一种曝光机吸附结构及曝光机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种曝光机吸附结构及曝光机。


背景技术：

2.曝光机中的吸附装置多采用钢珠式单向阀，钢珠式单向阀的主要作用是防止介质倒流。因为光刻胶(pr)挥发气体或玻璃碎片存在沾粘在单向阀中的内壁上的概率，这会导致钢珠式单向阀中的钢珠在不工作时，钢珠会堵塞在单向阀中的内壁，进而导致机台频繁宕机、误报等问题。


技术实现要素：

3.为此，需要提供一种曝光机吸附结构及曝光机，解决钢珠会堵塞在单向阀中的内壁并使得曝光机宕机的问题。
4.为实现上述目的，本实施例提供了一种曝光机吸附结构，包括固定座、钢珠式单向阀和抽真空机；
5.所述抽真空机设置在所述固定座内或者所述固定座的一侧，所述钢珠式单向阀设置在所述固定座中，所述抽真空机通过第一气管和钢珠式单向阀的输出端连接，所述输出端位于钢珠式单向阀的下部分，所述钢珠式单向阀的输入端和所述输出端相连通的通道为上下走向，使得钢珠式单向阀中的钢珠在不工作时依靠重力而下落。
6.进一步地，所述钢珠式单向阀的输入端和所述输出端相连通的通道垂直于水平面。
7.进一步地，所述钢珠式单向阀通过螺栓设置在所述固定座上。
8.进一步地，所述钢珠式单向阀为多个，多个的钢珠式单向阀具有间隔；
9.所述第一气管为多个，每个珠式单向阀的输出端均通过一个第一气管和所述抽真空机连接。
10.进一步地，所述钢珠式单向阀的数量为六，六个的钢珠式单向阀均垂直于水平面。
11.进一步地，多个的第一气管的中部连通到一起。
12.进一步地，所述输入端连接第二气管，所述抽真空机通过钢珠式单向阀和第二气管来吸附物体。
13.进一步地，还包括氮气输入装置，所述氮气输入装置的输出端连接所述第一气管。
14.本实施例还提供一种曝光机，包括上述任意一项实施例所述的曝光机吸附结构。
15.区别于现有技术，上述技术方案中钢珠式单向阀在未工作时，钢珠式单向阀中的钢珠在重力的影响下自然下落，减少单向阀堵塞的概率，减少真空吸附异常的概率，减少工作人员检修，提高设备的稼动率，进而提高产品的产量和良率。
附图说明
16.图1为本实施例所述曝光机吸附结构的结构示意图。
17.附图标记说明：
18.1、固定座；
19.2、钢珠式单向阀；
20.21、钢珠；
21.3、第一气管；
22.4、第二气管；
23.5、抽真空机。
具体实施方式
24.为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。
25.请参阅图1，本实施例提供一种曝光机吸附结构，包括固定座1、钢珠式单向阀2和抽真空机5。所述抽真空机5设置在所述固定座1内或者固定座1的一侧，所述钢珠式单向阀2设置在所述固定座1中。所述抽真空机5通过第一气管3和钢珠式单向阀2的输出端连接，所述第一气管3置于固定座1中，所述输出端位于钢珠式单向阀2的下部分。所述输入端位于钢珠式单向阀2的上部分，所述钢珠式单向阀2的输入端和所述输出端相连通的通道为上下走向。
26.上述技术方案中钢珠式单向阀在未工作时，钢珠式单向阀中的钢珠在重力的影响下自然下落，减少单向阀堵塞的概率，减少真空吸附异常的概率，减少工作人员检修，提高设备的稼动率，进而提高产品的产量和良率。
27.需要说明的是，所述钢珠式单向阀的输入端和所述输出端相连通的通道为上下走向指的是钢珠式单向阀为倾斜水平面设置，使得钢珠式单向阀中的钢珠在不工作时可以跟随重力和倾斜的通道而落下。在优选的实施例中，所述钢珠式单向阀的输入端和所述输出端相连通的通道垂直于水平面，钢珠式单向阀是竖直摆放，使得钢珠式单向阀中的钢珠易于落下。
28.因为光刻胶(pr)挥发气体或玻璃碎片沾粘在单向阀中的内壁上，当钢珠式单向阀为水平设置，钢珠式单向阀的输入端和所述输出端相连通的通道也是平行于水平面，那么钢珠存在一定堵塞在单向阀上的可能性，导致机台频繁宕机、误报等问题。
29.在本实施例中，为了进一步让钢珠不易于堵塞在单向阀内，还包括震动装置，附图未展示震动装置的结构。所述震动装置的驱动力可以来源于震动马达，震动马达的马达轴上面有一个偏心轮，当马达转动的时候，偏心轮的圆心质点不在电机的转心上，使得马达处于不断的失去平衡状态，由于惯性作用引起震动。
30.所述震动装置可以设置在固定座上，震动装置通过震动固定座来摇落钢珠式单向阀2中的钢珠21，或者所述震动装置贴合钢珠式单向阀2的外侧壁，震动装置直接作用于钢珠式单向阀2并使得钢珠21下落，避免钢珠21堵塞在内壁上而造成机台频繁宕机等问题。
31.需要说明的是，固定座还包括固定板，钢珠式单向阀可以专门设置在固定板上，而后震动装置来震动固定板，这样可以避免其他的部件受震动的影响。
32.在本实施例中，所述钢珠式单向阀通过螺栓设置在所述固定座上；或者：所述钢珠式单向阀通过卡扣设置在所述固定座上。
33.在本实施例中，所述钢珠式单向阀为多个，多个的钢珠式单向阀具有间隔；所述第一气管3为多个，每个珠式单向阀的输出端均通过一个第一气管3和所述抽真空机5连接。
34.需要说明的是，钢珠式单向阀的数量为1、2、3、4、5、6、7、8、9、10等任意数值，具体视曝光机的规格而定。例如，所述钢珠式单向阀的数量为六，六个的钢珠式单向阀均垂直于水平面，结构如图1所示。
35.在本实施例中，所述输入端连接第二气管4，所述第二气管4用于接触待吸附物体，待吸附物体可以为基板、掩膜版等。所述抽真空机5通过钢珠式单向阀2和第二气管4来吸附基板等物体。将第二气管4置于固定座内，第二气管4连通固定座上固定物体的承载面，将基板等物体放置在固定座上的承载面，而后抽真空机5通过第二气管4来吸附这些物体。
36.在本实施例中，多个的第一气管3的中部连通到一起，使得第一气管3中的气体可以汇流到一起。需要说明的是，第二气管4的中部连通到一起，使得第二气管4中的气体可以汇流到一起。
37.在本实施例中，为了消除保证真空顺利进行，消除具有爆炸可能的一氧化碳与氧气的混合气体的可能性，进而防止爆炸，还包括氮气输入装置。所述氮气输入装置的输出端连接第一气管。氮气是惰性气体，不会与物料发生反应，同时防止了外部气体进入，氮气使得之后抽真空机可以排尽氧气，又提供较好的安全性。
38.本实施例还提供一种曝光机，所述曝光机包括上述任意一项实施例所述的曝光机吸附结构，曝光机吸附结构如图1所示。曝光机是指通过开启灯光发出uva波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。
39.需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。