一种夹持多个基板的基板溅射夹具的制作方法

1.本实用新型涉及溅射夹具技术领域，具体涉及一种夹持多个基板的基板溅射夹具。


背景技术：

2.现实生活中，基板溅射夹具是溅射成膜工艺中，对基板进行夹持固定的装置，对基板溅射起到关键作用。
3.现有技术中，一般的基板溅射夹具可同时夹持的基板数量少，不能夹持多个基板，影响加工效率，同时一般的夹具调节不便，不便于对不同规格大小的基板进行夹持，同时移动不便。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是一般的基板溅射夹具可同时夹持的基板数量少，不能夹持多个基板，影响加工效率，同时一般的夹具调节不便，不便于对不同规格大小的基板进行夹持，同时移动不便，为此提供一种夹持多个基板的基板溅射夹具。
5.本实用新型解决技术问题采用的技术方案是：一种夹持多个基板的基板溅射夹具，其包括：工作台，所述工作台上开凿设有滑槽，所述工作台上的滑槽内滑动连接有固定柱，所述固定柱的顶部内滑动连接有连接柱，所述连接柱的顶部转动连接有顶板，所述固定柱的底部转动连接有底板。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑槽的一端内固定连接有一号电动伸缩杆，所述一号电动伸缩杆的一端与固定柱的一侧固定连接，所述固定柱的顶部内固定连接有二号电动伸缩杆，所述二号电动伸缩杆的顶部插接在连接柱内且与连接柱固定连接。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底板的四边内部均滑动连接有滑板，所述底板的四边与滑板的一端均固定连接有固定块，所述底板与滑板上均固定连接有防护垫。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述顶板的四边内部均滑动连接有延伸板，所述顶板与延伸板的底部均固定连接有防滑垫，所述顶板的底部四边均滑动连接有伸缩板，所述伸缩板之间相互匹配对应。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接柱的顶部内固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿连接柱的顶部且与顶板固定连接，所述顶板与底板之间相互匹配。
10.本实用新型具有以下优点：通过固定连接在连接柱顶部内的电机，控制顶板在连接柱的顶部转动，从而对基板进行夹持固定时，便于调节夹持的基板的方向，一次溅射对多个基板进行加工，提高加工效率，不需要频繁拆卸，降低劳动强度，更加方便；通过固定连接在滑槽内的一号电动伸缩杆，控制固定柱在滑槽内进行移动，从而便于对基板进行加工时的溅射距离进行调整，提升基板表面覆膜的加工效果；通过固定连接在固定柱顶部内的二号电动伸缩杆，控制连接柱在固定柱内进行滑动，从而调节顶板与底板之间的距离，从而便
于对不同规格的基板进行夹持固定，便于对不同规格的基板进行加工，提升加工效率；通过滑动连接在底板四边内部的滑板，配合顶板上的延伸板，提升夹持装置的夹持范围，增加整个装置所能夹持基板的规格数量。
附图说明
11.图1是本实用新型一优选实施例的正面立体的结构示意图；
12.图2是本实用新型一优选实施例的正面剖视的结构示意图；
13.图3是本实用新型一优选实施例的a处放大的结构示意图。
14.附图标记说明：1、工作台；2、滑槽；3、固定柱；4、连接柱；5、一号电动伸缩杆；6、底板；7、防护垫；8、滑板；9、二号电动伸缩杆；10、电机；11、顶板；12、延伸板；13、伸缩板；14、固定块；15、防滑垫。
具体实施方式
15.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
17.下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
18.现有技术中，一般的基板溅射夹具可同时夹持的基板数量少，不能夹持多个基板，影响加工效率，同时一般的夹具调节不便，不便于对不同规格大小的基板进行夹持，同时移动不便。
19.实施例一
20.请结合参阅图1
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3，一种夹持多个基板的基板溅射夹具，包括工作台1，工作台1上开凿设有滑槽2，工作台1上的滑槽2内滑动连接有固定柱3，固定柱3的顶部内滑动连接有连接柱4，连接柱4的顶部转动连接有顶板11，固定柱3的底部转动连接有底板6。
21.具体的，连接柱4的顶部内固定连接有电机10，电机10的输出端贯穿连接柱4的顶部且与顶板11固定连接，顶板11与底板6之间相互匹配，通过固定连接在连接柱4顶部内的电机10，控制顶板11在连接柱4的顶部转动，从而对基板进行夹持固定时，便于调节夹持的基板的方向，一次溅射对多个基板进行加工，提高加工效率，不需要频繁拆卸，降低劳动强度，更加方便，滑槽2的一端内固定连接有一号电动伸缩杆5，一号电动伸缩杆5的一端与固定柱3的一侧固定连接，固定柱3的顶部内固定连接有二号电动伸缩杆9，二号电动伸缩杆9的顶部插接在连接柱4内且与连接柱4固定连接，通过固定连接在滑槽2内的一号电动伸缩
杆5，控制固定柱3在滑槽2内进行移动，从而便于对基板进行加工时的溅射距离进行调整，提升基板表面覆膜的加工效果，顶板11的四边内部均滑动连接有延伸板12，顶板11与延伸板12的底部均固定连接有防滑垫15，顶板11的底部四边均滑动连接有伸缩板13，伸缩板13之间相互匹配对应，通过滑动连接在顶板11四边的延伸板12，进一步的提升顶板11的夹持范围，便于对更多不同规格的基板进行夹持固定，通过固定连接在顶板11与延伸板12底部的防滑垫15，对夹持的基板进行防滑处理，避免在连接柱4转动时，基板滑落，底板6的四边内部均滑动连接有滑板8，底板6的四边与滑板8的一端均固定连接有固定块14，底板6与滑板8上均固定连接有防护垫7，通过滑动连接在底板6四边内部的滑板8，配合顶板11上的延伸板12，提升夹持装置的夹持范围，增加整个装置所能夹持基板的规格数量，同时通过固定连接在底板6四边与滑板8一端的固定块14，对夹持的基板进行限位固定，避免基板滑落，同时通过防护垫7对夹持的基板进行防护。
22.实施例二
23.实施例一中顶板11与底板6之间所能夹持的基板规格固定，不能对不同规格大小的基板进行夹持固定，不利于对多种规格夹板进行加工，参照图2，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，通过固定连接在固定柱3顶部内的二号电动伸缩杆9，控制连接柱4在固定柱3内进行滑动，从而调节顶板11与底板6之间的距离，从而便于对不同规格的基板进行夹持固定，便于对不同规格的基板进行加工，提升加工效率。
24.实施例三
25.实施例一中对通过顶板11与底板6夹持的基板在进行加工时，对于固定柱3与连接柱4没有进行防护，在长期的加工过程中，会对固定柱3与连接柱4的运转造成损伤，降低其使用寿命，增加成本，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，通过滑动连接在顶板11底部四边的伸缩板13，对固定柱3与连接柱4进行防护，避免加工时对其造成损伤，影响其使用寿命，同时伸缩板13滑动连接在顶板11底部，不影响对基板的夹持固定。
26.以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
27.本实用新型中其他未详述部分均属于现有技术，故在此不再赘述。
28.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。