一种MEMS传感器测试设备的制作方法

一种mems传感器测试设备
技术领域
1.本实用新型涉及mems传感器技术领域，具体为一种mems传感器测试设备。


背景技术：

2.mems传感器即微机电系统(microelectro mechanical systems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景，在传感器生产完毕后需要通过检测装置对其进行检查，以确保传感器均可使用。
3.现有技术中的测试设备，在使用时不便于对传感器进行固定，导致检测效率较低，并且在测试的过程中，容易出现传感器与测试设备接触不良的现象出现，导致测试结果不准确，影响产品质量。因此，需要对现有技术进行改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种mems传感器测试设备，解决了传感器不便固定与接触不良的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种mems传感器测试设备，包括底座，所述底座的上端固定连接有支撑框，所述支撑框的内部滑动连接有两个对称分布的移动板，所述移动板的上端固定连接有接触板，所述接触板的下端固定连接有连接线，所述支撑框的内部设置有弹簧一，所述支撑框上摆放有传感器，所述传感器与所述接触板接触，所述底座的上端固定连接有支撑板，所述支撑板的上端固定连接有压紧箱，所述压紧箱的内部滑动连接有两个对称分布的伸缩杆，所述伸缩杆的外侧设置有弹簧二，所述伸缩杆的外侧固定连接有挡板，所述底座的内部固定连接有检测器，所述伸缩杆的下端固定连接有压紧板，所述压紧板与所述传感器接触，两个所述伸缩杆的上端共同固定连接有横杆。
6.优选的，所述弹簧一的一端与所述底座固定连接，所述弹簧一的另一端与所述移动板固定连接。
7.优选的，所述连接线与所述移动板固定连接，所述连接线从所述底座中穿过，所述连接线与所述检测器固定连接。
8.优选的，所述支撑框的上端固定连接有导向柱，所述导向柱与所述传感器滑动连接。
9.优选的，所述弹簧二的一端与所述压紧箱固定连接，所述弹簧二的另一端与所述挡板固定连接。
10.优选的，所述底座的下端固定连接有四个支撑块，四个所述支撑块在所述底座的下端均匀分布。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
12.1、本实用新型通过在底座上加设弹簧二、伸缩杆与压紧板等结构，在检测时可以
通过弹簧二的弹力通过伸缩杆推动压紧板将传感器压紧在支撑框上，并且通过导向柱的限位，使得传感器可以快速的固定在支撑框上进行检测，从而可以加快检测效率。
13.2、本实用新型通过在支撑框的内部加设弹簧一、移动板与接触板等结构，在使用时可以通过弹簧一的弹力推动接触板紧贴在传感器的下端，从而可以避免接触不良的情况出现。
附图说明
14.图1为本实用新型结构的立体图；
15.图2为本实用新型的图1的正视剖视图；
16.图3为本实用新型的图2的支撑框的俯视图；
17.图4为本实用新型的图2的a部结构放大图。
18.图中：1、底座；2、支撑框；3、移动板；4、接触板；5、连接线；6、弹簧一；7、传感器；8、导向柱；9、支撑板；10、压紧箱；11、伸缩杆；12、弹簧二；13、挡板；14、压紧板；15、检测器；16、支撑块；17、横杆。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1
‑
4，一种mems传感器测试设备，包括底座1，底座1的上端固定连接有支撑框2，支撑框2的内部滑动连接有两个对称分布的移动板3，移动板3的上端固定连接有接触板4，接触板4的下端固定连接有连接线5，支撑框2的内部设置有弹簧一6，支撑框2上摆放有传感器7，传感器7与接触板4接触，底座1的上端固定连接有支撑板9，支撑板9的上端固定连接有压紧箱10，压紧箱10的内部滑动连接有两个对称分布的伸缩杆11，伸缩杆11的外侧设置有弹簧二12，伸缩杆11的外侧固定连接有挡板13，底座1的内部固定连接有检测器15，伸缩杆11的下端固定连接有压紧板14，压紧板14与传感器7接触，两个伸缩杆11的上端共同固定连接有横杆17。
21.请参阅图4，弹簧一6的一端与底座1固定连接，弹簧一6的另一端与移动板3固定连接，弹簧一6可以通过弹力推动接触板4与传感器7紧密接触。
22.请参阅图2，连接线5与移动板3固定连接，连接线5从底座1中穿过，连接线5与检测器15固定连接，连接线5作为接触板4与检测器15之间的电性连接。
23.请参阅图3，支撑框2的上端固定连接有导向柱8，导向柱8与传感器7滑动连接，导向柱8可以对传感器7进行限位。
24.请参阅图2，弹簧二12的一端与压紧箱10固定连接，弹簧二12的另一端与挡板13固定连接弹簧二12可以通过弹力对传感器7进行固定。
25.请参阅图1，底座1的下端固定连接有四个支撑块16，四个支撑块16在底座1的下端均匀分布，支撑块16对底座1起支撑作用。
26.本实用新型具体实施过程如下：在使用时，向上拉动横杆17，横杆17带动伸缩杆11
进行移动，伸缩杆11在移动的过程中压缩弹簧二12，伸缩杆11带动压紧板14进行移动，然后将传感器7沿着导向柱8放置在支撑框2的上端，使得传感器7接触到接触板4，松开横杆17，弹簧二12复位，弹簧二12通过弹力推动压紧板14压在传感器7的上端，弹簧二12的弹力推动传感器7推动接触板4，接触板4压缩弹簧一6，弹簧一6通过弹力将接触板4紧贴在传感器7的下端，从而可以使得在方便装夹的同时避免出现接触不良的情况出现。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种mems传感器测试设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上端固定连接有支撑框(2)，所述支撑框(2)的内部滑动连接有两个对称分布的移动板(3)，所述移动板(3)的上端固定连接有接触板(4)，所述接触板(4)的下端固定连接有连接线(5)，所述支撑框(2)的内部设置有弹簧一(6)，所述支撑框(2)上摆放有传感器(7)，所述传感器(7)与所述接触板(4)接触，所述底座(1)的上端固定连接有支撑板(9)，所述支撑板(9)的上端固定连接有压紧箱(10)，所述压紧箱(10)的内部滑动连接有两个对称分布的伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)的外侧设置有弹簧二(12)，所述伸缩杆(11)的外侧固定连接有挡板(13)，所述底座(1)的内部固定连接有检测器(15)，所述伸缩杆(11)的下端固定连接有压紧板(14)，所述压紧板(14)与所述传感器(7)接触，两个所述伸缩杆(11)的上端共同固定连接有横杆(17)。2.根据权利要求1所述的一种mems传感器测试设备，其特征在于：所述弹簧一(6)的一端与所述底座(1)固定连接，所述弹簧一(6)的另一端与所述移动板(3)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种mems传感器测试设备，其特征在于：所述连接线(5)与所述移动板(3)固定连接，所述连接线(5)从所述底座(1)中穿过，所述连接线(5)与所述检测器(15)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种mems传感器测试设备，其特征在于：所述支撑框(2)的上端固定连接有导向柱(8)，所述导向柱(8)与所述传感器(7)滑动连接。5.根据权利要求1所述的一种mems传感器测试设备，其特征在于：所述弹簧二(12)的一端与所述压紧箱(10)固定连接，所述弹簧二(12)的另一端与所述挡板(13)固定连接。6.根据权利要求1所述的一种mems传感器测试设备，其特征在于：所述底座(1)的下端固定连接有四个支撑块(16)，四个所述支撑块(16)在所述底座(1)的下端均匀分布。

技术总结
本实用新型属于MEMS传感器领域，具体涉及一种MEMS传感器测试设备，包括底座，所述底座的上端固定连接有支撑框，所述支撑框的内部滑动连接有两个对称分布的移动板，所述移动板的上端固定连接有接触板，所述接触板的下端固定连接有连接线，所述支撑框的内部设置有弹簧一，所述支撑框上摆放有传感器，所述传感器与所述接触板接触，所述底座的上端固定连接有支撑板，所述支撑板的上端固定连接有压紧箱。本实用新型通过在底座上加设弹簧二、伸缩杆与压紧板等结构，在检测时可以通过弹簧二的弹力通过伸缩杆推动压紧板将传感器压紧在支撑框上，并且通过导向柱的限位，使得传感器可以快速的固定在支撑框上进行检测，从而可以加快检测效率。率。率。


技术研发人员：董传友 吕德威
受保护的技术使用者：上海睿奈电子科技有限公司
技术研发日：2021.05.14
技术公布日：2021/11/21