一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体是指一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔。


背景技术：

2.真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其原理是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积形成薄膜。现有的真空镀膜机通常包括圆形的真空腔，真空腔的壁上设有若干靶结构，这种圆形的真空腔存在诸多的问题，在圆形的真空腔外壁上开设安装靶结构的安装孔，加工完成后，安装孔的尺寸及位置均固定，无法适应不同规格的靶结构安装，也无法适用于不同镀膜位置的设置，导致镀膜工艺单一、设备的通用性较差，无法满足日益多样化的镀膜需求。而靶用挡板通常为旋转式门板，这种门板结构在开启过程中需要占用真空腔较大的径向空间，在相同有效空间下，增大了设备体积，而且门板开启时会遮挡影响相邻位置，使得真空腔上无法较密集地设置靶结构，一定程度上限制了镀膜设备的功能与利用率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种通用性强、且占空小的具有靶用挡板结构的真空镀膜腔。
4.为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：
5.一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，包括横截面为多边形的真空腔，用于安装靶结构的安装板，以及平行地设于所述安装板内侧的挡板装置，所述真空腔的侧面设有方型的安装孔，所述安装板通过法兰安装固定于所述安装孔上，所述挡板装置包括两侧的门板，以及驱动两侧所述门板相向或反向直线移动的驱动组件。
6.上述方案的有益效果在于：真空腔采用多边形结构，且侧边通过安装孔可拆地安装所述安装板，当需要不同规格不同位置的靶结构时，只需更换安装板即可，使得真空腔可通用于不同产品不同工艺的镀膜生产，能降低设备成本，同时，真空腔的侧面为平面，相比圆形的真空腔，在安装靶结构时更方便、节省空间、且易于密封；而挡板装置采用横向移动的双开门方式，相比转动门方式，不占用真空腔的径向空间，也不会影响相邻侧面的靶结构安装，而且由于门板行程短，使得其开闭速度快。
7.一种优选方案，所述驱动组件包括垂直安装于所述安装板上的驱动器，由所述驱动器驱动的齿轮，以及两平行设置且分别啮合于所述齿轮上下两侧的齿条，两所述齿条分别与两所述门板固定，所述驱动器为伺服电机或旋转气缸。进一步，两所述门板的底端下方设有与所述门板平行的第一导向杆，所述门板的底端具有与所述第一导向杆滑动配合的导向轮。进一步，所述安装板内侧还固定有平行于所述门板顶端的第二导向杆，两所述门板具有穿设于所述第二导向杆上的导向耳。
8.上述方案中，驱动组件的驱动器采用伺服电机或旋转气缸，配合齿轮及齿条传动，
动作控制精准，便于控制靶结构的启闭或精准调节其强度。第一导向杆及第二导向杆保证了门板移动过程中的稳定性。
9.一种优选方案，所述真空腔为八边形，所述真空腔具有竖向剖开的腔体和腔门，所述腔门包括三个所述侧面。进一步，当两所述门板开启至最大宽度时，所述挡板装置的宽度不超过所述安装板的宽度。
10.上述方案中，真空腔具有四组对称的侧面用于安装靶结构，镀膜更为均匀，而腔门包括三个侧面，使得腔门开启时处于腔体最大口径处，能更好地放入待镀膜的基材；门板开启时，宽度不超出安装板，可避免影响相邻侧面的靶结构。
附图说明
11.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
12.图1为实施例中真空腔的整体结构示意图；
13.图2为实施例中挡板装置的结构示意图。
具体实施方式
14.以下结合附图对本实用新型进行进一步说明：
15.参考图1和图2，一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，包括横截面为八边形的真空腔1，用于安装靶结构的安装板2，以及平行地设于所述安装板2内侧的挡板装置3。所述真空腔1具有竖向剖开的腔体11和腔门12，所述腔门12包括三个所述侧面；所述真空腔1的侧面设有方型的安装孔100，所述安装板2通过法兰安装固定于所述安装孔100上，所述挡板装置3包括两侧的门板31，以及驱动两侧所述门板31相向或反向直线移动的驱动组件32，当两所述门板31开启至最大宽度时，所述挡板装置3的宽度不超过所述安装板2的宽度。
16.使用时，根据所需的靶结构规格，可将其安装固定于对应的安装板2上，再将安装板2通过法兰安装于对应位置的安装孔100即可。真空腔1采用八边形结构，且侧边通过安装孔100可拆地安装所述安装板2，当需要不同规格不同位置的靶结构时，只需更换安装板2即可，使得真空腔1可通用于不同产品不同工艺的镀膜生产，能降低设备成本，同时，真空腔1的侧面为平面，相比圆形的真空腔，在安装靶结构时更方便、节省空间、且易于密封；真空腔1具有四组对称的侧面用于安装靶结构，镀膜更为均匀，而腔门12包括三个侧面，使得腔门12开启时处于腔体11最大口径处，能更好地放入待镀膜的基材。而挡板装置3采用横向移动的双开门方式，相比转动门方式，不占用真空腔1的径向空间，门板31开启时，宽度不超出安装板2，可避免影响相邻侧面的靶结构，而且由于门板31行程短，使得其开闭速度快。
17.一种优选实施结构，所述驱动组件32包括垂直安装于所述安装板2上的驱动器321，所述驱动器321为伺服电机或旋转气缸；由所述驱动器321驱动的齿轮322，以及两平行设置且分别啮合于所述齿轮322上下两侧的齿条323，两所述齿条323分别与两所述门板31固定。两所述门板31的底端下方设有与所述门板31平行的第一导向杆324，所述门板31的底端均具有与所述第一导向杆324滑动配合的导向轮325。所述安装板2内侧还固定有平行于所述门板31顶端的第二导向杆326，两所述门板31具有穿设于所述第二导向杆326上的导向耳327。
18.该实施结构中，驱动组件32的驱动器321采用伺服电机或旋转气缸，配合齿轮322
及齿条323传动，动作控制精准，便于控制靶结构的启闭或精准调节其强度。第一导向杆324及第二导向杆326保证了门板31移动过程中的稳定性。
19.以上所述并非对本实用新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。


技术特征：
1.一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，其特征在于：包括横截面为多边形的真空腔，用于安装靶结构的安装板，以及平行地设于所述安装板内侧的挡板装置，所述真空腔的侧面设有方型的安装孔，所述安装板通过法兰安装固定于所述安装孔上，所述挡板装置包括两侧的门板，以及驱动两侧所述门板相向或反向直线移动的驱动组件。2.根据权利要求1所述的一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，其特征在于：所述驱动组件包括垂直安装于所述安装板上的驱动器，由所述驱动器驱动的齿轮，以及两平行设置且分别啮合于所述齿轮上下两侧的齿条，两所述齿条分别与两所述门板固定，所述驱动器为伺服电机或旋转气缸。3.根据权利要求2所述的一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，其特征在于：两所述门板的底端下方设有与所述门板平行的第一导向杆，所述门板的底端具有与所述第一导向杆滑动配合的导向轮。4.根据权利要求3所述的一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，其特征在于：所述安装板内侧还固定有平行于所述门板顶端的第二导向杆，两所述门板具有穿设于所述第二导向杆上的导向耳。5.根据权利要求1所述的一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，其特征在于：所述真空腔为八边形，所述真空腔具有竖向剖开的腔体和腔门，所述腔门包括三个所述侧面。6.根据权利要求5所述的一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，其特征在于：当两所述门板开启至最大宽度时，所述挡板装置的宽度不超过所述安装板的宽度。

技术总结
本实用新型提供一种具有靶用挡板结构的真空镀膜腔，包括横截面为多边形的真空腔，用于安装靶结构的安装板，以及设于安装板内侧的挡板装置，真空腔的侧面设有安装孔，安装板通过法兰安装于安装孔上，挡板装置包括两侧的门板，以及驱动两侧门板相向或反向直线移动的驱动组件。当需要在真空腔上安装不同规格不同位置的靶结构时，只需更换安装板即可，真空腔可通用于不同产品不同工艺的镀膜生产，能降低设备成本，同时，真空腔的侧面为平面，相比圆形的真空腔，在安装靶结构时更方便、节省空间、且易于密封；而挡板装置采用双开门方式，相比转动门，不占用真空腔的径向空间，也不会影响相邻侧面的靶结构安装，由于门板行程短，其开闭速度快。度快。度快。


技术研发人员：黄六平 王华
受保护的技术使用者：东莞市立仁爱邦涂层技术有限公司
技术研发日：2021.06.08
技术公布日：2021/11/21