一种晶舟盒料盒缓冲固定结构的制作方法

1.本实用新型属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种晶舟盒料盒缓冲固定结构。


背景技术：

2.半导体行业中，晶圆在运输和生产过程中会存放在晶舟盒内，一个晶舟盒内通常设有多个卡槽，能够存放多片晶圆。卡槽一方面能够固定晶圆的位置，另一方面避免相连的晶圆发生碰撞。正常情况下，晶舟盒内的晶圆处于水平面上，多片晶圆自下而上排列，晶圆受重力影响会紧贴卡槽的一侧，在运输合理的情况下，晶圆不会发生较大的震动，也不会出现破片等问题。
3.但是，现有的晶舟盒的盒盖上用于抵接晶圆的尺板通常是与盒盖呈一体式结构的，与晶圆刚性抵接，容易对晶圆造成损坏，且晶舟盒内的中框也缺乏快速固定结构，导致在运输过程中，中框会带着晶圆一起晃动，也会造成晶圆损坏，转运效果不佳。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外箱、箱盖以及晶舟盒中框，所述箱盖铰接安装于外箱的上端口一侧，且箱盖内顶部可拆卸固定安装有用于弹性抵接晶圆的压料尺板；
6.所述晶舟盒中框安装于外箱内，且外箱内底面固定有与晶舟盒中框底部插接配合的定位胶柱，以及与晶舟盒中框底部对应卡合的固定片。
7.优选的，所述压料尺板为沿宽度方向弯曲的弧板结构。
8.优选的，所述压料尺板的两侧向下弯曲的部分上等距开设有多个对接缝。
9.优选的，所述压料尺板的中部呈线性开设有多个插接孔，且箱盖内顶面中部对应插接孔固定有多个与之插接配合的固定柱。
10.优选的，所述晶舟盒中框内两侧对称构造有多道用于隔开晶圆的分隔棱，且晶舟盒中框的一侧开设有h形开口。
11.优选的，所述晶舟盒中框的底部四角处开设有供定位胶柱插接的插孔，以及与固定片嵌合的卡槽。
12.优选的，所述外箱与箱盖对接的沿口上滑动安装有用于密封二者的卡扣。
13.本实用新型的技术效果和优点：该晶舟盒料盒缓冲固定结构，得益于箱盖、固定柱以及压料尺板的配合，可通过用弹性材质制成的压料尺板来对晶圆进行抵接，并得益于对接缝的开设，压料尺板与晶圆抵接时，晶圆边缘可嵌入对接缝内，从而进一步避免压料尺板与晶圆抵接可能造成的晶圆损伤，同时，压料尺板通过可拆卸安装，还可在长时间使用磨损严重后进行更换，有利于节约成本，并可与不同规格的晶舟盒进行搭配使用，十分方便；
14.且得益于外箱内设置的定位胶柱以及固定片，使得晶舟盒中框在收纳晶圆后可快速稳定地置于外箱内，并配合压料尺板的抵接，提高了晶圆在转运时的稳定性，避免了晃动，提高了对晶圆的保护效果，并提高了转运效果。
附图说明
15.图1为本实用新型的结构示意图；
16.图2为本实用新型的结构爆炸图；
17.图3为本实用新型的箱盖的结构示意图；
18.图4为本实用新型的压料尺板的结构示意图；
19.图5为本实用新型的外箱的结构示意图。
20.图中：1、外箱；2、箱盖；201、固定柱；3、压料尺板；301、插接孔；302、对接缝；4、晶舟盒中框；401、分隔棱；402、h形开口；5、定位胶柱；6、固定片；7、卡扣。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.如图1、图2、图3、图4与图5所示,该晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外箱1、箱盖2以及晶舟盒中框4，所述箱盖2铰接安装于外箱1的上端口一侧，且箱盖2内顶部可拆卸固定安装有用于弹性抵接晶圆的压料尺板3，所述压料尺板3为沿宽度方向弯曲的弧板结构，且压料尺板3的两侧向下弯曲的部分上等距开设有多个对接缝302，而压料尺板3的中部呈线性开设有多个插接孔301，且箱盖2内顶面中部对应插接孔301固定有多个与之插接配合的固定柱201，具体使用时，压料尺板3采用硅胶等软材质制成，并在与晶圆抵接时，晶圆的边缘会浅浅地嵌入对接缝302内，从而能够有效地避免对晶圆造成损坏，而当长时间使用后，压料尺板3被晶圆刮损严重时，可仅对压料尺板3进行拆装更换，而该晶舟盒的其他部分可继续使用，有利于节约成本，同时，压料尺板3还可制成同于规格，与不同的规格的晶舟盒搭配使用，适用范围广。
23.所述晶舟盒中框4安装于外箱1内，且外箱1内底面固定有与晶舟盒中框4底部插接配合的定位胶柱5，以及与晶舟盒中框4底部对应卡合的固定片6，具体的，所述晶舟盒中框4内两侧对称构造有多道用于隔开晶圆的分隔棱401，且晶舟盒中框4的一侧开设有h形开口402，同时，所述晶舟盒中框4的底部四角处开设有供定位胶柱5插接的插孔，以及与固定片6嵌合的卡槽，具体使用时，晶舟盒中框4上的分隔棱401能够将晶圆等距分隔开，避免晶圆之间磨损，且当晶舟盒中框4收纳好晶圆后，可将晶舟盒中框4置于外箱1内，通过定位胶柱5来进行快速定位，并通过固定片6与晶舟盒中框4的卡合来将晶舟盒中框4稳定的固定于外箱1内，再配合箱盖2内的压料尺板3，从而可对晶舟盒中框4内的晶圆稳定保存，避免了晶圆晃动，提高了对晶圆的保护效果。
24.所述外箱1与箱盖2对接的沿口上滑动安装有用于密封二者的卡扣7。
25.工作原理：该晶舟盒料盒缓冲固定结构，使用时，可先将晶圆收纳于晶舟盒中框4
内，通过分隔棱401来将多个晶圆一一分隔开来，以避免相互之间磨损，然后将晶舟盒中框4带着晶圆一起置于外箱1内，此时，可通过外箱1内底部的定位胶柱5来与晶舟盒中框4快速对接，使得固定片6能够与晶舟盒中框4底部的卡槽嵌合，从而对晶舟盒中框4形成限位，以避免其晃动，然后合上箱盖2，此时，箱盖2内的压料尺板3会直接与晶圆顶部边缘抵接，从而进一步避免了晶圆的晃动，提高了晶圆的保护效果，并提高了转运效果。
26.且压料尺板3采用软质材料制成，只会在抵接过程中被晶圆刮损，而不会对晶圆造成损坏，同时，压料尺板3上开设的插接孔301可供晶圆的边缘嵌入，可减少晶圆对压料尺板3的刮损，还提高了压料尺板3的柔韧度，使其更软，从而提高了对晶圆的保护效果，而该晶舟盒在长期使用后，还可对磨损严重的压料尺板3进行拆卸更换，有利于节约成本。
27.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外箱(1)、箱盖(2)以及晶舟盒中框(4)，其特征在于：所述箱盖(2)铰接安装于外箱(1)的上端口一侧，且箱盖(2)内顶部可拆卸固定安装有用于弹性抵接晶圆的压料尺板(3)；所述晶舟盒中框(4)安装于外箱(1)内，且外箱(1)内底面固定有与晶舟盒中框(4)底部插接配合的定位胶柱(5)，以及与晶舟盒中框(4)底部对应卡合的固定片(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述压料尺板(3)为沿宽度方向弯曲的弧板结构。3.根据权利要求2所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述压料尺板(3)的两侧向下弯曲的部分上等距开设有多个对接缝(302)。4.根据权利要求3所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述压料尺板(3)的中部呈线性开设有多个插接孔(301)，且箱盖(2)内顶面中部对应插接孔(301)固定有多个与之插接配合的固定柱(201)。5.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述晶舟盒中框(4)内两侧对称构造有多道用于隔开晶圆的分隔棱(401)，且晶舟盒中框(4)的一侧开设有h形开口(402)。6.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述晶舟盒中框(4)的底部四角处开设有供定位胶柱(5)插接的插孔，以及与固定片(6)嵌合的卡槽。7.根据权利要求1所述的一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，其特征在于：所述外箱(1)与箱盖(2)对接的沿口上滑动安装有用于密封二者的卡扣(7)。

技术总结
本实用新型公开了一种晶舟盒料盒缓冲固定结构，包括外箱、箱盖以及晶舟盒中框，所述箱盖铰接安装于外箱的上端口一侧，且箱盖内顶部可拆卸固定安装有用于弹性抵接晶圆的压料尺板，同时，所述晶舟盒中框安装于外箱内，且外箱内底面固定有与晶舟盒中框底部插接配合的定位胶柱，以及与晶舟盒中框底部对应卡合的固定片。该晶舟盒料盒缓冲固定结构，结构合理，采用可拆卸的柔性尺板与晶圆抵接，提高了对晶圆的保护效果，并方便更换尺板，有利于节约成本，且可能将收纳的晶圆快速稳定的置于盒内，进一步提高了对晶圆的保护效果，并提高了转运效果。并提高了转运效果。并提高了转运效果。


技术研发人员：袁黔云
受保护的技术使用者：深圳市迈捷微科技有限公司
技术研发日：2021.07.16
技术公布日：2021/11/21