一种方便调整多线切割的冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及金刚线多线切割半导体晶圆工艺的技术领域，具体涉及一种方便调整多线切割的冷却装置。


背景技术：

2.半导体晶圆硅片切割用金刚线多线切割机切割是从太阳能金刚线切割机演变过来的。请参阅图1，太阳能光伏硅片为保证后道电池片有效受光面积，全部都是做的小倒角的方片，在金刚线切割时，冷却水的位置一般是固定在最佳的冷却位置，但是切割半导体晶圆时，固定冷却水的位置的方法却达不到最佳的冷却效果，从而在进刀位置和出刀位置易冷却不均，从而导致切割后的硅片厚薄不均或单片ttv过大。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种在金刚线切割过程中冷却水位置随硅棒直径大小而自动变化的多线切割的冷却装置。
4.本实用新型的目的是采用以下技术方案来实现。依据本实用新型提出的一种方便调整多线切割的冷却装置，其特征在于：包括相对设置的冷却装置，所述冷却装置包括活动导流板2、支撑杆3，活动导流板2的一端安装在支撑杆3上、另一端将冷却水引流至加工件9的切割面处，支撑杆3的一端安装有可转动的滚动件7、另一端通过伸缩装置可移动地安装在冷却管10上；伸缩装置包括安装在支撑杆3上的固定板6，固定板6和冷却管10之间安装有弹性件4及导向杆5，固定板6可移动地安装在导向杆5上。
5.优选的，滚动件7选用滚珠轴承。
6.优选的，支撑杆3的数量至少为一个，支撑杆3至少通过一个伸缩装置安装在冷却管10上。
7.优选的，弹性件4为弹簧。
8.优选的，固定板6为法兰盘。
9.本实用新型提出的一种方便调整多线切割的冷却装置具有如下优点：
10.1、本实用新型一种方便调整多线切割的冷却装置中，活动导流板在伸缩装置的带动下可随着加工件尺寸变化而移动，从而在切割过程中实现持续有效的冷却。
11.2、本实用新型一种方便调整多线切割的冷却装置，可保证切割过程中冷却条件的统一及稳定性，使冷却条件变化最小，从而可消除硅片因冷却不足造成的硅片厚度不均及ttv过大的现象。
12.以上说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能更清楚了解本实用新型的技术手段，可依照说明书的内容予以实施，并且为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
13.图1是现有的冷却装置的结构示意图。
14.图2是本实施例一种方便调整多线切割的冷却装置的结构示意图。
15.【附图标记】
[0016]1‑
固定导流板，2
‑
活动导流板、3
‑
支撑杆，4
‑
弹性件，5
‑
导向杆，6
‑
固定板，7
‑
滚动件，8
‑
金刚线，9
‑
加工件，10
‑
冷却管，101
‑
盖板，102
‑
出水口,11
‑
进水管。
具体实施方式
[0017]
为更进一步阐述本实用新型为达成预定目的所采用的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实例，对依据本实用新型提出的一种方便调整多线切割的冷却装置具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0018]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因而不能理解为对本实用新型的限制。
[0019]
请参阅图2，本实用新型一种方便调整多线切割的冷却装置，包括冷却管10、对称设置在加工件两侧的冷却装置，冷却管10上设有盖板101、出水口102、与出水口102相连通的固定导流板1，冷却水的进水管11的底端穿过盖板101并深入到冷却管10的内部，当冷却管10盛满后，水从出水口102溢流至固定导流板1上。
[0020]
所述冷却装置包括活动导流板2和支撑杆3，活动导流板2的一端安装在支撑杆3上、另一端将从固定导流板1流出的冷却水引流至金刚线8与加工件9的切割面处，支撑杆3的一端安装有可转动的滚动件7、另一端通过伸缩装置可移动地安装在冷却管10上，在本实施例中滚动件7选用滚珠轴承，当然在本实用新型的其他实施例中，也可以选用滚珠、滚筒或其他替代。
[0021]
伸缩装置包括安装在支撑杆3上的固定板6、安装在固定板6和冷却管10之间的弹性件4，弹性件4的一端安装在固定板6上、另一端安装在冷却管10上，在本实施例中，弹性件4选用弹簧，当然在本实用新型的其他实施例中，弹性件可用扭簧或其他替代。固定板6和冷却管10之间还设有用导向杆5，弹性件4套装在导向杆5上，导向杆5的一端穿出固定板6，固定板6可移动地安装在导向杆5，在外力作用下固定板6可沿导向杆5的长度方向移动。在本实施例中，固定板6选用法兰盘，当然在本实用新型的其他实施例中，也可以用其他替代。
[0022]
在本实施例中，支撑杆3的数量可为一个，也可在活动导流板的两侧分别设置一个支撑杆，每个支撑杆可通过至少一个伸缩装置安装在冷却管10上，也可多个支撑杆共用一个伸缩装置。
[0023]
工作原理：
[0024]
用金刚线切割加工件9(硅棒)时，滚动件7的外圆周与加工件9的外圆周面相抵接，加工件9切割时，随着加工件9切割宽度的逐渐增大，加工件9的外圆周面给滚动件一个向右的推力，滚动件将该推力通过支撑杆3传递至固定板6，弹性件4被压缩，固定板6带动支撑杆3向右移动，活动导流板2在支撑杆3的作用下同步向右移动，从而从活动导流板2流出的冷却水流至加工件与金刚线的切割面处；
[0025]
随着加工件9切割宽度的逐渐减小，受压缩的弹性件4通过支撑杆施加给滚动件7向左的推力，支撑杆3带动滚动件7向左移动，滚动件7始终被顶紧在硅棒的外圆周面上，活动导流板2在支撑杆3的带动下同步向左移动，始终保证从活动导流板2流出的冷却水可流至加工件与金刚线的切割面处。
[0026]
通过该方法可实现在加工件切割时，无论加工件直径如何变化，均可保证滚动件7与加工件侧面相抵紧，从而可保证从活动导流板上流出的冷却水始终流至加工件与金刚线的切割面处，从而达到最佳的冷却效果。
[0027]
本实用新型一种方便调整多线切割的冷却装置，在加工件(硅棒)切割下降的过程中，始终使滚动件抵在加工件的外壁上，且随着加工件(硅棒)下降时弦长的变化可实现自动伸缩，伸缩时带动活动导流板2同步移动，该移动速度与切割工艺的进给速度相匹配，从而使从活动导流板上流出的冷却水始终与加工件(硅棒)始终保持最佳距离，从而达到最有效的冷却效果；此外，本实用新型的冷却装置可满足不同规格尺寸的圆柱形工件的切割冷却需要。
[0028]
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型做任何形式上的限制，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。