一种具有汽化烟雾处理功能的半导体芯片划片装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体芯片划片装置技术领域，具体为一种具有汽化烟雾处理功能的半导体芯片划片装置。


背景技术：

2.半导体芯片划片的采用的使得激光划片机，激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射区域局部熔化和气化，从而达到划片的目的，因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点，能量密度高，因其加工是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形，但是现有的半导体芯片划片装置存在以下缺陷：
3.现有专利(公告号：cn212705019u)公开了一种半导体芯片划片装置，涉及芯片技术领域。包括底板，所述底板上焊接有第一直线电机，所述第一直线电机一侧的底板上焊接有第二直线电机，且第二直线电机和第一直线电机相互垂直设置。发明人在实现该方案的过程中发现现有技术中存在如下问题没有得到良好的解决：1、该装置采用抽风机直接安装在激光划片机上，抽风机的震动极大影响了激光划片机的精度，从而导致半导体芯片的质量的下降；2、该装置采用多个导气罩吸取汽化烟雾，吸附功能有限，吸收效果较差，该装置结构复杂，移动非常不便。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种具有汽化烟雾处理功能的半导体芯片划片装置，通过设置吸收机构，以解决上述背景技术中提出吸收烟雾影响精度的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有汽化烟雾处理功能的半导体芯片划片装置，包括工作台、支撑腿、限位机构和吸收机构，所述工作台的底面固定安装有四根支撑腿，所述工作台的底部安装有限位机构和吸收机构，所述工作台的顶部安装有半导体移动放置台，所述工作台的一侧表面固定安装有划片机本体，所述工作台的顶部固定安装有防护壳，所述划片机本体远离工作台的一端贯穿防护壳延伸至内部。
6.所述吸收机构包括吸气管、环形管、波纹管、过滤箱和第一连接管，所述工作台上贯穿安装有多根吸气管，多根所述吸气管的底端固定安装有环形管，所述环形管的底端那装有波纹管，所述过滤箱的顶板内嵌安装有第一连接管和第二连接管，所述波纹管的底端固定连接第二连接管的顶端，所述过滤箱的底端固定安装有机箱。
7.所述限位机构包括卡板、限位板、弹簧和绑带，四根所述支撑腿之间固定安装有三块隔板，四根所述支撑腿之间水平安装有限位板，其中一块所述隔板的一侧表面铰接安装有两块卡板，两块所述卡板远离隔板的一端均固定安装有绑带，两根所述绑带上安装有紧固器，所述限位板的底部安装有多根弹簧，多根所述弹簧远离限位板的一端均固定连接机箱底端的外表面。
8.为了提供吸力使得过滤箱中产生负压，优选的，所述机箱的底板顶面固定安装有吸气泵，所述吸气泵的输入端固定连接第一连接管远离过滤箱的一端。
9.为了保护过滤箱和机箱的外部在移动和使用时不会擦伤，优选的，所述限位板上贯穿开设有卡槽，所述卡槽的表面以及两块卡板相邻的一侧表面均固定安装有软垫，所述机箱位于卡槽的内部。
10.为了方便向过滤箱中添加过滤液和倒弃废液，优选的，所述过滤箱的顶部螺纹贯穿安装有注入塞，所述过滤箱的一侧板内嵌安装有排出管，所述排出管上套接有套盖。
11.为了实现防护壳内部的空气循环，同时避免汽化烟雾排出，优选的，所述防护壳的顶板内嵌安装有过滤窗，所述过滤窗的内部安装有过滤网。
12.为了方便取拿半导体晶片，优选的，所述防护壳的一侧板开设有方形槽且铰接安装有转动门。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.(1)本实用新型设置有吸收机构，通过打开吸气泵，吸气泵吸气使得过滤箱内部产生负压，从而使得与第二连接管连接吸气管产生吸力，防护壳内部的烟尘通过多根吸气管被吸入到过滤箱中，经过处理后排出，实现了汽化烟雾的吸收，吸收效果好，吸气泵在使用时与装置分离，其振动不会影响设备的精度；
15.(2)本实用新型设置有限位机构，通过调整紧固器拉筋两根绑带，使得两块卡板加紧过滤箱的外部，实现了过滤箱和机箱的固定，方便移动，在使用时松开紧固器，可以实现限位机构与工作台的分离，提高稳定性，减少装置振动。
附图说明
16.图1为本实用新型的立体结构示意图；
17.图2为本实用新型主视图的剖视结构示意图；
18.图3为本实用新型过滤箱和机箱的主视剖视结构示意图；
19.图4为本实用新型限位板的俯视结构示意图。
20.图中：1、防护壳；2、工作台；3、转动门；4、划片机本体；5、过滤窗；6、限位板；7、支撑腿；8、隔板；9、吸气管；10、环形管；11、半导体移动放置台；12、波纹管；13、第一连接管；14、过滤箱；15、机箱；16、弹簧；17、卡板；18、第二连接管；19、吸气泵；20、绑带；21、紧固器；22、卡槽。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.实施例一：
23.请参阅图1
‑
4，一种具有汽化烟雾处理功能的半导体芯片划片装置，包括工作台2、支撑腿7和限位机构，工作台2的底面固定安装有四根支撑腿7，工作台2的底部安装有限位机构，工作台2的顶部安装有半导体移动放置台11，工作台2的一侧表面固定安装有划片机本体4，工作台2的顶部固定安装有防护壳1，划片机本体4远离工作台2的一端贯穿防护壳1延伸至内部，为了实现防护壳1内部的空气循环，同时避免汽化烟雾排出，防护壳1的顶板内
嵌安装有过滤窗5，过滤窗5的内部安装有过滤网，为了方便取拿半导体晶片，防护壳1的一侧板开设有方形槽且铰接安装有转动门3。
24.限位机构包括卡板17、限位板6、弹簧16和绑带20，四根支撑腿7之间固定安装有三块隔板8，四根支撑腿7之间水平安装有限位板6，其中一块隔板8的一侧表面铰接安装有两块卡板17，两块卡板17远离隔板8的一端均固定安装有绑带20，两根绑带20上安装有紧固器21，限位板6的底部安装有多根弹簧16，多根弹簧16远离限位板6的一端均固定连接机箱15底端的外表面，为了保护过滤箱14和机箱15的外部在移动和使用时不会擦伤，限位板6上贯穿开设有卡槽22，卡槽22的表面以及两块卡板17相邻的一侧表面均固定安装有软垫，机箱15位于卡槽22的内部。
25.需要移动时，通过调整紧固器21拉筋两根绑带20，使得两块卡板17加紧过滤箱14的外部，实现了过滤箱14和机箱15的固定，方便移动。
26.实施例二：
27.请参阅图1
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4，一种具有汽化烟雾处理功能的半导体芯片划片装置，包括工作台2、支撑腿7和吸收机构，工作台2的底面固定安装有四根支撑腿7，工作台2的底部安装有吸收机构，工作台2的顶部安装有半导体移动放置台11，工作台2的一侧表面固定安装有划片机本体4，工作台2的顶部固定安装有防护壳1，划片机本体4远离工作台2的一端贯穿防护壳1延伸至内部，为了实现防护壳1内部的空气循环，同时避免汽化烟雾排出，防护壳1的顶板内嵌安装有过滤窗5，过滤窗5的内部安装有过滤网，为了方便取拿半导体晶片，防护壳1的一侧板开设有方形槽且铰接安装有转动门3。
28.吸收机构包括吸气管9、环形管10、波纹管12、过滤箱14和第一连接管13，工作台2上贯穿安装有多根吸气管9，多根吸气管9的底端固定安装有环形管10，环形管10的底端那装有波纹管12，过滤箱14的顶板内嵌安装有第一连接管13和第二连接管18，波纹管12的底端固定连接第二连接管18的顶端，过滤箱14的底端固定安装有机箱15，为了提供吸力使得过滤箱14中产生负压，机箱15的底板顶面固定安装有吸气泵19，吸气泵19的输入端固定连接第一连接管13远离过滤箱14的一端，为了方便向过滤箱14中添加过滤液和倒弃废液，过滤箱14的顶部螺纹贯穿安装有注入塞，过滤箱14的一侧板内嵌安装有排出管，排出管上套接有套盖。
29.通过打开吸气泵19，吸气泵19吸气使得过滤箱14内部产生负压，从而使得与第二连接管18连接吸气管9产生吸力，防护壳1内部的烟尘通过多根吸气管9被吸入到过滤箱14中，经过处理后排出，实现了汽化烟雾的吸收，吸收效果好，吸气泵19在使用时与装置分离，其振动不会影响设备的精度。
30.工作原理：本技术中出现的电器元件在使用时均外接有电源和控制开关，划片机本体4为激光划片机，激光划片机由电脑控制，通过高倍镜观察，配合半导体移动放置台11可以实现多方位精准刻画，为现有技术，本实用新型在使用时会产生汽化烟雾，在过滤箱14的内部添加过滤液，松开紧固器21，使得卡板17与过滤箱14的外表面分离，通过打开吸气泵19，吸气泵19吸气使得过滤箱14内部产生负压，从而使得与第二连接管18连接吸气管9产生吸力，防护壳1内部的烟尘通过多根吸气管9被吸入到过滤箱14中，经过处理后排出，实现了汽化烟雾的吸收，吸收效果好，吸气泵19在使用时与装置分离，其振动不会影响设备的精度，需要移动时，通过调整紧固器21拉筋两根绑带20，使得两块卡板17加紧过滤箱14的外
部，实现了过滤箱14和机箱15的固定，方便移动。
31.涉及到电路和电子元器件和控制模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。
32.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“中部”、“偏心处”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
33.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。