本技术属于晶圆面型干涉检测的，具体地说是一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置。
背景技术：
1、晶圆是芯片的载体，是制造集成电路的基础元件。晶圆在经历热固化、热回流等过程后易在内部积累较大的应力，宏观上表现为晶圆翘曲，晶圆的翘曲主要体现在晶圆总厚度变化、弯曲度和翘曲度等几何形貌参数上，晶圆的几何形貌误差是反应晶圆质量的重要指标，直接影响后续工序的工艺效果，因此，在晶圆进入到下一步工序前需要对其几何形貌参数进行高精度检测。
2、在两台干涉仪中间放置双面抛光晶圆，采用两台干涉仪同时分别测量双面抛光晶圆的前后表面获得两组面形分布数据、再结合两台干涉仪的空腔互测数据，对三组面形数据进行组合计算，是获得晶圆总厚度变化、弯曲度和翘曲度的高精度测量方法。
3、在组合运算中，两台测量干涉仪测量面形数据之间的映射误差，是组合计算结果误差的重要来源，两台测量干涉仪测量面形数据之间的映射误差主要来自两台干涉仪相互之间的对准误差以及各自的成像畸变，在使用时，测量存在误差，影响测量结果，因此，针对上述问题，提出一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术的不足，本实用新型提出一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，用于测量系统的检验与校准，通过误差分析，完成对双面抛光晶圆测量干涉仪系统的误差补偿，可以保障系统高精度测量结果的准确性，且便捷高效。
2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，包括透明亚克力板、晶圆测量干涉仪，其中：
3、两个晶圆测量干涉仪之间设置有二维角度调整架。
4、所述二维角度调整架内设置有外框，所述外框的内部设置有台阶状环形安装槽。
5、所述透明亚克力板安装在安装槽内，用于对透明亚克力板固定的压圈紧贴透明亚克力板设置，通过压圈能够对透明亚克力板进行固定，在安装槽的槽壁配合下，保证透明亚克力板准确固定。
6、所述透明亚克力板上刻蚀有映射校准关系的校准槽，所述校准槽包括由外到内依次刻蚀的第一圆凹槽、第二圆凹槽、第三圆凹槽、第四圆凹槽、第五圆凹槽和同心圆心槽。
7、优选的，所述第一圆凹槽、第二圆凹槽、第三圆凹槽、第四圆凹槽、第五圆凹槽和同心圆心槽为同心结构。
8、优选的，所述透明亚克力板的表面设置有四条八等分圆的直线凹槽，四条八等分圆的直线凹槽均穿过透明亚克力板的圆心，且每两条相邻的八等分圆的直线凹槽之间的夹角相同。
9、优选的，所述第一圆凹槽、第二圆凹槽、第三圆凹槽、第四圆凹槽、第五圆凹槽、同心圆心槽和八等分圆的直线凹槽的凹槽刻线宽度小于0.1mm。
10、优选的，所述透明亚克力板的外侧面上旋转安装有销钉，用于将外框和双面抛光晶圆测量干涉仪系统中的二维角度调整架固定相连。
11、优选的，所述外框的最内侧口径大于6英寸，所述透明亚克力板的厚度为2mm，能够保证透明亚克力板的准确安装，透明亚克力板安装后，圆心与外框的圆心在同一点上，保证校准的准确。
12、优选的，所述第一圆凹槽的直径为6英寸，第二圆凹槽的直径为4.8英寸，第三圆凹槽的直径为3.6英寸，第四圆凹槽的直径为2.4英寸，第五圆凹槽的直径为1.2英寸，通过设置有多个圈层和等分槽，能够通过畸变数据，获得面形之间的映射关系，实现更准确的校准。
13、本实用新型的有益之处在于：
14、本实用通过两台晶圆测量干涉仪分别对校准槽结构进行成像，获得每台干涉仪各自的成像畸变。通过分析两台晶圆测量干涉仪之间的空间位置关系和各自的成像畸变，最终获得两台晶圆测量干涉仪测得的面形数据之间的映射关系，实现映射校准，双面抛光晶圆面形的干涉测量时，通过本装置，实现对双面抛光晶圆测量干涉系统的检验与校准，消除映射误差对晶圆形貌参数的影响，为高精度一次性获得晶圆的全表面形貌和相关参数信息，提供了实物载体，便捷高效。
1.一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，其特征在于：包括透明亚克力板（4）、晶圆测量干涉仪（12），其中：
2.根据权利要求1所述的一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，其特征在于：所述第一圆凹槽（5）、第二圆凹槽（6）、第三圆凹槽（7）、第四圆凹槽（8）、第五圆凹槽（9）和同心圆心槽（10）为同心结构。
3.根据权利要求2所述的一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，其特征在于：所述透明亚克力板（4）的表面设置有四条八等分圆的直线凹槽（11），四条八等分圆的直线凹槽（11）均穿过透明亚克力板（4）的圆心，且每两条相邻的八等分圆的直线凹槽（11）之间的夹角相同。
4.根据权利要求3所述的一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，其特征在于：所述第一圆凹槽（5）、第二圆凹槽（6）、第三圆凹槽（7）、第四圆凹槽（8）、第五圆凹槽（9）、同心圆心槽（10）和八等分圆的直线凹槽（11）的凹槽刻线宽度小于0.1mm。
5.根据权利要求4所述的一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，其特征在于：所述透明亚克力板（4）的外侧面上旋转安装有销钉（3）。
6.根据权利要求5所述的一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，其特征在于：所述外框（1）的最内侧口径大于6英寸，所述透明亚克力板（4）的厚度为2mm。
7.根据权利要求6所述的一种用于双面抛光晶圆测量干涉仪的映射校准装置，其特征在于：所述第一圆凹槽（5）的直径为6英寸，第二圆凹槽（6）的直径为4.8英寸，第三圆凹槽（7）的直径为3.6英寸，第四圆凹槽（8）的直径为2.4英寸，第五圆凹槽（9）的直径为1.2英寸。
