本技术涉及薄膜封装领域，具体涉及一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线。
背景技术：
1、在先进封装中，通常采用硅化物或者聚酰亚胺薄膜作为绝缘层。但复杂的封装工艺需要多层绝缘层进行堆叠。
2、pi薄膜(polyimide聚酰亚胺薄膜)之间除rdl(redistribution layer重布线层)外其余面积均为互相接触区域，当表层pi薄膜在生产过程中出现涂布不均、显影不净等异常时，需要进行rework流程。目前常规的rework流程为wafer浸泡在去胶溶液中，经过加热超声措施使得光阻薄膜溶解脱落，底层pi薄膜虽然经过烘烤固化，但仍会受去胶液的影响，表面易出现皲裂，pvd(physical vapor deposition物理气象沉积)镀膜后存在短路风险。因此，本领域技术人员提供了一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线，以解决上述背景技术中提出的问题。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线，包括下层pi薄膜涂布设备、sinx薄膜沉积设备、上层pi薄膜涂布设备，所述sinx薄膜沉积设备位于下层pi薄膜涂布设备与上层pi薄膜涂布设备之间，sinx薄膜沉积设备与下层pi薄膜涂布设备内部插入安装有输送台一，上层pi薄膜涂布设备内部插入安装有输送台二；
2、所述输送台一一侧安装有输送带一，输送台二一侧安装有输送带二，输送带一一端固定连接有带轮一，输送带二一端固定连接有带轮二，输送台一一侧位于带轮一与带轮二之间上下滑动连接有活动架，活动架上转动连接有带轮三，带轮一、带轮二与带轮三外侧安装有同一皮带，活动架下端螺纹连接有调节螺栓，调节螺栓上端与输送台一一侧下端转动连接，输送台二一侧固定安装有电机，电机与带轮二固定连接。
3、优选的：所述输送台二上端一侧固定连接有插槽，插槽内部插入有搬运架。
4、优选的：所述搬运架一侧设有开口，搬运架两侧下端插入有限位销。
5、优选的：所述输送带一与输送带二一侧均安装有多个推动杆，输送台一与输送台二内部放置有托盘，托盘下端前后侧均固定连接有支腿。
6、优选的：所述托盘上开设有多个凹槽。
7、优选的：所述输送台一与输送台二截面图形相同。
8、本实用新型的技术效果和优点：
9、1、本实用新型采用在pi薄膜之间通过pecvd(离子体增强化学气相沉积)方式沉积sinx薄膜，sinx薄膜具有良好的化学稳定性及热稳定性，可以作为保护层和钝化层。底层pi薄膜在sinx薄膜的保护下不会再受去胶液的影响出现缺陷。
10、2、本实用新型通过设计有输送台一与输送台二，在正常的生产工艺中可通过输送台二上的电机转动带动输送台一上的输送带一运转，实现输送带一与输送带二的正常运转，同时，在重工的工艺过程中，可通过转动调节螺栓从而使得带轮三下降，从而可使得带轮三外侧的皮带方便脱下(松动)，从而电机转动只能带动输送台二上的输送带二单独运转，避免重工工艺中输送台一继续工作导致资源浪费。
1.一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线，包括下层pi薄膜涂布设备(1)、sinx薄膜沉积设备(2)、上层pi薄膜涂布设备(3)，其特征在于，所述sinx薄膜沉积设备(2)位于下层pi薄膜涂布设备(1)与上层pi薄膜涂布设备(3)之间，sinx薄膜沉积设备(2)与下层pi薄膜涂布设备(1)内部插入安装有输送台一(4)，上层pi薄膜涂布设备(3)内部插入安装有输送台二(5)；
2.根据权利要求1所述的一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线，其特征在于，所述输送台二(5)上端一侧固定连接有插槽(14)，插槽(14)内部插入有搬运架(17)。
3.根据权利要求2所述的一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线，其特征在于，所述搬运架(17)一侧设有开口，搬运架(17)两侧下端插入有限位销。
4.根据权利要求1所述的一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线，其特征在于，所述输送带一(6)与输送带二(7)一侧均安装有多个推动杆(16)，输送台一(4)与输送台二(5)内部放置有托盘(15)，托盘(15)下端前后侧均固定连接有支腿。
5.根据权利要求4所述的一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线，其特征在于，所述托盘(15)上开设有多个凹槽。
6.根据权利要求1所述的一种关于聚酰亚胺光阻薄膜重工的改善生产流水线，其特征在于，所述输送台一(4)与输送台二(5)截面图形相同。
