氧化镓抛光液自动分流装置的制作方法

1.本技术涉及晶片抛光的领域，尤其是涉及氧化镓抛光液自动分流装置。


背景技术：

2.氧化镓兼具蓝宝石突出的透光性与碳化硅优良的导电性，且能够通过熔体法进行大尺寸单晶生长，具有较强的化学和热稳定性，市场前景广阔。由于高亮、高效led技术的发展需要，氧化镓表面抛光技术需确保晶片表面的高度完整性：表面超光滑、晶体结构完整、无缺陷、无损伤、无变质层，对表面粗糙度要求达到了亚纳米级。
3.现有氧化镓晶片抛光时，通常将氧化镓抛光液直接喷洒在氧化镓晶片的表面，配合抛光盘进行化学机械抛光（cmp）。
4.针对上述中的相关技术，发明人认为，氧化镓晶片具有硬脆性特征，上述做法在抛光时，极易因抛光液在抛光盘上喷洒不均匀导致划伤及晶片位移后产生碎裂的现象，抛光效果较差。


技术实现要素：

5.为了提高抛光液喷洒的均匀性，进而提高抛光效果，本技术提供氧化镓抛光液自动分流装置。
6.本技术提供氧化镓抛光液自动分流装置，采用如下的技术方案：
7.氧化镓抛光液自动分流装置，包括支架，所述支架上端部固设有进流管，进流管下端部开设有进流孔，进流管下方设有分流台，分流台与支架固定连接，分流台上端部开设有分流槽，分流槽与进流孔同轴设置，分流槽下端部沿周向等间距连通有若干分流管，分流管均倾斜设置且靠近分流台的一端相对较高。
8.通过采用上述技术方案，进流管内的抛光液经进流孔落入分流台内，进而流入不同方向的分流管内，沿分流管流动至抛光盘的不同位置，提高了抛光液喷洒的均匀性。
9.可选的，所述分流槽的中间位置固设有分流块，分流块沿周向等间距固设有若干隔板，隔板将分流槽分为若干腔室，腔室与分流管一一对应。
10.通过采用上述技术方案，抛光液较为均匀地落入不同的腔室内，进而落入对应的分流管内，每根分流管内的抛光液含量不易相差较大，有利于提高抛光液喷洒的均匀性。
11.可选的，所述分流块上端部呈尖锥状，分流块沿靠近分流槽中心轴线的方向逐渐变高。
12.通过采用上述技术方案，抛光液沿分流块的尖锥状端部落入分流槽内，有利于提高落入不同腔室抛光液的均匀性，进而提高抛光液喷洒的均匀性。
13.可选的，所述进流管下端部固设有定位板，定位板下端部固设有定位块，分流台下端部开设有与定位块适配的定位槽，定位槽与分流槽同轴设置。
14.通过采用上述技术方案，使用者利用定位板对进流管进行定位，分流孔的位置不易偏离，有利于提高落入不同腔室抛光液的均匀性，进而提高抛光液喷洒的均匀性。
15.可选的，所述分流台沿周向连通有若干连接管，分流管与连接管一一对应且转动连接，分流管开设有若干出液孔，出液孔沿分流管周向螺旋设置。
16.通过采用上述技术方案，分流管转动，分流管内的抛光液经不同位置的出液孔落在抛光盘的不同位置，进而提高了抛光液喷洒的均匀性。
17.可选的，所述分流台下方设有转动轴，转动轴与支架转动连接，转动轴上端部固设有第一锥齿轮，分流管靠近分流台的一端均固设有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮。
18.通过采用上述技术方案，转动轴转动带动第一锥齿轮转动，第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合，带动分流管转动，结构简单控制方便。
19.可选的，所述分流管内均转动连接有套管，套管均开设有与出液孔适配的圆孔。
20.通过采用上述技术方案，使用者控制套管与分流管发生相对转动，进而改变出液孔与圆孔连通部分的大小，便于控制抛光液喷洒的量。
21.可选的，所述套管下端部封闭，套管下端部均延伸出对应的分流管。
22.通过采用上述技术方案，使用者利用套筒下端部控制套管与分流管相对转动，结构简单便于控制。
附图说明
23.图1是本技术实施例1的整体结构示意图。
24.图2旨在突显定位块及定位槽的位置示意图。
25.图3是本技术实施例2的整体结构示意图。
26.图4旨在突显圆孔的位置示意图。
27.附图标记说明：1、支架；2、进流管；21、进流孔；3、分流台；31、分流槽；4、分流管；32、分流块；33、腔室；5、定位板；51、定位块；34、定位槽；41、出液孔；6、驱动电机；61、第一锥齿轮；42、第二锥齿轮；43、套管；431、圆孔；7、连接管。
具体实施方式
28.以下结合全部附图对本技术作进一步详细说明。
29.本技术实施例公开一种氧化镓抛光液自动分流装置。
30.实施例1
31.参照图1，氧化镓抛光液自动分流装置，包括支架1，支架1对分流装置进行支撑，使分流装置位于抛光盘正上方，支架1上端部安装有进流管2，使用者将抛光液导入进流管2中，抛光液沿进流管2流至抛光盘上方，进流管2位于抛光盘上方的一端连通有四根分流管4，抛光液沿分流管4流动至抛光盘不同位置，同时对抛光盘不同位置喷洒抛光液。
32.参照图1，进流管2倾斜设置且位于抛光盘正上方的一端高度相对较低，抛光液自动向抛光盘正上方流动，在重力作用下，流动更加顺畅；进流管2下端部开设有进流孔21，抛光液在重力作用下从进流孔21脱离进流管2，进流管2下方安装有分流台3，分流台3呈圆柱状，支架1固定安装有固定板，固定板与分流台3固定连接，对分流台3提供支撑。
33.参照图1，分流台3上端部开设有分流槽31，分流槽31呈与分流台3同轴的圆柱状凹槽，进流孔21流出的抛光液落入分流槽31内；进流管2下端部固定安装有定位板5，定位板5上端部安装在进流孔21处，定位板5包括两根平行的横板和一根竖板，竖板的上下两端分别
与两根横板固定连接，竖板上端部的横板开设有定位环，定位环与进流孔21同心设置，竖板位于分流台3一侧，定位板5经竖板延伸至分流台3下端部。
34.参照图1和图2，竖板下端部的横板固定安装有定位块51，定位块51呈圆柱状且与定位环同轴设置，分流台3下端部开设有与定位块51适配的定位槽34，使用者将定位槽34插入定位槽34内，定位槽34与分流槽31同轴设置，进而使定位块51、限位环、进流孔21及分流槽31的中心轴竖直方向位于同一直线上；分流槽31的中间位置固定安装有分流块32，分流块32上端部呈尖锥状且沿靠近分流槽31中心轴线的方向逐渐变高，抛光液落在分流块32的尖锥状端部，进而流至分流块32轴向的不同位置。
35.参照图1，分流块32沿周向等间距固定安装有四块隔板，四块隔板均竖直设置，且背离分流块32的端部及靠近分流槽31底面的端部均与分流台3固定连接，四块隔板将分流槽31平分为四个扇形腔室33，抛光液较为均匀的流入四个腔室33内。
36.参照图1，四个腔室33下端部均连通有一根分流管4，腔室33内的抛光液流入分流管4内，分流管4均倾斜设置且靠近分流台3的一端相对较高，抛光液在重力作用下流出腔室33的过程中更加顺畅，分流管4均沿分流台3的径向安装，使四根分流管4背离分流台3的端部等间距处于抛光盘的不同位置，进而将抛光液较为均匀地喷洒至抛光盘不同位置，提高抛光效果。
37.本技术实施例1的实施原理为：使用者将抛光液导入进流管2中，抛光液在重力作用下自动向抛光盘正上方流动，进而在重力作用下从进流孔21落入分流槽31内，定位块51、限位环、进流孔21及分流槽31的中心轴竖直方向位于同一直线上，抛光液落在分流块32的尖锥状端部，进而较为均匀的流入四个腔室33内，抛光液在重力作用下沿四根分流管4等间距流动至抛光盘的不同方向，进而较为均匀地喷洒至抛光盘不同位置，有利于提高抛光效果。
38.实施例2
39.参照图3，本实施例与实施例1的主要不同之处在于分流台3沿周向等间距安装有四根连接管7，连接管7均倾斜设置且背离分流台3的一端相对较低，连接管7与腔室33一一对应且连通，腔室33内的抛光液在重力作用下流入对应的连接管7内；分流管4与连接管7一一对应且转动连接，连接管7内的抛光液分别流入对应的分流管4内。
40.参照图3，支架1固定安装有水平的连接板，连接板一端延伸至分流台3下方安装有转动轴，连接板固定安装有驱动电机6，驱动电机6输出轴与转动轴固定连接，使用者启动驱动电机6带动转动轴转动；转动轴上端部固定安装有第一锥齿轮61，带动第一锥齿轮61同步转动，分流管4靠近分流台3的一端均固定安装有第二锥齿轮42，第二锥齿轮42分别在不同方向与第一锥齿轮61同时啮合，进而被第一锥齿轮61带动同步转动。
41.参照图3，分流管4开设有若干出液孔41，抛光液从出液孔41流出分流管4，出液孔41沿分流管4周向螺旋设置，分流管4转动过程中，抛光液从转动至分流管4下方的出液孔41落下，进而从不同位置的出液孔41脱离分流管4，落在抛光盘的不同位置，提高喷洒的均匀性。
42.参照图3和图4，分流管4内均转动连接有套管43，正常状态下套管43跟随对应的分流管4同步转动，套管43下端部封闭且外壁开设有与出液孔41适配的圆孔431，抛光液穿过圆孔431流出至抛光盘上，套管43下端部均延伸出对应的分流管4，使用者手动握住套管43
下端部使套管43与分流管4发生相对转动，进而改变圆孔431与对应位置出液孔41的连通面积，即可控制抛光液喷洒的速度，即用于加工的抛光液的量，操作方便。
43.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。