一种研磨机传送手臂自动清洁装置的制作方法

1.本申请涉及研磨机的领域，尤其是涉及一种研磨机传送手臂自动清洁装置。


背景技术：

2.硅片在加工时，会使用研磨机对硅片进行研磨，提高硅片的质量。研磨机包括用于放置硅片的放置盘、用于研磨硅片的研磨部和用于清洗硅片的清洗部，研磨机上还设有用于吸附硅片的传送手臂，传送手臂也就是机械臂。传送手臂将硅片吸附到研磨机上进行研磨，在研磨机研磨的过程中，会产生硅粉。硅粉会粘附在拿取硅片的传送手臂上。硅片在研磨好后，设备会将硅片上研磨产生的硅粉进行清理，传送手臂将硅片放置到清理位置后，需要等待一段时间。
3.在清理结束后，传送手臂再将硅片放置到存储位置。传送手臂在研磨机研磨过程中，会粘附到硅粉，硅粉在长时间累积下会影响传送手臂的运作。在产品清洗好后，带有硅粉的传送手臂拿取产品时会将硅粉带到产品上，影响产品质量。


技术实现要素：

4.为了提高传送手臂的洁净度，提高产品质量，提高产品的良品率，本申请提供一种研磨机传送手臂自动清洁装置。
5.本申请提供的一种研磨机传送手臂自动清洁装置，采用如下的技术方案：
6.一种研磨机传送手臂自动清洁装置，包括安装座和用于清洁机械臂且设置在安装座上的清洁组件，所述清洁组件包括设置在研磨部和清洗部之间的定位座、设置在定位座上的除屑件和清扫件。
7.通过采用上述技术方案，安装座便于安装清洁组件，便于提高清洁组件的稳定性，清洁组件便于对机械臂进行清洁，将机械臂上的硅粉进行清理，除屑件便于减少硅粉在机械臂上的含量，清扫件便于配合除屑件将机械臂上的硅粉进行清理，便于减少机械臂上的硅粉含量，提高产品质量。
8.优选的，所述除屑件包括沿定位座长度方向进行设置的磨具和用于驱动磨具进行移动的驱动气缸，所述驱动气缸的输出端设有与磨具底面固定的连接块。
9.通过采用上述技术方案，驱动气缸驱动磨具进行移动，将机械臂上的硅粉进行抹除，连接块便于驱动气缸与磨具进行连接，便于提高除屑件的稳定性。
10.优选的，所述磨具为油石。
11.通过采用上述技术方案，油石的质地细密坚韧，便于对机械臂上的硅粉进行清除。
12.优选的，所述清扫件包括沿定位座长度方向进行设置的清洁滚刷和用于驱动清洁滚刷进行转动的驱动电机。
13.通过采用上述技术方案，驱动电机便于带动清洁滚刷对机械臂上的硅粉进行清扫，便于提高清洁滚刷的清洁效率。
14.优选的，所述清洁组件还包括设置在定位座上的冲刷件。
15.通过采用上述技术方案，冲刷件便于将机械臂上的粉料进行冲刷，便于配合除屑件和清扫件对机械臂进行清理。
16.优选的，所述冲刷件为冲水管，所述冲刷件沿长度方向开设有若干出水口，所述出水口朝向机械臂进行开设。
17.通过采用上述技术方案，出水口便于将水体冲刷到机械臂上，将粉料从机械臂上去除，提高机械臂的洁净度。
18.优选的，所述清洁组件还包括设置在机械臂上的清洁件。
19.通过采用上述技术方案，清洁件便于配合清扫件、除屑件和冲刷件对机械臂进行清理，提高机械臂的清洁效率。
20.优选的，所述清洁件包括设置在机械臂上的真空管和设置在机械臂上的出水管。
21.通过采用上述技术方案，真空管便于将机械臂上的硅粉进行吹除，出水管便于对机械臂进行冲刷，便于提高机械臂的洁净度。
22.综上所述，清洁组件便于对机械臂进行清理，便于降低机械臂上的硅粉量，便于机械臂传送产品，便于提高产品质量，提高产品的良品率，减少产品上的杂质含量。
附图说明
23.图1是本申请一种研磨机传送手臂自动清洁装置的结构示意图；
24.图2是图1中a的放大图；
25.图3是本申请中清洁组件的结构示意图。
26.附图标记说明：1、放置盘；2、研磨部；3、清洗部；4、机械臂；5、安装座；6、清洁组件；61、定位座；62、除屑件；621、磨具；622、驱动气缸；63、清扫件；631、清洁滚刷；632、驱动电机；64、冲刷件；641、出水口；65、清洁件；651、真空管；652、出水管；7、连接块。
具体实施方式
27.以下结合附图1
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3对本申请作进一步详细说明。
28.现有研磨机包括放置盘1、用于研磨硅片的研磨部2、用于将硅片上的硅粉进行清洗的清洗部3和用于将硅片放置在各个步骤上的机械臂4，机械臂4上安装有可以将硅片进行吸附的吸盘，吸盘可以将硅片放置到各个处理步骤上。
29.本申请实施例公开一种研磨机传送手臂自动清洁装置。参照图1，包括安装座5和设置在安装座5上的清洁组件6，清洁组件6包括设置在安装座5上的定位座61、设置在定位座61上的除屑件62、设置在定位座61上的清扫件63、设置在定位座61上的冲刷件64和设置在机械臂4上的清洁件65。清洁件65包括设置在机械臂4上的真空管651和设置在机械臂4上的出水管652。
30.参照图1和图2，定位座61固定在安装座5上，除屑件62包括沿定位座61长度方向进行设置的磨具621和用于驱动磨具621进行移动的驱动气缸622，驱动气缸622的输出端固定有连接块7，连接块7与磨具621固定。驱动气缸622启动时，带动连接块7进行移动，连接块7进行移动时带动磨具621进行移动，磨具621的长度比机械臂4的吸附面的长度长。磨具621为油石，油石的质地紧密，便于将机械臂4上的硅粉进行去除。冲刷件64为冲水管，冲刷件64位于磨具621长度方向的两侧，冲刷件64沿长度方向均匀开设有若干出水口641，出水口641
喷出的水体可以直接冲刷机械臂4，配合磨具621对机械臂4进行清理。
31.参照图2和图3，清扫件63包括沿定位座61长度方向进行设置的清洁滚刷631和用于驱动清洁滚刷631进行转动的驱动电机632，驱动电机632安装在定位座61上，驱动电机632的输出端与清洁滚刷631固定连接。
32.参照图1和图2，在冲刷件64朝向机械臂4进行冲水时，真空管651喷气，避免碎屑等杂物进入机械臂4的操作面，对机械臂4的运行产生影响。出水管652便于配合冲刷件64对机械臂4进行冲刷，有效缩小机械臂4的清理死角。
33.本申请实施例一种研磨机传送手臂自动清洁装置的实施原理为：机械臂4在拿取硅片之前，启动驱动电机632，带动清洁滚刷631进行转动，对机械臂4进行清理。然后启动驱动气缸622带动连接块7进行移动，连接块7带动磨具621进行移动，方便磨具621对机械臂4进行清理，冲刷件64同时对机械臂4喷水，利用水体将硅粉从机械臂4上清除。清理干净的机械臂4可以对硅片进行吸附。将研磨好的硅片放置在清洗部3后，再利用清洁组件6对机械臂4进行清理，有效减少机械臂4上杂质的含量，便于提高产品的质量，减少产品上杂质的含量。
34.以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。


技术特征：
1.一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其特征在于：包括安装座(5)和用于清洁机械臂(4)且设置在安装座(5)上的清洁组件(6)，所述清洁组件(6)包括设置在研磨部(2)和清洗部(3)之间的定位座(61)、设置在定位座(61)上的除屑件(62)和清扫件(63)。2.根据权利要求1所述的一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其特征在于：所述除屑件(62)包括沿定位座(61)长度方向进行设置的磨具(621)和用于驱动磨具(621)进行移动的驱动气缸(622)，所述驱动气缸(622)的输出端设有与磨具(621)底面固定的连接块(7)。3.根据权利要求2所述的一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其特征在于：所述磨具(621)为油石。4.根据权利要求1所述的一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其特征在于：所述清扫件(63)包括沿定位座(61)长度方向进行设置的清洁滚刷(631)和用于驱动清洁滚刷(631)进行转动的驱动电机(632)。5.根据权利要求1所述的一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其特征在于：所述清洁组件(6)还包括设置在定位座(61)上的冲刷件(64)。6.根据权利要求5所述的一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其特征在于：所述冲刷件(64)为冲水管，所述冲刷件(64)沿长度方向开设有若干出水口(641)，所述出水口(641)朝向机械臂(4)进行开设。7.根据权利要求1所述的一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其特征在于：所述清洁组件(6)还包括设置在机械臂(4)上的清洁件(65)。8.根据权利要求7所述的一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其特征在于：所述清洁件(65)包括设置在机械臂(4)上的真空管(651)和设置在机械臂(4)上的出水管(652)。

技术总结
申请涉及研磨机领域，尤其涉及一种研磨机传送手臂自动清洁装置，其技术方案是，一种研磨机传送手臂自动清洁装置，包括安装座和用于清洁机械臂且设置在安装座上的清洁组件，所述清洁组件包括设置在研磨部和清洗部之间的定位座、设置在定位座上的除屑件和清扫件。本申请具有提高传送手臂的洁净度，提高产品质量，提高产品的良品率的效果。提高产品的良品率的效果。提高产品的良品率的效果。


技术研发人员：戚孝峰
受保护的技术使用者：争丰半导体科技（苏州）有限公司
技术研发日：2021.06.09
技术公布日：2021/11/21