转动机构及其真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种转动机构及其真空镀膜机。


背景技术：

2.真空镀膜是指在高真空的条件下通过加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。在真空镀膜行业中，一般采用公自传的结构带动产品(待镀膜件)相对靶面运动，即由大盘带动自转轴运动，其线速度恒定不变，然而产品在公转过程中，由于产品的形状复杂多变，导致产品在不同位置与靶面的距离不相等，从而出现所镀产品的不同位置，所镀膜的膜厚不一致的问题，致使产品在不同位置出现色差和性能差异。


技术实现要素：

3.有鉴于此，有必要提供一种能够使镀膜产品在不同位置色差均匀、性能一致转动机构及其真空镀膜机。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：
5.一种真空镀膜机的转动机构，设于真空腔内，用于带动待镀膜件相对靶面运动，所述待镀膜件具有相邻设置的第一边和第二边，所述第一边的长度大于所述第二边的长度；
6.所述转动机构包括驱动件、传动单元、主动自转单元以及从动自转单元，所述驱动件连接于所述传动单元；所述主动自转单元包括第一转轴及第一椭圆形齿轮，所述从动自转单元包括第二转轴及第二椭圆形齿轮，所述第一转轴与所述传动单元配合，并在所述传动单元的带动下转动，所述第一椭圆形齿轮固定于所述第一转轴的一端并随所述第一转轴转动，所述第二椭圆形齿轮固定于所述第二转轴的一端且用于承载所述待镀膜件，所述第二椭圆形齿轮和所述第一椭圆形齿轮啮合，且与所述第二椭圆形齿轮位于同一平面，并且所述第二椭圆形齿轮的长轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的短轴或者所述第二椭圆形齿轮的短轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的长轴。
7.可以理解的是，在本技术中，通过设置第一椭圆形齿轮以及第二椭圆形齿轮，且所述第二椭圆形齿轮的长轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的短轴或者所述第二椭圆形齿轮的短轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的长轴，同时将所述待镀膜件的第一边与所述第二椭圆形齿轮的长轴平行设置，所述待镀膜件的第二边与所述第二椭圆形齿轮的短轴平行设置；从而，可以使待镀膜件的第一边自转速度慢，待镀膜件的第二边自转速度快，以使待镀膜件在镀膜过程中其表面沉积膜厚形成第一边较厚，第二边较薄的情况，进而弥补了因待镀膜件与靶面之间距离变换差异所带来的第一边、第二边膜厚的差异，以减少待镀膜件不同位置的色差及性能差异。
8.在其中一个实施例中，所述第一椭圆形的短轴的长度与所述第一椭圆形的长轴的长度之比为1:(1.1
‑
1.7)；及/或，所述第二椭圆形的短轴的长度与所述第二椭圆形的长轴的长度之比为1:(1.1
‑
1.7)。
9.可以理解的是，如此设置，可以使得待镀膜件运动时的最佳速度，进一步弥补因待镀膜件与靶面之间距离变换差异，减少待镀膜件不同位置的色差及性能差异。
10.在其中一个实施例中，所述转动机构还包括转盘，所述主动自转单元还包括第一轴承以及第一轴承座，所述转盘设于所述传动单元的一侧，且所述传动单元能够相对所述转盘转动，所述第一轴承套设于所述第一转轴上，所述第一轴承座套设于所述第一轴承并承载所述第一轴承，且所述第一轴承座固定于所述转盘。
11.在其中一个实施例中，所述传动单元包括第一圆形齿轮和第二圆形齿轮，所述第一圆形齿轮与所述驱动件连接，所述第二圆形齿轮固定于所述第一转轴靠近所述第一椭圆形齿轮的一端，且与所述第一圆形齿轮啮合。
12.可以理解的是，采用圆形齿轮的方式传动，不仅传动效率高且传动输出稳定可靠，有利于待镀膜件的平稳运行，提高镀膜时膜层的均匀性。
13.在其中一个实施例中，所述传动单元还包括转动件，所述第一圆形齿轮朝向所述转盘的一侧面上开设有安装槽，所述转动件安装于所述安装槽，且部分凸出所述第一圆形齿轮朝向所述转盘的一侧面，并抵靠于所述转盘。
14.在其中一个实施例中，所述转动机构还包括底板，锁紧件以及绝缘单元，所述第一圆形齿轮通过所述锁紧件安装于所述底板上，所述绝缘单元套设于所述锁紧件，并将所述底板与所述第一圆形齿轮之间阻隔且绝缘。
15.可以理解的是，真空炉(底板)接地，偏压的负极接到第一圆形齿轮等部件上，正极接真空炉的炉体。因此，在真空腔内设置绝缘单元，使得第一圆形齿轮以及与其配合的部件绝缘，可提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高镀膜过程中靶材与待镀膜件的结合力。
16.在其中一个实施例中，所述绝缘单元包括绝缘座、绝缘套以及绝缘帽，所述第一圆形齿轮上开设有贯穿的安装孔，所述绝缘座设于所述第一圆形齿轮和所述底板之间，所述绝缘套安装于所述安装孔内，所述锁紧件的一端从所述安装孔穿出并穿设所述绝缘座，且连接于所述底板，所述绝缘帽盖设于所述第一圆形齿轮靠近所述转盘的一侧面上并将所述安装孔封堵。
17.在其中一个实施例中，所述绝缘套的一端具有第一沉槽，另一端具有凸台，所述锁紧件的一端具有头部，所述头部在所述锁紧件与所述底板连接后，收容于所述第一沉槽内；所述绝缘座靠近所述第一圆形齿轮的一端具有第二沉槽，所述凸台从所述安装孔伸出并嵌入所述第二沉槽内。
18.在其中一个实施例中，所述绝缘单元还包括防护罩，所述防护罩设于所述第一圆形齿轮和所述底板之间，并包裹所述绝缘座。
19.在其中一个实施例中，所述从动自转单元包括第二轴承及第二轴承座，所述第二轴承套设于所述第二转轴上，所述第二轴承座套设于所述第二轴承并承载所述第二轴承。
20.本实用新型还提供如下技术方案：
21.一种真空镀膜机，用于对待镀膜件进行镀膜，包括上述所述转动机构，所述待镀膜件安装于所述转动机构，并在所述转动机构的带动下相对靶面运动。
22.与现有技术相比，所述转动机构通过设置第一椭圆形齿轮以及第二椭圆形齿轮，且所述第二椭圆形齿轮的长轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的短轴或者所述第二椭圆形齿
轮的短轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的长轴，同时将所述待镀膜件的第一边与所述第二椭圆形齿轮的长轴平行设置，所述待镀膜件的第二边与所述第二椭圆形齿轮的短轴平行设置；从而，可以使待镀膜件的第一边自转速度慢，待镀膜件的第二边自转速度快，以使待镀膜件在镀膜过程中其表面沉积膜厚形成第一边较厚，第二边较薄的情况，进而弥补了因待镀膜件与靶面之间距离变换差异所带来的第一边、第二边膜厚的差异，以减少待镀膜件不同位置的色差及性能差异。
附图说明
23.图1为本实用新型提供的转动机构的结构剖示图。
24.图2为本实用新型提供的第一圆形齿轮与第二圆形齿轮啮合的局部示意图。
25.图3为本实用新型提供的第一椭圆形齿轮和第二椭圆形齿轮啮合的一视角结构示意图。
26.图4为本实用新型提供的在图3位置时待镀膜件与靶面之间距离的结构示意图。
27.图5为本实用新型提供的第一椭圆形齿轮和第二椭圆形齿轮啮合的另一视角结构示意图。
28.图6为本实用新型提供的在图5位置时待镀膜件与靶面之间距离的结构示意图。
29.图7为本实用新型提供的在同一真空炉中24挂待镀膜件阵列的结构示意图。
30.图8为本实用新型提供的每挂上待镀膜件的分布图。
31.图9为1号位置挂上镀膜后产品测/算的第一边、第二边的δe*
94
、δl、δa、δb值所呈现的图表。
32.图10为3号位置挂上镀膜后产品测/算的第一边、第二边的δe*
94
、δl、δa、δb值所呈现的图表。
33.图11为5号位置挂上镀膜后产品测/算的第一边、第二边的δe*
94
、δl、δa、δb值所呈现的图表。
34.图12为7号位置挂上镀膜后产品测/算的第一边、第二边的δe*
94
、δl、δa、δb值所呈现的图表。
35.其中，100、转动机构；101、待镀膜件；101a、第一边；101b、第二边；102、靶面；10、传动单元；11、第一圆形齿轮；111、安装槽；112、安装孔；12、第二圆形齿轮；13、转动件；20、主动自转单元；21、第一转轴；22、第一椭圆形齿轮；23、第一轴承；24、第一轴承座；25、第一限位销；26、第一压紧螺母；27、第一止动垫圈；28、第一压盖；30、从动自转单元；31、第二转轴；32、第二椭圆形齿轮；33、第二轴承；34、第二轴承座；35、第二限位销；36、第二压紧螺母；圈37、第二止动垫；38、第二压盖；40、转盘；50、底板；60、锁紧件；61、头部；70、绝缘单元；71、绝缘座；711、第二沉槽；72、绝缘套；721、第一沉槽；722、凸台；73、绝缘帽；74、防护罩、200、挂架。
具体实施方式
36.下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造
性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
37.需要说明的是，当组件被称为“装设于”另一个组件，它可以直接装设在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
38.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
39.如图1所示，本实用新型提供一种真空镀膜机，该真空镀膜机用于使待镀膜件表面形成薄膜层，以使待镀膜件具有新的、良好的物理和化学性能。在这里，待镀膜件可以是长方形、椭圆形等形状规整的部件，也可以是一些形状不规整的部件。
40.具体地，真空镀膜机包括转动机构100、真空炉(图未示)等结构，真空炉内具有真空室(图未示)，转动机构100设置于真空腔内，用于承载待镀膜件101，并带动待镀膜件101在真空腔内相对靶材转动，从而在待镀膜件101转动过程中，靶材沉积在待镀膜件101的表面形成膜层，完成待镀膜件101的镀膜。
41.需要说明的是，现有的产品在转动过程中，由于产品的形状复杂多变，导致产品在不同位置与靶面的距离不相等(可以看考图4中的l2和图5中l3)，进而使得产品的不同位置处的膜厚不一致，致使产品在不同位置出现色差和性能差异。例如，以长方形产品为例，当长方形产品在真空腔内转动时，由于产品的长边、短边距离靶面(靶材)距离有误差，导致产品长、短边所镀的膜层厚度不均匀。产品自转时，第二边距离靶面比较近，则膜层沉积比较厚。产品自转时，第一边距离靶面比较远，则膜层沉积比较薄。因此，本实用新型提供了一种转动机构100，其能够使得上述产品在沉膜过程中，产品各处膜层沉积比较均匀。
42.具体地，如图1、图3
‑
图6所示，转动机构100用于带动待镀膜件101相对靶面102运动，待镀膜件101具有相邻设置的第一边101a和第二边101b，第一边101a的长度大于所述第二边101b的长度。转动机构100包括驱动件(图未示)、传动单元10、主动自转单元20以及从动自转单元30，驱动件连接于传动单元10，并作为动力源以带动传动单元10运动；主动自转单元20包括第一转轴21及第一椭圆形齿轮22，从动自转单元30包括第二转轴31及第二椭圆形齿轮32，第一转轴21与传动单元10配合，并在传动单元10的带动下自转，第一椭圆形齿轮22固定于第一转轴21的一端并随第一转轴21转动，第二椭圆形齿轮固定于第二转轴31的一端并用于承载待镀膜件101，第二椭圆形齿轮32和第一椭圆形齿轮22啮合，并与第二椭圆形齿轮32位于同一平面，且第二椭圆形齿轮32的长轴垂直于第一椭圆形齿轮22的短轴或者第二椭圆形齿轮32的短轴垂直于第一椭圆形齿轮22的长轴。
43.可以理解的是，通过设置第一椭圆形齿轮22以及第二椭圆形齿轮32，且第二椭圆形齿轮32的长轴垂直于第一椭圆形齿轮22的短轴或者第二椭圆形齿轮32的短轴垂直于第一椭圆形齿轮22的长轴，同时将待镀膜件101的第一边101a与第二椭圆形齿轮32的长轴平行设置，待镀膜件101的第二边101b与第二椭圆形齿轮32的短轴平行设置；从而，在镀膜过程中，可以使待镀膜件101的第一边101a自转速度慢(结合图3和图4)，待镀膜件101的第二边101b自转速度快(结合图5和图6)，进而使待镀膜件101距离靶面102较远的第一边101a表
面沉积膜厚形成较厚，距离靶面101较近的第二边101b表面沉积膜厚形成较薄，进而弥补了因待镀膜件101与靶面102之间距离变换差异所带来的第一边101a、第二边101b膜厚的差异。通过上述方式使得第一边101a、第二边101b膜厚的值平均下来，待镀膜件101的四周的膜层沉积将比较均匀，有效地减少了待镀膜件101不同位置的色差及性能差异。
44.进一步地需要解释的是，利用椭圆形齿轮啮合时，椭圆角速度不变的情况下，椭圆的外边缘的线速度不同。当第一椭圆形齿轮22匀速运动时，第二椭圆形齿轮32与之咬合作将变速运动，可实现待镀膜件101的第一边101a靠近靶面102时，速度较慢，沉积膜层较多，待镀膜件101的第二边101b靠近靶面102时，靠近靶面时，速度较快，沉积膜层较少。
45.请继续参考图1，传动单元10包括第一圆形齿轮11和第二圆形齿轮12，第一圆形齿轮11与驱动件连接，第二圆形齿轮12固定于第一转轴21靠近第一椭圆形齿轮22的一端，且与第一圆形齿轮11啮合，从而驱动件通过第一圆形齿轮11、第二圆形齿轮12带动第一转轴21转动，以实现第一椭圆形齿轮22的转动。可以理解的是，采用圆形齿轮的方式传动，不仅传动效率高且传动输出稳定可靠，有利于待镀膜件101的平稳运行，提高镀膜时膜层的均匀性。
46.当然，在本实施例中，传动单元10采用的是齿轮传动方式，在其他实施例中传动单元10还可以采用链条传动、皮带传动等其他结构。
47.进一步地，第一椭圆形齿轮22的短轴的长度与第一椭圆形齿轮22的长轴的长度之比为1:(1.1
‑
1.7)；及/或，第二椭圆形齿轮32的短轴的长度与第二椭圆形齿轮32的长轴的长度之比为1:(1.1
‑
1.7)。如此设置，可以使得待镀膜件101运动时的最佳速度，进一步弥补因待镀膜件101与靶面102之间距离变换差异，提高镀膜效果，减少待镀膜件101不同位置的色差及性能差异。
48.具体地，第一椭圆形齿轮22的短轴的长度与第一椭圆形齿轮22的长轴的长度之比可以为1:1.1、1:1.2、1:1.3、1:1.4、1:1.5、1:1.6、1:1.7不等，具体数值可知根据需求进行选择。同样，第二椭圆形齿轮32的短轴的长度与第二椭圆形齿轮32的长轴的长度之比也可以为1:1.1、1:1.2、1:1.3、1:1.4、1:1.5、1:1.6、1:1.7不等，具体数值可知根据需求进行选择。
49.作为优选地，待镀膜件101的第一边101a与第二椭圆形齿轮32的长轴平行设置且第一边101a为长边，待镀膜件101的第二边101b与第二椭圆形齿轮32的短轴平行设置且第二版101b为短边。
50.如图1所示，主动自转单元20还包括第一轴承23以及第一轴承座24，第一轴承23套设于第一转轴21上，第一轴承座24套设于第一轴承23并承载第一轴承23，即第一轴承23固定在第一轴承座24上。
51.作为优选地，第一轴承23的数量至少为2个，且2个第一轴承23间隔地设置在第一转轴21上，从而以保证第一转轴21运动的可靠性和平顺性。
52.进一步地，主动自转单元20还包括第一限位销25、第一压紧螺母26、第一止动垫圈27以及两个第一压盖28，两个第一压盖28分别设于第一轴承座24的两端并套设在第一转轴21上，从而实现对第一轴承23的防尘等保护。第一止动垫圈27套设在第一转轴21上，并抵靠两个第一压盖28中远离第一椭圆形齿轮22的第一压盖28上，第一压紧螺母26螺纹连接于第一转轴21上，并与第一止动垫圈27抵靠，从而将对于的第一压盖28固定在第一转轴21上。第
一限位销25设置于第一转轴21靠近第一压紧螺母26的一端，防止第一压紧螺母26、第一止动垫圈27等部件脱离第一转轴21。
53.如图1所示，从动自转单元30包括第二轴承33及第第二轴承座34，第二轴承33套设于第二转轴31上，第第二轴承座34套设于第二轴承33并承载第二轴承33。即第二轴承33固定在第二轴承座34上。
54.进一步地，从动自转单元30还包括第二限位销35、第二压紧螺母36、第二止动垫圈37以及两个第二压盖38，两个第二压盖38分别设于第二轴承座34的两端并套设在第二转轴31上，从而实现对第二轴承33的防尘等保护。第二止动垫圈37套设在第二转轴31上，并抵靠两个第二压盖38中远离第二椭圆形齿轮32的第二压盖38上，第二压紧螺母36螺纹连接于第二转轴31上，并与第二止动垫圈37抵靠，从而将对于的第二压盖38固定在第二转轴31上。第二限位销35设置于第二转轴31靠近第二压紧螺母36的一端，防止第二压紧螺母36、第二止动垫圈37等部件脱离第二转轴31。
55.进一步地，转动机构100还包括转盘40，转盘40设于传动单元10的一侧，且传动单元10能够相对转盘40转动，第一轴承座24通过螺钉等紧固件固定于转盘40，以实现第一轴承座24的安装。
56.进一步地，传动单元10还包括转动件13，第一圆形齿轮11朝向转盘40的一侧面上开设有安装槽111，转动件13安装于安装槽111，且部分凸出第一圆形齿轮11朝向转盘40的一侧面，并抵靠于转盘40，从而通过转动件13实现转盘40与第一圆形齿轮11之间运动的互不干涉。
57.作为优选地，转动件13为钢珠，且安装槽111内填充有润滑脂，以使转盘40与第一圆形齿轮11之间的转动更加顺畅。
58.如图1所示，进一步地，转动机构100还包括底板50，锁紧件60以及绝缘单元70，底板50接地设置，第一圆形齿轮11通过锁紧件60安装于底板50上，绝缘单元70套设于锁紧件60，并将底板50与第一圆形齿轮11之间阻隔且绝缘，偏压结构(图未示)的负极接到第一圆形齿轮11等部件上，正极接真空炉的炉体。因此，在真空腔内设置绝缘单元70，使得第一圆形齿轮11以及与其配合的部件绝缘，以提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高镀膜过程中靶材与待镀膜件101的结合力。
59.具体地，绝缘单元70包括绝缘座71、绝缘套72以及绝缘帽73，第一圆形齿轮11上开设有贯穿的安装孔112，绝缘座71设于第一圆形齿轮11和底板50之间，绝缘套72安装于安装孔112内，锁紧件60的一端从安装孔112穿出并穿设绝缘座71，且连接于底板50，绝缘帽73盖设于第一圆形齿轮11靠近转盘40的一侧面上并将安装孔112封堵。
60.作为优选地，绝缘套72的一端具有第一沉槽721，另一端具有凸台722，锁紧件60的一端具有头部61，头部61在锁紧件60与底板50连接后，收容于第一沉槽721内，绝缘座71靠近第一圆形齿轮11的一端具有第二沉槽711，凸台722从安装孔112伸出并嵌入第二沉槽711内，从而在整体上组成一道完整的绝缘线，实现对第一圆形齿轮11的绝缘。
61.进一步地，绝缘单元70还包括防护罩74，防护罩74设于第一圆形齿轮11和底板50之间，并包裹绝缘座71，以对绝缘座71进行保护。
62.为进一步地阐述本实用新型的优点，做如下实验，统计相关数据并进行比对：
63.如图7及图8所示，在同一真空炉(编号：d19040701)中，真空炉内以同一圆心阵列
设于椭圆形齿轮32上，且同一结构、尺寸的24个挂架200，相邻两挂架200间隔均匀且每挂架200上均挂设同一产品待镀膜件101。为保证实验的一致性、准确性。现作以下规定：1号、3号、5号、7号挂架200上均挂设结构形状、尺寸一致的同一待镀膜件101，且每挂架200上沿着竖直方向有12层待镀膜件101(排布方式如图8所示)，并且1号位置上承载待镀膜件101的齿轮为圆齿轮；3号、5号以及7号位置上承载待镀膜件101的齿轮为椭圆形齿轮。其中，3号位置上的椭圆形齿轮的短轴与长轴比为1:1.3，5号位置上的椭圆形齿轮的短轴与长轴比为1:1.4，7号位置上的椭圆形齿轮的短轴与长轴比为1:1.5。真空炉作顺时针运动，对待镀膜件101进行镀膜，镀膜完成后产品，分别测量镀膜后的产品的第一边、第二边的lab值，且与标准lab值进行比较，并分别计算各个位置、各个层的镀膜后的产品的δe*
94
、δl、δa、δb，同时整理出图表。
64.需要解释的，图9为1号位置挂上镀膜后产品的第一边、第二边的δe*
94
、δl、δa、δb值所呈现的图表，其中，layer表示层，s1
‑
l表示第一边，s1
‑
s表示第二边。图10为3号位置挂上镀膜后产品的第一边、第二边的δe*
94
、δl、δa、δb值所呈现的图表，其中，layer表示层，s3
‑
l表示第一边，s3
‑
s表示第二边。图11为5号位置挂上镀膜后产品的第一边、第二边的δe*
94
、δl、δa、δb值所呈现的图表，其中，layer表示层，s5
‑
l表示第一边，s5
‑
s表示第二边。图12为7号位置挂上镀膜后产品的第一边、第二边的δe*
94
、δl、δa、δb值所呈现的图表，其中，layer表示层，s7
‑
l表示第一边，s7
‑
s表示第二边。
65.可以理解的是，从图9中可知，同一层的镀膜产品的第一边的δe*
94
值与第二边的δe*
94
值相差较大，即表明第一边和第二边之间存在较大色差。而从图10
‑
图12可知，同一层的镀膜产品的第一边的δe*
94
值与第二边的δe*
94
值相差较小，即表明第一边和第二边之间色差较小。对比可知，利用本技术中的椭圆形齿轮进行承载待镀膜件101以及带动待镀膜件101运转，可以提高产品各处膜层沉积的均匀性，明显减少待镀膜件101镀膜后不同位置的色差以及性能差异。
66.同时，由对比图10
‑
图12可知，在图11中，当椭圆形齿轮的短轴与长轴比为1:1.5时，同一层镀膜后的产品的第一边的δe*
94
值与第二边的δe*
94
值相差最小(最为接近)且重合次数最多。换而言之，在椭圆形齿轮的短轴与长轴比为1:1.5时，镀膜后的产品的各处膜层沉积的均匀性更好，且色差可忽略不计、性能一致性更好。
67.以上实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
68.本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本实用新型要求保护的范围内。