一种平面靶材专用离子镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种平面靶材专用离子镀膜装置。


背景技术：

2.靶材被广泛的使用于航空及航宇工业中，如各种飞机、导弹、卫星、飞船的靶材零部件，经常在复杂而有害的条件下工作，均受着大气、水份、灰尘以及燃料燃烧生成物中所含的化学活性气体的直接腐蚀，因此需要对靶材进行镀膜，来增加其使用寿命。
3.目前一般采用离子镀膜装置来对靶材进行镀膜，但是现有的离子镀膜装置密封性能较差，仅容易造成镀膜前驱物逸散于大气中，而造成镀膜前驱物浪费，以及镀膜用的离子原料受热不均匀，还会导致其所生成的镀膜前驱物与等离子混合时间过短，而造成镀膜前驱物与等离子混合不均的问题，进而导致薄膜品质不佳。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种平面靶材专用离子镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平面靶材专用离子镀膜装置，包括镀膜反应箱，所述镀膜反应箱的一侧设有上料口，所述上料口上设有电磁门锁，所述上料口的上下两条边上设有多个电磁锁孔，多个所述电磁锁孔内均设有电磁线圈，所述上料口边缘设有一圈第一密封圈，所述电磁门锁的内侧边缘设有一圈第二密封圈，所述第一密封圈与第二密封圈相互匹配，所述电磁门锁的上下两条边上设有多个电磁锁槽，所述电磁锁槽里设有复位弹簧，所述复位弹簧连接着活动锁头，所述活动锁头由磁铁制成，所述活动锁头嵌于电磁锁槽内，所述活动锁头的大小与电磁锁孔相匹配，所述电磁门锁的外侧设有把手；
6.所述镀膜反应箱的内部的上端设有阴极固定机构，所述镀膜反应箱的内部的下端设有离子发生阳极机构，所述镀膜反应箱外侧的底部设有真空泵，所述真空泵通过真空管道连接镀膜反应箱内部。
7.优选的，所述阴极固定机构包括固定杆，所述固定杆的一端固定在镀膜反应箱的上侧内壁，所述固定杆的另一端连接着阴极固定座，所述阴极固定座的两侧设有支撑板，一侧所述支撑板上设有靶材固定块，另一侧所述支撑板上设有导向轴承，所述导向轴承的一端设有顶针，所述顶针与靶材固定块相对，且在同一水平线上，所述导向轴承的另一端连接气缸，所述气缸固定在支撑板外侧。
8.优选的，所述离子发生阳极机构包括支撑柱，所述支撑柱底部固定在镀膜反应箱下侧内壁，所述支撑柱顶部固定有阳极坩埚，所述阳极坩埚内部设有托盘，所述托盘下端连接旋转盘，所述旋转盘连接小型旋转电机，所述小型旋转电机设置在阳极坩埚下端外壁上，所述阳极坩埚的上端设有离子离散发生网板，所述离子离散发生网板上设有阳极棒，所述阳极坩埚内壁上设有多个小型加热棒。
9.优选的，所述镀膜反应箱的内壁设有多个大型加热棒。
10.优选的，所述电磁线圈、真空泵、气缸、小型旋转电机、小型加热棒和大型加热棒均通过信号线连接总控制器。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，特设的电磁门锁能够将上料口进行密封，有效的提高了离子镀膜装置在工作过程中密封性能，从而杜绝了镀膜前驱物逸散于大气中，而造成镀膜前驱物浪费；特设的旋转盘能够带动托盘进行旋转，有效的提高了镀膜用的离子原料的受热均匀性，从而使得其所生成的镀膜前驱物与等离子能够更加均匀的进行混合，从而有效的提高了整个镀膜的精度。
附图说明
12.图1为本实用新型结构示意图；
13.图2为本实用新型上料口结构示意图；
14.图3为本实用新型电磁门锁结构示意图；
15.图4为本实用新型内部结构示意图；
16.图5为本实用新型阴极固定机构结构示意图；
17.图6为本实用新型离子发生阳极机构结构示意图。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种平面靶材专用离子镀膜装置，包括镀膜反应箱1，所述镀膜反应箱1的一侧设有上料口2，所述上料口2上设有电磁门锁3，所述上料口2的上下两条边上设有多个电磁锁孔21，多个所述电磁锁孔21内均设有电磁线圈22，电磁线圈通电后会产生磁性，从而使得电磁锁孔内产生磁性，所述上料口2的边缘设有一圈第一密封圈23，所述电磁门锁3的内侧边缘设有一圈第二密封圈31，所述第一密封圈23与第二密封圈31相互匹配，当电磁门锁关闭后，第一密封圈和第二密封圈紧紧贴合，对装置进行密封，所述电磁门锁3的上下两条边上设有多个电磁锁槽32，所述电磁锁槽32里设有复位弹簧33，所述复位弹簧33连接着活动锁头34，所述活动锁头34由磁铁制成，所述活动锁头34嵌于电磁锁槽32内，所述活动锁头34的大小与电磁锁孔21相匹配，当电磁锁孔内通电生磁后，活动锁头通过磁性吸引，吸附在电磁锁孔里，继而将上料口与电磁门锁进行密封，当电磁锁孔内断电后，即失去磁性，此时活动锁头在复位弹簧的牵引下，进行复位，继而上料口和电磁门锁分开，所述电磁门锁3的外侧设有把手35，把手方便推拉电磁门锁；
20.所述镀膜反应箱1的内部的上端设有阴极固定机构4，用于固定靶材，所述镀膜反应箱1的内部的下端设有离子发生阳极机构5，用于加热镀膜用的离子原料，所述镀膜反应箱1外侧的底部设有真空泵6，所述真空泵6通过真空管道61连接镀膜反应箱1内部，真空泵用于给离子镀膜装置内部抽真空。
21.本实施例中，所述阴极固定机构4包括固定杆41，所述固定杆41的一端固定在镀膜
反应箱1的上侧内壁，所述固定杆41的另一端连接着阴极固定座42，所述阴极固定座42的两侧设有支撑板43，一侧所述支撑板43上设有靶材固定块44，另一侧所述支撑板43上设有导向轴承45，所述导向轴承45的一端设有顶针46，所述顶针46与靶材固定块44相对，且在同一水平线上，所述导向轴承45的另一端连接气缸47，所述气缸47固定在支撑板43外侧；
22.上述实施例中，首先将靶材卡接到靶材固定快与顶针之间，然后通过驱动气缸，推动导向轴承运动，继而通过导向轴承带动顶针，将靶材紧紧顶在靶材固定快与顶针之间，防止靶材在加工过程中松脱。
23.本实施例中，所述离子发生阳极机构5包括支撑柱51，所述支撑柱51底部固定在镀膜反应箱1下侧内壁，所述支撑柱51顶部固定有阳极坩埚52，所述阳极坩埚52内部设有托盘53，所述托盘53下端连接旋转盘54，所述旋转盘54连接小型旋转电机55，所述小型旋转电机55设置在阳极坩埚52下端外壁上，所述阳极坩埚52的上端设有离子离散发生网板56，所述离子离散发生网板56上设有阳极棒57，所述阳极坩埚52内壁上设有多个小型加热棒58；
24.上述实施例中，首先将镀膜用的离子原料平铺在托盘上，然后盖上离子离散发生网板，并启动小型旋转电机带动旋转盘进行旋转，继而通过旋转盘带动托盘进行旋转，于此同时启动小型加热棒对离子原料进行加热，通过旋转加热，使得所生成的镀膜前驱物与等离子能够更加均匀的进行混合，并通过阳极棒与阴极固定座在电磁波的作用下完成对靶材的镀膜需要。
25.本实施例中，所述镀膜反应箱1的内壁设有多个大型加热棒11，用于对整个镀膜反应箱进行加热，提高反应效率。
26.本实施例中，所述电磁线圈22、真空泵6、气缸47、小型旋转电机55、小型加热棒和58大型加热棒11均通过信号线连接总控制器。
27.工作原理：离子镀膜装置接通电源，然后通过总控制器进行控制，首先控制电磁线圈断电，继而将电磁门锁打开，即可进行上料，首先将镀膜用的离子原料平铺在托盘上，然后盖上离子离散发生网板，然后再将靶材卡接到靶材固定快与顶针之间，通过总控制器驱动气缸，利用其推动导向轴承运动，继而通过导向轴承带动顶针进行顶紧，这样就能将靶材紧紧顶在靶材固定快与顶针之间；装配结束后通过总控制器启动小型旋转电机带动旋转盘进行旋转，继而通过旋转盘带动托盘进行旋转，于此同时启动小型加热棒对离子原料进行加热，启动大型加热棒对镀膜反应箱内部进行加热，通过对离子原料进行旋转加热，使得所生成的镀膜前驱物与等离子能够更加均匀的进行混合，并通过阳极棒与阴极固定座在电磁波的作用下完成对靶材的镀膜需要。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。