为：
17.1、真空镀膜腔体；2、门；3、真空槽；4、密封圈；5、真空管连接口；6、真空泵；7、控制阀；8、真空连接管路。
具体实施方式
18.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。
19.需要说明的是，除非另外定义，本实用新型实施例使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
20.一种真空镀膜腔室门吸附结构，包括真空镀膜腔体1和用于封闭真空镀膜腔体1的门2，真空镀膜腔体1贴合门2的一侧面设有真空槽3和密封结构，该吸附结构还包括与真空槽3相连通的抽真空机构，抽真空机构通过对真空槽3抽真空使真空镀膜腔体1与门2贴合密封。该吸附结构中，通过在真空镀膜腔体与门贴合的表面设置真空槽3，并通过外部抽真空机构进行抽真空，实现门与真空镀膜腔体在贴合处的负压吸附贴合，同时，在真空镀膜腔体的贴合面设置了密封结构，实现真空镀膜腔体与门吸附贴合后的密封。
21.作为一种优选的实施方式，如图2和图3所示，密封结构包括密封槽和安装于密封槽内的密封圈4。通过设置密封槽，将密封圈安装如密封槽后，实现真空镀膜腔体与门吸附贴合后很好的密封效果。
22.作为进一步的改进，密封槽优选为两个，两个密封槽均为环形槽，密封圈4为o型密封圈4，真空槽3设于两个密封槽之间。真空槽优选设置于两个密封槽的中间位置。此种结构设置，优化了结构布局，很好的保证密封效果。真空槽3为环形真空槽3。具体设置时，在真空镀膜腔体与门贴合的表面加工三道沟槽，两道为放置o型密封圈的环形密封槽，一道在两道环形密封槽中间的真空环形槽。
23.如图4所示，抽真空机构包括真空泵6、真空调压阀、控制阀7和真空连接管路8，真
空泵6通过真空连接管路8与真空槽3连通。具体而言，在真空镀膜腔体内部设置与真空槽连通的抽真空通道，此抽真空通道可采用如图3中所示的相连通的多区段通道，在真空镀膜腔体上对应设置真空管连接口5，真空连接管路的一端与此真空管连接口连接，真空连接管路的另一端与真空泵连接。
24.采用上述吸附结构的工作步骤如下：
25.一、将门关闭，使其闭合真空镀膜腔体；
26.二、打开控制阀，通过真空泵将两个密封圈之间的真空槽抽真空，实现真空镀膜腔体与门吸附贴合后的密封。
27.本实用新型的吸附结构中，门面受力均匀，不会产生局部变形；门与真空镀膜腔体连接的铰接结构十分简单，没有很高的强度、精度要求；操作简单，自动化程度高。
28.所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本实用新型的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。
29.本实用新型的实施例旨在涵盖落入所附权利要求的宽泛范围之内的所有这样的替换、修改和变型。因此，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种真空镀膜腔室门吸附结构，包括真空镀膜腔体和用于封闭真空镀膜腔体的门，其特征在于，所述真空镀膜腔体贴合门的一侧面设有真空槽和密封结构，所述吸附结构还包括与真空槽相连通的抽真空机构，所述抽真空机构通过对真空槽抽真空使真空镀膜腔体与门贴合密封。2.根据权利要求1所述真空镀膜腔室门吸附结构，其特征在于，所述密封结构包括密封槽和安装于密封槽内的密封圈。3.根据权利要求2所述真空镀膜腔室门吸附结构，其特征在于，所述密封槽为两个，两个密封槽均为环形槽，所述密封圈为o型密封圈，所述真空槽设于两个密封槽之间。4.根据权利要求1所述真空镀膜腔室门吸附结构，其特征在于，所述真空槽为环形真空槽。5.根据权利要求1所述真空镀膜腔室门吸附结构，其特征在于，所述抽真空机构包括真空泵、真空调压阀、控制阀和真空连接管路，所述真空泵通过真空连接管路与真空槽连通。

技术总结
本实用新型提供了一种真空镀膜腔室门吸附结构，包括真空镀膜腔体和用于封闭真空镀膜腔体的门，所述真空镀膜腔体贴合门的一侧面设有真空槽和密封结构，所述吸附结构还包括与真空槽相连通的抽真空机构，所述抽真空机构通过对真空槽抽真空使真空镀膜腔体与门贴合密封。本实用新型的吸附结构中，门面受力均匀，不会产生局部变形；门与真空镀膜腔体连接的铰接结构十分简单，没有很高的强度、精度要求；操作简单，自动化程度高。自动化程度高。自动化程度高。


技术研发人员：薛凯奇 周志刚 耿飒 刘达 陈少俊
受保护的技术使用者：宣城开盛新能源科技有限公司
技术研发日：2021.04.29
技术公布日：2021/11/21