多层次紧凑型晶圆放置料盒的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆收纳装置技术领域，尤其涉及一种多层次紧凑型晶圆放置料盒。


背景技术：

2.晶圆缺陷检测是保证产品良率的重要的步骤之一，对于检测精度和速度有较高要求，目前国内通常采用进口设备，因进口设备价格高昂，交期长，无法满足国内快速反应的生产节奏。在晶圆检测设备的检测过程中，料盒只能存放少量晶圆，需人工频繁更换料盒，影响检测效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是，提供一种多层次紧凑型晶圆放置料盒，以克服目前现有技术存在的上述不足。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
5.一种多层次紧凑型晶圆放置料盒，包括底部安装座、料仓、限位块以及光纤传感器，所述料仓固定安装在所述底部安装座上，所述限位块设置在所述底部安装座上，且所述限位块设置在所述料仓四周，所述光纤传感器设置在所述底部安装座上，所述料仓内设置有收纳腔，在所述收纳腔内设置有若干收纳槽，在所述收纳槽与收纳槽之间均设置有间隙块。
6.优选的，所述底部安装座上设置有固定安装孔。
7.优选的，所述限位块通过螺钉固定安装在所述底部安装座上。
8.优选的，所述料仓为t型形状，底部窄，顶部宽。
9.本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，型号紧凑，能够存放不同型号的晶圆，料仓设计成多层状结构，一次可存放多块晶圆，该结构可以很大程度节省产品存储体积，将设备空间利用的更加充足，设备做到更紧凑，且光纤传感器可检测料盒是否在指定位置，限位块保证料盒的位置精度，配合机械手取放料更加精准。
附图说明
10.图1为本实用新型一种多层次紧凑型晶圆放置料盒的结构示意图；
11.图2为本实用新型一种多层次紧凑型晶圆放置料盒的操作平台示意图；
12.图中：1、底部安装座；11、固定安装孔；2、料仓；21、收纳腔；22、收纳槽；23、间隙块；3、限位块；31、螺钉；4、光纤传感器；5、机械手；6、检测单元。
具体实施方式
13.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
14.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
15.参照图1，本实施案例是一种多层次紧凑型晶圆放置料盒，包括底部安装座1、料仓2、限位块3以及光纤传感器4，所述料仓2固定安装在所述底部安装座1上，所述限位块3设置在所述底部安装座1上，且所述限位块3设置在所述料仓2四周，所述光纤传感器4设置在所述底部安装座1上，所述料仓2内设置有收纳腔21，在所述收纳腔21内设置有若干收纳槽22，在所述收纳槽22与收纳槽22之间均设置有间隙块23。收纳槽与间隙块之间形成多层状结构，一次可存放多块晶圆，该结构可以很大程度节省产品存储体积，将设备空间利用的更加充足，设备做到更紧凑。
16.优选的，所述底部安装座1上设置有固定安装孔11。通过固定安装孔将底部安装座固定安装在设备上，配合机械手使用。
17.优选的，所述限位块3通过螺钉31固定安装在所述底部安装座1上。
18.优选的，所述料仓2为t型形状，底部窄，顶部宽。
19.参考图2，本实施案例在实施时，通过机械手5夹取，将晶圆夹取到检测单元6进行检测，检测时机械手将产品放置旋转载台，然后载台上的吸附空将产品吸附在平台上。旋转平台旋转，同时缺陷检测相机对产品进行表面缺陷检测，位置补正器将记录产品位置偏移量。后将检测结果和补正结果发给机械手，机械手根据偏移量调整取料和放料位置，将良品和不良品分别放入对应的料盒内。
20.本实用新型的有益之处，本实用新型结构简单，型号紧凑，能够存放不同型号的晶圆，料仓设计成多层状结构，一次可存放多块晶圆，该结构可以很大程度节省产品存储体积，将设备空间利用的更加充足，设备做到更紧凑，且光纤传感器可检测料盒是否在指定位置，限位块保证料盒的位置精度，配合机械手取放料更加精准。
21.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种多层次紧凑型晶圆放置料盒，其特征在于：包括底部安装座、料仓、限位块以及光纤传感器，所述料仓固定安装在所述底部安装座上，所述限位块设置在所述底部安装座上，且所述限位块设置在所述料仓四周，所述光纤传感器设置在所述底部安装座上，所述料仓内设置有收纳腔，在所述收纳腔内设置有若干收纳槽，在所述收纳槽与收纳槽之间均设置有间隙块。2.根据权利要求1所述的一种多层次紧凑型晶圆放置料盒，其特征在于：所述底部安装座上设置有固定安装孔。3.根据权利要求1所述的一种多层次紧凑型晶圆放置料盒，其特征在于：所述限位块通过螺钉固定安装在所述底部安装座上。4.根据权利要求1所述的一种多层次紧凑型晶圆放置料盒，其特征在于：所述料仓为t型形状，底部窄，顶部宽。

技术总结
本实用新型涉及晶圆收纳装置技术领域，尤其涉及一种多层次紧凑型晶圆放置料盒。包括底部安装座、料仓、限位块以及光纤传感器，所述料仓固定安装在所述底部安装座上，所述限位块设置在所述底部安装座上，且所述限位块设置在所述料仓四周，所述光纤传感器设置在所述底部安装座上，所述料仓内设置有收纳腔，在所述收纳腔内设置有若干收纳槽，在所述收纳槽与收纳槽之间均设置有间隙块。本实用新型的有益之处：结构简单，型号紧凑，能够存放不同型号的晶圆，料仓设计成多层状结构，一次可存放多块晶圆，该结构可以很大程度节省产品存储体积，将设备空间利用的更加充足，设备做到更紧凑。设备做到更紧凑。设备做到更紧凑。


技术研发人员：袁丹
受保护的技术使用者：苏州普洛泰科精密工业有限公司
技术研发日：2021.04.10
技术公布日：2021/11/21