一种真空镀膜腔结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体是指一种真空镀膜腔结构。


背景技术：

2.真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其原理是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积形成薄膜。现有的真空镀膜机通常包括圆形的真空腔，真空腔的壁上设有若干靶结构，这种圆形的真空腔存在诸多的问题，在圆形的真空腔外壁上开设安装靶结构的安装孔，加工完成后，安装孔的尺寸及位置均固定，无法适应不同规格的靶结构安装，也无法适用于不同镀膜位置的设置，导致镀膜工艺单一、设备的通用性较差，无法满足日益多样化的镀膜需求。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种通用性强、且设备强度高的真空镀膜腔结构。
4.为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：
5.一种真空镀膜腔结构，包括横截面为多边形的真空腔，所述真空腔的侧面数为偶数，所述真空腔的若干个侧面设有一个或多个方型的安装孔，还包括与所述安装孔可拆配合的用于安装靶结构的安装板，所述真空腔相邻两个侧面的所述安装孔在高度方向上呈错位分布。
6.上述方案的有益效果在于：真空腔采用多边形结构，且侧边通过安装孔可拆地安装所述安装板，当需要不同规格不同位置的靶结构时，只需更换安装板即可，使得真空腔可通用于不同产品不同工艺的镀膜生产，能降低设备成本；真空腔为偶数的多边形，即具有多组对称的侧面，对基材的镀膜更为均匀；由于真空腔承受的压力较大，对真空腔的强度要求较高，安装孔错位分布时，可保证真空腔的强度，避免真空腔内壁的变形损坏，也有利于靶结构的均匀布局，达到更好的镀膜效果。
7.一种优选方案，所述真空腔的每个侧面均设有一个所述安装孔，且相邻两个侧面的所述安装孔呈上、下错位分布。进一步，所述安装孔高度大于所述真空腔侧面高度的一半，所述真空腔的相邻两侧面上，一侧面的所述安装孔靠所述真空腔的顶端，另一侧面的所述安装孔靠所述真空腔的底端。
8.上述方案中，当真空腔高度较高时，高度通常在一米至两米之间，真空腔的单个侧面只开设一个安装孔，且安装孔位置几乎全错开，这种方式能最大限度地保证真空腔的强度，同时又能保证镀膜位置的全覆盖。
9.一种优选方案，所述真空腔的每个侧面均设有高度不同的所述安装孔，相邻两个侧面的所述安装孔在竖向上错位分布。
10.上述方案中，对于高度超出两米以上的超高真空腔，真空腔的每个侧面开设有两个甚至多个安装孔，而且相邻侧面的安装孔在高度方向上错位设置，使得真空腔的壁呈不规则的框架，可保证真空腔的强度，同时又能保证不同高度处的基材都能均匀镀膜。
11.一种优选方案，所述真空腔具有竖向剖开的腔体和腔门，所述真空腔为八边形，而所述腔门包括三个所述侧面。
12.上述方案中，腔门包括三个侧面，使得腔门开启时处于腔体最大面积处，且无需分切真空腔的侧面，能更好地放入待镀膜的基材。
13.一种优选方案，所述安装板通过法兰可拆地密封固定于所述安装孔上。进一步，所述安装板上设有一个或多个安装靶结构的第二安装孔。
14.上述方案中，安装板通过法兰安装，便于拆装和保持密封性。
附图说明
15.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
16.图1为实施例中第一种真空腔的结构示意图；
17.图2为实施例中第二种真空腔的结构示意图；
18.图3为实施例中安装板的结构示意图。
具体实施方式
19.以下结合附图对本实用新型进行进一步说明：
20.参考图1至图3，一种真空镀膜腔结构，包括横截面为八边形的真空腔1，所述真空腔1具有竖向剖开的腔体11和腔门12，所述腔门12包括三个侧面100；所述真空腔1的若干个侧面100设有一个或多个方型的安装孔1001，还包括与所述安装孔1001可拆配合的用于安装靶结构的安装板2，所述安装板2通过法兰可拆地密封固定于所述安装孔1001上，且所述安装板2上设有一个或多个安装靶结构的第二安装孔21；所述真空腔1相邻两个侧面100的所述安装孔1001在高度方向上呈错位分布。
21.使用时，根据所需的靶结构规格，可将其安装固定于对应的安装板2上，再将安装板2通过法兰安装于对应位置的安装孔1001上；而对于无需安装靶结构的侧面100，则可采用封闭的安装板2进行密封、或采用门结构将该侧面100的靶结构关闭。真空腔1采用八边形结构，且侧边通过安装孔1001可拆地安装所述安装板2，当需要不同规格不同位置的靶结构时，只需更换安装板2即可，使得真空腔1可通用于不同产品不同工艺的镀膜生产，能降低设备成本；真空腔1具有四组对称的侧面100，对基材的镀膜更为均匀；由于真空腔1承受的压力较大，对真空腔1的强度要求较高，安装孔1001错位分布时，可保证真空腔1的强度，避免真空腔1内壁的变形损坏，也有利于靶结构的均匀布局，达到更好的镀膜效果。腔门12包括三个侧面100，使得腔门12开启时处于腔体11最大面积处，且无需分切真空腔1的侧面100，能更好地放入待镀膜的基材。
22.参考图1，一种优选实施结构，所述真空腔1的每个侧面100均设有一个所述安装孔1001，且相邻两个侧面100的所述安装孔1001呈上、下错位分布。所述安装孔1001高度大于所述真空腔1侧面100高度的一半，所述真空腔1的相邻两侧面100上，一侧面100的所述安装孔1001靠所述真空腔1的顶端，另一侧面100的所述安装孔1001靠所述真空腔1的底端。
23.该实施结构中，当真空腔1高度较高时，高度通常在一米至两米之间，真空腔1的单个侧面100只开设一个安装孔1001，且安装孔1001位置几乎全错开，这种方式能最大限度地保证真空腔1的强度，同时又能保证镀膜位置的全覆盖。
24.参考图2，一种优选实施结构，所述真空腔1的每个侧面100均设有高度不同的所述安装孔1001，相邻两个侧面100的所述安装孔1001在竖向上错位分布。
25.该实施结构中，对于超高型的真空腔1，比如高度超出两米以上，真空腔1的每个侧面100开设有两个甚至多个安装孔1001，而且相邻侧面100的安装孔1001在高度方向上错位设置，使得真空腔1的壁呈不规则的框架，可保证真空腔1的强度，同时又能保证不同高度处的基材都能均匀镀膜。
26.以上所述并非对本实用新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型的技术方案的范围内。


技术特征：
1.一种真空镀膜腔结构，其特征在于：包括横截面为多边形的真空腔，所述真空腔的侧面数为偶数，所述真空腔的若干个侧面设有一个或多个方型的安装孔，还包括与所述安装孔可拆配合的用于安装靶结构的安装板，所述真空腔相邻两个侧面的所述安装孔在高度方向上呈错位分布。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔结构，其特征在于：所述真空腔的每个侧面均设有一个所述安装孔，且相邻两个侧面的所述安装孔呈上、下错位分布。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜腔结构，其特征在于：所述安装孔高度大于所述真空腔侧面高度的一半，所述真空腔的相邻两侧面上，一侧面的所述安装孔靠所述真空腔的顶端，另一侧面的所述安装孔靠所述真空腔的底端。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔结构，其特征在于：所述真空腔的每个侧面均设有高度不同的所述安装孔，相邻两个侧面的所述安装孔在竖向上错位分布。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔结构，其特征在于：所述真空腔具有竖向剖开的腔体和腔门，所述真空腔为八边形，而所述腔门包括三个所述侧面。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔结构，其特征在于：所述安装板通过法兰可拆地密封固定于所述安装孔上。7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜腔结构，其特征在于：所述安装板上设有一个或多个安装靶结构的第二安装孔。

技术总结
本实用新型提供一种真空镀膜腔结构，包括横截面为多边形的真空腔，真空腔的侧面数为偶数，真空腔的若干个侧面设有一个或多个方型的安装孔，还包括与安装孔可拆配合的用于安装靶结构的安装板，真空腔相邻两个侧面的安装孔在高度方向上呈错位分布。当需要不同规格不同位置的靶结构时，只需更换安装板即可，使得真空腔可通用于不同产品不同工艺的镀膜生产，能降低设备成本；真空腔为偶数的多边形，即具有多组对称的侧面，对基材的镀膜更为均匀；由于真空腔承受的压力较大，对真空腔的强度要求较高，安装孔错位分布时，可保证真空腔的强度，避免真空腔内壁的变形损坏，也有利于靶结构的均匀布局，达到更好的镀膜效果。达到更好的镀膜效果。达到更好的镀膜效果。


技术研发人员：黄六平 王华
受保护的技术使用者：东莞市立仁爱邦涂层技术有限公司
技术研发日：2021.06.08
技术公布日：2021/11/21