新型晶圆阴极载具装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆挂具领域，尤其是新型晶圆阴极载具装置。


背景技术：

2.晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。晶圆在生产制造的其中一个步骤，是要放入电镀槽内进行电镀。但是现有的用于装载晶圆的挂具可能会因为沾到药液而发生腐蚀，从而提高了制造成本，且挂具装载晶圆的安装效率较低。


技术实现要素：

3.为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种新型晶圆阴极载具装置。通过气囊鼓起来驱使顶板顶动弹簧板。通过导电环上的销子扣住弹簧板上的水滴形孔，将晶圆夹持固定在装载板体内，提高了晶圆装载的效率。导电环上的包胶能密封住缝隙，增加挂具的防水性。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
5.一种新型晶圆阴极载具装置，包括装载板体、气囊、顶板、弹簧板、导电环和夹持片，所述装载板体的端面上设有定位槽，装载板体的定位槽内依次设有弹簧板、顶板、气囊，装载板体与气囊相贴合，导电环上固定有销子，销子端头处设有凸起头，弹簧板上设有用于锁住销子凸起头的水滴形孔，导电环和弹簧板之间设有夹持片，导电环包裹有包胶。
6.具体地，所述夹持片固定在压板上，压板通过螺杆与螺母固定连接在装载板体上，压板贴合在弹簧板的内圈边沿上。
7.具体地，所述导电环上均匀分布有数个销子，弹簧板为环状板，弹簧板上均匀分布有数个水滴形孔。
8.具体地，所述装载板体顶部通过螺栓固定连接有u形架，u形架两侧分别设有穿孔，穿孔的开口边沿处转动连接有数个中心对称的导向轮。
9.具体地，所述装载板体上固定有通气块，通气块前后两端分别设有进气口和抽气口，通气块与装载板体的定位槽相连通。
10.具体地，所述装载板体前后两端面均设有定位槽，两个定位槽内均设有气囊、顶板、弹簧板、导电环、夹持片、压板，螺杆穿过两个压板及装载板体，螺杆两端分别螺纹连接有螺母。
11.具体地，所述顶板为圆环体，顶板上均匀分布有数个用于顶动弹簧板的顶杆。
12.本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种新型晶圆阴极载具装置。通过气囊鼓起来驱使顶板顶动弹簧板。通过导电环上的销子扣住弹簧板上的水滴形孔，将晶圆夹持固定在装载板体内，提高了晶圆装载的效率。导电环上的包胶能密封住缝隙，增加挂具的防水性。
附图说明
13.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
14.图1是本实用新型的结构示意图；
15.图2是本实用新型的爆炸图；
16.图3是本实用新型的弹簧板的结构示意图；
17.图4是本实用新型的销子的结构示意图；
18.图中1.装载板体，2.气囊，3.顶板,4.弹簧板，5.导电环，6.夹持片，7.销子，8.水滴形孔，9.压板，10.u形架，11.通气块。
具体实施方式
19.现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
20.图1是本实用新型的结构示意图，图2是本实用新型的爆炸图，图3是本实用新型的弹簧板的结构示意图，图4是本实用新型的销子的结构示意图。
21.一种新型晶圆阴极载具装置，包括装载板体1、气囊2、顶板3、弹簧板4、导电环5和夹持片6，所述装载板体1的端面上设有定位槽，装载板体1的定位槽内依次设有弹簧板4、顶板3、气囊2，装载板体1与气囊2相贴合，导电环5上固定有销子7，销子7端头处设有凸起头，弹簧板4上设有用于锁住销子7凸起头的水滴形孔8，导电环5和弹簧板4之间设有夹持片6，导电环5包裹有包胶。夹持片6固定在压板9上，压板9通过螺杆与螺母固定连接在装载板体1上，压板9贴合在弹簧板4的内圈边沿上。导电环5上均匀分布有数个销子7，弹簧板4为环状板，弹簧板4上均匀分布有数个水滴形孔8。装载板体1顶部通过螺栓固定连接有u形架10，u形架10两侧分别设有穿孔，穿孔的开口边沿处转动连接有数个中心对称的导向轮。装载板体1上固定有通气块11，通气块11前后两端分别设有进气口和抽气口，通气块11与装载板体1的定位槽相连通。顶板3为圆环体，顶板3上均匀分布有数个用于顶动弹簧板的顶杆。
22.结合附图1、附图2、附图3和附图4所示，首先将晶圆水平放置在夹持片6上，然后多轴机器人将导电环5抓取过来放置在晶圆上，导电环5的内孔直径小于晶圆的直径，此时晶圆位于导电环5和夹持片6之间，且导电环5上的销子7分别对准与之对应的弹簧板4上的水滴形孔8。接着气泵通过通气块11的进气口，将气充入气囊2内，使气囊2鼓胀。气囊2鼓胀就会推动顶板3，顶板3上的一圈顶杆就会顶起弹簧板4，使得弹簧板4带有水滴形孔8的外沿往外弯转，从而使得销子7的凸起头穿过水滴形孔8较宽的一端，然后转动导电环5，使得销子7的凸起头移动至水滴形孔8较窄的一端，而销子7凸起头无法穿过水滴形孔8较窄的一端，这样水滴形孔8就锁住了销子7。
23.当销子7被锁住之后，气囊2排气，排气之后的气囊2会回缩，而顶住弹簧板4的压力就会消失，此时弹簧板4利用其本身的弹性回弹，弹簧板4回弹之后，就会将销子7往内拉，这样就可以使得导电环5压紧在晶圆和装载板体1上。由于导电环5上有包胶，当导电环5压紧在晶圆上之后，液体就无法从导电环5内孔边沿处渗入挂具内部，当导电环5压紧在装载板体1上之后，液体就无法从导电环5外周边沿处渗入挂具内部，从而保证了装载板体1内的部件不被腐蚀。
24.当晶圆装载好了之后，堵住通气块11的进气口，然后真空发生器通过通气块11的
抽气口将装载板体1与导电环5和晶圆之间的密封空间抽真空，并检测内部是否有泄露。
25.装载板体1前后两端面均设有定位槽，两个定位槽内均设有气囊2、顶板3、弹簧板4、导电环5、夹持片6、压板9，螺杆穿过两个压板9及装载板体1，螺杆两端分别螺纹连接有螺母，通过螺杆两端的两个，使得两个压板9形成了一个夹具，将两侧的两组气囊2、顶板3、弹簧板4夹在装载板体1的正反两面。这样就可以在装载板体1的正反两面分别装载晶圆。该装置可以同时电镀两片晶圆，提高效率。
26.以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。


技术特征：
1.一种新型晶圆阴极载具装置，其特征在于：包括装载板体(1)、气囊(2)、顶板(3)、弹簧板(4)、导电环(5)和夹持片(6)，所述装载板体(1)的端面上设有定位槽，装载板体(1)的定位槽内依次设有弹簧板(4)、顶板(3)、气囊(2)，装载板体(1)与气囊(2)相贴合，导电环(5)上固定有销子(7)，销子(7)端头处设有凸起头，弹簧板(4)上设有用于锁住销子(7)凸起头的水滴形孔(8)，导电环(5)和弹簧板(4)之间设有夹持片(6)，导电环(5)包裹有包胶。2.根据权利要求1所述的新型晶圆阴极载具装置，其特征在于：所述夹持片(6)固定在压板(9)上，压板(9)通过螺杆与螺母固定连接在装载板体(1)上，压板(9)贴合在弹簧板(4)的内圈边沿上。3.根据权利要求1所述的新型晶圆阴极载具装置，其特征在于：所述导电环(5)上均匀分布有数个销子(7)，弹簧板(4)为环状板，弹簧板(4)上均匀分布有数个水滴形孔(8)。4.根据权利要求1所述的新型晶圆阴极载具装置，其特征在于：所述装载板体(1)顶部通过螺栓固定连接有u形架(10)，u形架(10)两侧分别设有穿孔，穿孔的开口边沿处转动连接有数个中心对称的导向轮。5.根据权利要求1所述的新型晶圆阴极载具装置，其特征在于：所述装载板体(1)上固定有通气块(11)，通气块(11)前后两端分别设有进气口和抽气口，通气块(11)与装载板体(1)的定位槽相连通。6.根据权利要求2所述的新型晶圆阴极载具装置，其特征在于：所述装载板体(1)前后两端面均设有定位槽，两个定位槽内均设有气囊(2)、顶板(3)、弹簧板(4)、导电环(5)、夹持片(6)、压板(9)，螺杆穿过两个压板(9)及装载板体(1)，螺杆两端分别螺纹连接有螺母。7.根据权利要求1所述的新型晶圆阴极载具装置，其特征在于：所述顶板(3)为圆环体，顶板(3)上均匀分布有数个用于顶动弹簧板的顶杆。

技术总结
本实用新型涉及晶圆挂具领域，尤其是新型晶圆阴极载具装置。该装置包括装载板体、气囊、顶板、弹簧板、导电环和夹持片，所述装载板体的端面上设有定位槽，装载板体的定位槽内依次设有弹簧板、顶板、气囊，装载板体与气囊相贴合，导电环上固定有销子，销子端头处设有凸起头，弹簧板上设有用于锁住销子凸起头的水滴形孔，导电环和弹簧板之间设有夹持片，导电环包裹有包胶。本实用新型通过气囊鼓起来驱使顶板顶动弹簧板。通过导电环上的销子扣住弹簧板上的水滴形孔，将晶圆夹持固定在装载板体内，提高了晶圆装载的效率。导电环上的包胶能密封住缝隙，增加挂具的防水性。增加挂具的防水性。增加挂具的防水性。


技术研发人员：陈云利 王健 李军 刘斌
受保护的技术使用者：苏州尊恒半导体科技有限公司
技术研发日：2021.05.27
技术公布日：2021/11/21