一种自调节式抛光压头的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工制造技术领域，尤其是涉及一种自调节式抛光压头。


背景技术：

2.抛光压头的型号多样，但抛光压头不能调整加工精度，市场亟需一种可以调整加工精度的抛光压头，现有技术存在的问题是：目前市场上有各种各样的抛光压头，而大部分抛光压头都是一次装配成型不可调整的，这样就会在加工的时候增加很多的不确定性，加工效果不可调整，在进行加工的时候，都需要人直观的去观察监视，才能确定已加工的数据，降低了加工效率。
3.本实用新型为了克服上述缺陷，进行了有益的改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于解决现有技术中的上述不足，提供了一种自调节式抛光压头。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案。
6.一种自调节式抛光压头，包括压头，其特殊之处在于：还包括压头过渡板、限位拉钉、压头中板、中圈压环、弹性胶膜、外圈压环、内圈压环和调节快接插头，所述压头过渡板通过紧固螺栓和垫圈与驱动主轴连接，所述紧固螺栓从所述压头过渡板的底部向上穿过垫圈和压头过渡板通孔与驱动主轴连接，所述压头中板固定安装在所述压头过渡板的下侧，所述压头中板的下侧设置所述弹性胶膜，所述弹性胶膜的下侧设置压头，所述调节快插接头固定安装在所述压头中板的上侧，用于给所述弹性胶膜充放气。
7.进一步地：所述限位拉钉的下部分贯穿所述压头中板并固定安装在所述中圈压环的上侧，所述中圈压环设置在所述压头中板下表面的内侧，所述中圈压环向下穿过所述弹性胶膜固定安装在所述压头的上表面，所述限位拉钉的上部位于所述压头过渡板通孔内且位于所述紧固螺栓的下方。
8.进一步地：所述外圈压环设置在所述压头上表面外缘的槽内，且所述外圈压环向上穿过所述弹性胶膜固定安装在所述压头中板的下表面，所述内圈压环设置在所述压头上表面中心位置的槽内，且所述内圈压环向上穿过所述弹性胶膜固定安装在所述压头中板的下表面。
9.进一步地：所述自调节式抛光压头还包括吸片快插接头，所述吸片快插接头穿过所述内圈压环并固定安装在所述压头的中心处。
10.进一步地：所述压头中板上表面上设置有四个用于安装o型圈的圆形槽，所述压头过渡板对应放置所述限位拉钉的通孔的孔径小于所述o型圈的内径。
11.进一步地：所述限位拉钉与所述压头中板之间采用间隙配合，所述中圈压环与所述压头中板之间采用间隙配合，所述内圈压环与所述压头之间采用间隙配合。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
[0013] 1.本实用新型采用调节快插接头对弹性胶膜进行充气，通过吸片快插接头对压头抽真空吸附工件，通过限位拉钉贯穿压头中板间隙配合，中圈压环与压头中板间隙配合，内圈压环与压头间隙配合，很好的保证加工过程中压头浮动，自调节以确保工件与大盘密切接触，保证加工精度，提高了加工精度和加工效率。
[0014]
2. 本实用新型通过设置压头中板上表面设置有四个用于安装o型圈圆形槽位，压头过渡板对应放置限位拉钉的孔径小于o型圈内径，在加工开始对弹性胶膜充气时，起到了密封作用。
附图说明
[0015]
图1是本实用新型实施例提供的结构示意图。
[0016]
图2是本实用新型实施例提供的结构爆炸图一。
[0017]
图3是本实用新型实施例提供的结构爆炸图二。
[0018]
图4是本实用新型实施例提供的结构剖视图。
[0019]
图中：1、紧固螺栓、2、垫圈、3、压头过渡板、4、限位拉钉、5、o型圈、6、压头中板、7、中圈压环、8、弹性胶膜、9、外圈压环、10、内圈压环、11、吸片快插接头、12、压头、13、调节快插接头。
具体实施方式
[0020]
为能进一步了解本实用新型的

技术实现要素：
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。
[0021]
下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。
[0022]
如图1至图4所示，本实用新型实施例提供的一种自调整式抛光压头，包括压头12、压头过渡板3、限位拉钉4、压头中板6、中圈压环7、弹性胶膜8、外圈压环9、内圈压环10、调节快接插头13和吸片快接插头11，所述紧固螺栓1与垫圈2配合使用从压头过渡板3底部向上安装到驱动主轴，所述调节快插接头13固定安装在压头中板6上侧，所述压头中板6固定安装在压头过渡板3下表面，所述限位拉钉4上侧设置在压头过渡板内侧、紧固螺栓1下侧且贯穿压头中板6固定安装在中圈压环7上侧，所述压头中板6固定安装在压头过渡板3下侧，所述中圈压环7设置在压头中板6下表面内侧，且所述中圈压环7和弹性胶膜8固定安装在压头12上表面，所述外圈压环9和弹性胶膜8固定安装在压头中板6下表面，所述内圈压环10与弹性胶膜8固定安装在压头中板6下表面，所述吸片快插接头固定安装在压头12上表面中心处。
[0023]
如图1至图4所示，压头中板6上表面设置有四个用于安装o型圈5圆形槽位，压头过渡板3对应放置限位拉钉4的孔径小于o型圈5内径。
[0024]
采用上述方案：保证加工中对弹性胶膜8充气时的密封不漏气。
[0025]
如图1至图4所示，限位拉钉4贯穿压头中板6间隙配合，中圈压环7与压头中板6间隙配合，内圈压环10与压头12间隙配合。
[0026]
采用上述方案：保证了加工过程中压头轻松浮动起到自调节作用。
[0027]
本实用新型的工作原理：
[0028]
在使用时，紧固螺栓1固定连接到下压主轴，吸片快插接头11连接气源对压头12抽
真空吸住工件，主轴下压至抛光大盘，调节快插接头13连接气源充气，气囊充气膨胀，限位拉钉向下移动行程，推动压头12吸附着工件贴紧抛光盘，启动抛光盘旋转加工，大盘转动过程中，弹性胶膜8处持续膨胀状态，加工中，压头12与限位拉钉4上下浮动，自调节以确保工件与大盘密切接触，保证加工精度。
[0029]
综上所述：该自调整式抛光压头，通过设置紧固螺栓1、垫圈2、压头过渡板3、限位拉钉4、o型圈5、压头中板6、中圈压环7、弹性胶膜8、外圈压环9、内圈压环10、吸片快插接头11、压头12和调节快插接头13的配合使用，解决了现有目前市场上有各种各样的抛光压头存在的无法自适应调节的缺陷，该自调整式抛光压头，具备有效的提高加工的精度和效率的优点，值得推广。
[0030]
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0031]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。