一种全自动贴膜设备的制作方法

专利检索2022-05-10  30



1.本技术涉及晶片加工的领域,尤其是涉及一种全自动贴膜设备。


背景技术:

2.晶片一般呈圆形,在具体加工过程中,需要根据实际需求,将其切割成若干个晶圆片。为方便切割装置对晶片进行切割,在切割之前,需要工作人员将晶圆放置于固定环之间,再利用胶带粘贴整个固定环和整个晶片,从而将晶片固定在固定环中间,使得在后续操作过程中,可直接将固定环放置在切割装置中的指定位置进行切割,从而确保了切割的精准性和方便性。
3.针对上述中的相关技术,发明人认为目前多采用人工粘贴胶带的方式将晶片固定在固定环中间,虽然能够确保粘贴准确,但粘贴效率较低,影响了整体的加工速度。


技术实现要素:

4.为了提高粘贴胶带的效率,本技术提供一种全自动贴膜设备。
5.本技术提供的一种全自动贴膜设备采用如下的技术方案:
6.一种全自动贴膜设备,包括加工台,所述加工台上滑移设有用于放置固定环和晶片的放置台,加工台上设有放卷辊、第一收卷辊和第二收卷辊,加工台上设有按压胶带的按压辊;
7.加工台上设有用于驱动放置台移动的移动组件、驱动按压辊上下移动的升降组件和用于切割胶带的切割组件。
8.通过采用上述技术方案,利用移动组件移动放置台,使得放置台朝向按压辊移动,按压辊将胶带按压在固定环和晶片上,使得胶带能够粘贴在固定环和晶片上,同时利用切割组件进行切割胶带,从而可完成粘贴胶带的操作,与采用人工进行粘贴相比,有效地提高了粘贴效率。
9.可选的,所述加工台上设有两块安装板,升降组件包括设于两块安装板之间的支撑杆,支撑杆上设有升降气缸,升降气缸连接有升降板,按压辊设于升降板上。
10.通过采用上述技术方案,利用升降气缸驱动升降板移动,从而达到利用按压辊按压胶带以使胶带粘贴在胶带和晶片上的目的。
11.可选的,所述移动组件包括设于加工台上的推拉气缸,推拉气缸连接有位于加工台上的移动板,放置台设于移动板上。
12.通过采用上述技术方案,利用推拉气缸推拉移动板,从而可使放置台靠近或远离按压辊。
13.可选的,所述移动板设有承托板,移动板上设有贯穿承托板的导向杆,移动板上设有顶升气缸,顶升气缸的输出轴连接于承托板。
14.通过采用上述技术方案,利用顶升气缸驱动承托板上下移动,使得放置台能够向上移动,从而有助于按压辊将胶带按压在晶片和固定环上。
15.可选的,所述承托板上平行设有两根退料杆,每根退料杆的两端均连接有退料板,退料板与承托板滑移连接;
16.承托板上安装有转动杆,转动杆的两端均安装有转轮,承托板上设有退料电机,退料电机的输出轴安装有第一滚轮,第一滚轮与其中一个转轮共同套设有第一传动带,位于第一传动带一侧的两块退料板均连接于第一传动带;
17.承托板上安装有与另一转轮配合使用的第二滚轮,第二滚轮与转轮共同套设有第二传动带,位于第二传动带一侧的两块退料板均连接于第二传动带。
18.通过采用上述技术方案,退料电机启动后,第一传动带和第二传动带可通过带动退料板移动而带动两根退料杆移动,从而可夹起放置台上经切割后产生的废料胶带,使得切割后的粘贴在晶片上的胶带与废料胶带相分离,进而可移动放置台进行取下固定好的固定环和晶片。
19.可选的,所述安装板安装有转动轴,转动轴的一端安装有调节辊,安装板上铰接有转动气缸,转动气缸的输出轴铰接于转动轴的另一端,安装板上安装有供调节辊搭接的搭接盘。
20.通过采用上述技术方案,利用调节辊对胶带的拉扯作用,从而可调节胶带的张紧度,同时借助转动气缸以带动调节辊转动,使得调节辊能够适应因粘贴而收紧的胶带,从而使得调节辊能够更好的调节胶带的张紧度;同时借助搭接盘降低调节辊在竖直方向上下移过低的可能性。
21.可选的,所述转动轴上安装有调节盘,调节盘开有缺口,安装板上设有用于感应缺口的感应器,感应器连接于控制器;
22.安装板上安装有放卷电机,放卷电机连接于控制器,放卷电机的输出轴上安装有主动齿轮,放卷辊的辊轴上安装有从动齿轮,主动齿轮和从动齿轮通过第三传动带连接。
23.通过采用上述技术方案,随着胶带被粘贴在固定环和晶片上,放卷后的胶带逐渐被收紧,同时转动气缸带动转动轴和调节盘转动,当调节盘的缺口转动至感应器时,感应器产生信号并传递给控制器,控制器控制放卷电机启动,从而可驱动放卷辊进行放卷胶带。
24.可选的,所述安装板上设有安装条,搭接盘为设于安装条上的凸轮,安装板上设有滑动环,滑动环上套设有调节杆,感应器设于调节杆上。
25.通过采用上述技术方案,通过转动凸轮可调节调节辊在竖直方向上能够下移的最低位置,转动凸轮后,对应的滑动调节杆,使得感应器能够更好的感应到缺口。
26.可选的,所述切割组件包括两个分别设于两块安装板上的移动气缸,两个移动气缸的输出轴之间连接有放置板,放置板上安装有转动电机,转动电机的输出轴连接有安装块,安装块上设有滚刀。
27.通过采用上述技术方案,胶带粘贴在固定环和晶片上后,利用移动气缸带动放置板下移,使得滚刀接触胶带,利用转动电机带动安装块转动,从而利用滚刀进行切割胶带。
28.可选的,所述加工台上安装有两个滑移轨,两块安装板分别安装有与滑移轨配合的滑移座,加工台上设有两块定位板,两块定位板之间安装有丝杆,安装板上安装有滑移块,丝杆贯穿滑移块并与滑移块螺纹连接,加工台上设有连接于丝杆的动力电机。
29.通过采用上述技术方案,利用动力电机驱动丝杆转动,从而可通过滑移块带动两块安装板移动,使得胶带能够粘贴在晶片和固定环上。
30.综上所述,本技术包括以下至少一种有益技术效果:
31.1.本技术利用推拉气缸带动放置台移动,利用按压辊对胶带进行按压,使得胶带能够粘贴在固定环和晶片上,同时借助滚刀进行切割胶带,从而可将胶带粘贴在固定环和晶片上,进而达到了自动粘贴胶带的目的,操作简单,自动化程度高,有效提高了粘贴胶带的效率;
32.2.本技术利用调节辊进行调节胶带的张紧度,使得胶带能够更好的被粘贴在固定环和晶片上;
33.3.本技术利用感应器进行感应调节盘上的缺口,以使控制器控制放卷辊进行放卷胶带,从而可对固定环和晶片进行持续粘贴。
附图说明
34.图1是本技术实施例的一种全自动贴膜设备的整体结构示意图。
35.图2是本技术实施例的移动板和放置台的结构示意图。
36.图3是本技术实施例的第一滚轮、转轮和第一传动带的配合关系示意图。
37.图4是本技术实施例的第二滚轮、转轮和第二传动带的配合关系示意图。
38.图5是本技术实施例的安装板和加工台的安装示意图。
39.图6是本技术实施例的转动气缸和调节辊的配合关系示意图。
40.图7是本技术实施例的按压辊和滚刀的结构示意图。
41.图8是图6中a部分的放大图。
42.图9是本技术实施例的导向辊、传送辊、张紧辊和第二收卷辊的结构示意图。
43.图10是本技术实施例的移动块与收料板的配合关系示意图。
44.附图标记说明:1、加工台;11、移动导轨;12、推拉气缸;13、挡块;14、滑移轨;15、动力电机;151、定位板;152、丝杆;2、移动板;20、导向杆;21、承托板;211、承托杆;212、负压板;213、承托台;214、滑移导轨;215、退料电机;2151、第一滚轮;216、第二滚轮;217、转动杆;2171、转轮;2172、第一传动带;2173、第二传动带;22、顶升气缸;23、放置台;231、放置口;232、负压口;24、退料杆;241、退料板;3、安装板;31、连接杆;32、滑移块;33、支撑杆;331、升降气缸;332、升降板;333、按压辊;34、转动轴;341、调节辊;342、转动气缸;343、转动板;344、连接板;345、安装条;3451、搭接盘;35、调节盘;351、缺口;36、滑动环;361、调节杆;362、感应器;37、静电消除器;4、放卷辊;41、放卷电机;411、主动齿轮;42、从动齿轮;421、第三传动带;422、主动副齿轮;5、第一收卷辊;51、从动副齿轮;511、第四传动带;6、移动气缸;61、放置板;62、转动电机;63、安装块;64、滚刀;7、收料板;71、导向辊;72、传送辊;73、张紧辊;731、移动块;74、第二收卷辊;741、第二齿轮;742、第五传动带;75、收料电机;76、滑移孔;77、滑移条。
具体实施方式
45.以下结合附图1

10对本技术作进一步详细说明。
46.本技术实施例公开一种全自动贴膜设备。参照图1和图2,一种全自动贴膜设备包括加工台1,加工台1上通过移动导轨11安装有移动板2。加工台1上安装有推拉气缸12,推拉气缸12的输出轴连接于移动板2,以带动移动板2在移动导轨11上移动。加工台1上设有位于
移动导轨11一端的挡块13,以降低移动板2滑出移动导轨11的可能性。
47.参照图2,移动板2的四角处均安装有一根导向杆20,四根导向杆20共同贯穿有一块承托板21,移动板2上设有两个顶升气缸22,顶升气缸22的输出轴连接于承托板21,利用顶升气缸22可带动承托板21在竖直方向上移动。承托板21上通过承托杆211承托有放置台23,放置台23的中心处开有放置口231,承托板21上安装有负压板212,负压板212上安装有负压管,负压管连接有抽气装置如抽气泵,放置台23开有供负压管插入的负压口232。将固定环放置于放置台23后,固定环与放置口231同轴,且负压口232位于固定环的下方,启动抽气装置,从而可利用负压管对固定环的吸附作用以将固定环固定在放置台23上。
48.参照图2,负压板212上安装有位于放置口231内的承托台213,利用承托台213进行承托晶片。同样,承托台213内也安装有负压管,利用负压管对晶片的吸附作用,可将晶片固定在放置口231内。
49.参照图2和图3,承托板21上设有两根平行的退料杆24,退料杆24的两端竖直安装有一块退料板241,承托板21上设有位于放置台23两侧的滑移导轨214,同一根退料杆24两端的两块退料板241分别与两个滑移导轨214配合使用。
50.参照图3和图4,承托板21上设有靠近其中一个滑移导轨214的退料电机215,退料电机215的输出轴上安装有第一滚轮2151,承托板21上通过安装座安装有靠近另一个滑移导轨214的第二滚轮216,承托板21通过安装座安装有一根转动杆217,转动杆217的两端均安装有转轮2171。第一滚轮2151和其中一个转轮2171通过第一传动带2172连接,第二滚轮216和另一个转轮2171通过第二传动带2173连接,且靠近第一传动带2172的两块退料板241均连接于第一传动带2172,靠近第二传动带2173的两块退料板241均连接于第二传动带2173,从而在启动退料电机215时,可带动两根退料杆24相互靠近或远离。胶带绕过退料杆24后粘贴在固定环和晶片上,完成粘贴并切割胶带后,相互靠近的退料杆24可将粘贴在固定环上的胶带与切割后产生的胶带废料相分离,从而便于移动放置台23进行取下固定环和晶片。
51.参照图5,加工台1上设有两个滑移轨14,滑移轨14上通过滑移座安装有安装板3,两块安装板3通过连接杆31相连接。加工台1上安装有动力电机15,加工台1上设有两块定位板151,两块定位板151之间安装有丝杆152,动力电机15的输出轴连接于丝杆152以带动丝杆152转动。安装板3上安装有滑移块32,丝杆152贯穿滑移块32并与滑移块32螺纹连接,从而在丝杆152转动时,可带动两块安装板3同时移动。
52.参照图5和图6,两块安装板3之间设有缠绕有胶带的放卷辊4和用于收卷离型纸的第一收卷辊5,安装板3上安装有放卷电机41,放卷电机41的输出轴上安装有主动齿轮411。放卷辊4的辊轴贯穿安装板3且安装有从动齿轮42,主动齿轮411和从动齿轮42通过第三传动带421连接,利用放卷电机41可带动放卷辊4进行放卷胶带。放卷辊4的辊轴上安装有主动副齿轮422,第一收卷辊5的辊轴贯穿安装板3并安装有从动副齿轮51,主动副齿轮422和从动副齿轮51通过第四传动带511连接,从而利用放卷电机41可同时带动放卷辊4和第一收卷辊5转动。
53.参照图7,两块安装板3之间安装有支撑杆33,支撑杆33上安装有升降气缸331,升降气缸331的输出轴连接有升降板332,升降板332上安装有按压辊333,经放卷辊4放卷的胶带经按压辊333下方穿过。放置台23移动到按压辊333下方时,升降气缸331带动按压辊333
下移,顶升气缸22带动承托板21上移,从而利用按压辊333可按压胶带,使得胶带能够粘贴在固定环和晶片上,并利用动力电机15和丝杆152带动安装板3移动,从而可在整个固定环和晶片上均粘贴上胶带。
54.参照图6和图8,为了使胶带能够平整的粘贴在固定环和晶片上,安装板3上设有转动轴34,转动轴34通过连接板344安装有调节辊341,胶带绕过调节辊341并穿过按压辊333的下方,利用调节辊341对胶带产生的拉扯作用,从而可达到调节胶带张紧度的目的。放卷后的胶带在粘贴过程中长度逐渐减小,为了使调节辊341适应因长度减小而收紧的胶带,安装板3上铰接有转动气缸342,转动轴34上安装有转动板343,转动气缸342的输出轴铰接于转动板343,利用转动气缸342以带动调节辊341转动,从而使调节辊341能够更好的调节胶带的张紧度。
55.参照图8,为了降低在胶带放卷后,调节辊341在转动气缸342的带动下转动的角度过大,安装板3上设有安装条345,安装条345设有供连接板344搭放的搭接盘3451,搭接盘3451在本实施例中设置为凸轮。
56.参照图8,转动轴34上设有调节盘35,调节盘35开有缺口351,安装板3上设有滑动环36,滑动环36套设有调节杆361,调节杆361上设有感应缺口351的感应器362,感应器362电性连接有控制器,且控制器连接于放卷电机41。当胶带收紧时,转动气缸342带动调节辊341和调节盘35同时转动,调节盘35的缺口351转动至感应器362处时,感应器362感应到缺口351以产生信号,并将信号传递给控制器,使得控制器可控制放卷电机41启动,从而控制放卷辊4进行放卷胶带。然后转动气缸342再带动调节辊341转动,从而使调节辊341调节胶带的张紧度,同时缺口351远离感应器362,如此循环往复,从而可达到间歇性放卷胶带的目的。同时,在转动凸轮以调节调节辊341在竖直方向上可下移到的最低位置时,可对应的滑动调节杆361,以使感应器362能够更好的感应到调节盘35上的缺口351。
57.参照图6,为了降低胶带与调节辊341摩擦产生的静电而影响胶带的正常粘贴,两块安装板3之间设有位于调节辊341一侧的静电消除器37。
58.参照图7,两块安装板3上均安装有移动气缸6,两个移动气缸6的输出轴共同连接有一块放置板61,放置板61上安装有转动电机62,转动电机62的输出轴安装有安装块63,安装块63上通过安装杆安装有滚刀64。胶带粘贴在固定环和晶片上后,转动电机62带动安装块63转动,从而带动滚刀64对胶带进行切割。
59.参照图9和图10,加工台1上设有收料板7,收料板7上依次设有导向辊71、两根传送辊72、位于两根传送辊72之间的张紧辊73和位于传送辊72一侧的第二收卷辊74。收料板7上安装有收料电机75,收料电机75的输出轴上安装有第一齿轮,第二收卷辊74的辊轴上安装有第二齿轮741,第一齿轮和第二齿轮741通过第五传动带742连接。胶带被切割后产生的废料先从导向辊71下方穿过,再依次穿过第一根传送辊72的上方、张紧辊73的下方和第二根传送辊72的上方,最后被第二收卷辊74进行收卷。
60.参照图10,收料板7开有滑移孔76,收料板7设有位于滑移孔76两侧的滑移条77,第二收卷辊74的辊轴穿过滑移孔76并安装有移动块731,移动块731开有供滑移条77卡入的滑移槽。第二收卷辊74的自身重力可带动移动块731在滑移条77上移动,从而靠自身重力可对胶带废料的张紧度进行调节,以使第二收卷辊74能够更好的收卷胶带废料。
61.本技术实施例一种全自动贴膜设备的实施原理为:将固定环和晶片放置于放置台
23上后,利用推拉气缸12将放置台23移动到按压辊333下方,利用顶升气缸22推动承托板21上移,使放置台23靠近按压辊333,利用升降气缸331带动按压辊333下移,以对胶带进行按压,使得胶带粘贴在固定环和晶片上。利用动力电机15驱动安装板3移动,从而使得胶带完整的粘贴在固定环和晶片上,完成粘贴后,利用滚刀64进行切割胶带,并利用退料杆24将固定环和晶片上的胶带与产生的胶带废料相分离,从而可移动放置台23进行取出固定环和晶片。与采用人工进行粘贴胶带的方式相比,本实施例达到了自动化粘贴胶带的效果,有效提高了粘贴胶带的效率。
62.以上均为本技术的较佳实施例,并非依此限制本技术的保护范围,故:凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本技术的保护范围之内。
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