筛选方法、筛选装置、筛选设备及计算机可读存储介质与流程

专利检索2026-07-30  27


本申请涉及器件筛选,特别涉及一种筛选方法、筛选装置、筛选设备及非易失性计算机可读存储介质。


背景技术:

1、cp(chip probing)指的是晶圆测试,在晶圆制造完成后,基于晶圆进行芯片制造,在封装之前我们需要对晶圆进行cp测试,从而排除出不合格的芯粒,合格的芯片需要进行后续封装。晶圆制造完成后,由于晶圆质量以及制造工艺等原因,晶圆上分布的裸芯会有一定的残次品。因此,在cp测试后,芯片封装前,将不合格的芯片剔除,能够有效的降低成本以及降低后续器件测试方面的工作量。一般cp测试中有着上下极限范围的卡控,常见的测试参数如阈值电压,击穿电压,栅源漏电流等超出极限值的范围则会被判定为失效。但是从实际的电学性能数据分布来看,有些器件电学性能参数虽然没有超出极限值,但是明显和周围数值有着较大的区别,这些数值离群点已经在实践中被证明了出现可靠性问题的概率远超一般的器件。但显然cp测试过程中的性能卡控不能有效筛选这些离群点,因此如何能够对离群点进行有效地剔除,以降低芯片的可靠性隐患和成本成为亟需解决的问题。


技术实现思路

1、本申请实施方式提供了一种筛选方法、筛选装置、筛选设备及非易失性计算机可读存储介质。

2、本申请实施例提供一种筛选方法。所述筛选方法包括获取待测件的各个器件的性能参数;根据全局筛选阈值和各个所述器件的性能参数对各个所述器件进行筛选,以获取多个中间器件,所述全局筛选阈值根据各个所述器件的性能参数确定;根据局部筛选阈值和当前中间器件的性能参数确定当前中间器件是否为目标器件,所述局部筛选阈值根据所述当前中间器件及所述当前中间器件的邻近中间器件的性能参数确定,所述当前中间器件为任一所述中间器件。

3、本申请实施方式提供一种筛选装置。所述筛选装置包括获取模块、全局筛选模块,及局部筛选模块。所述获取模块用于获取待测件的各个器件的性能参数。所述全局筛选模块用于根据全局筛选阈值和各个所述器件的性能参数对各个所述器件进行筛选,以获取多个中间器件,所述全局筛选阈值根据各个所述器件的性能参数确定。所述局部筛选模块用于根据局部筛选阈值和当前中间器件的性能参数确定当前中间器件是否为目标器件,所述局部筛选阈值根据所述当前中间器件及所述当前中间器件的邻近中间器件的性能参数确定,所述当前中间器件为任一所述中间器件。

4、本申请实施方式提供一种筛选设备,所述筛选设备包括性能参数检测装置及处理器。所述性能参数检测装置用于检测待测件的器件的性能参数;所述处理器用于执行筛选方法。所述筛选方法包括获取待测件的各个器件的性能参数;根据全局筛选阈值和各个所述器件的性能参数对各个所述器件进行筛选,以获取多个中间器件,所述全局筛选阈值根据各个所述器件的性能参数确定;根据局部筛选阈值和当前中间器件的性能参数确定当前中间器件是否为目标器件,所述局部筛选阈值根据所述当前中间器件及所述当前中间器件的邻近中间器件的性能参数确定,所述当前中间器件为任一所述中间器件。

5、本申请实施方式提供一种非易失性计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序。该计算机程序被处理器执行时实现筛选方法。所述筛选方法包括获取待测件的各个器件的性能参数;根据全局筛选阈值和各个所述器件的性能参数对各个所述器件进行筛选,以获取多个中间器件,所述全局筛选阈值根据各个所述器件的性能参数确定;根据局部筛选阈值和当前中间器件的性能参数确定当前中间器件是否为目标器件,所述局部筛选阈值根据所述当前中间器件及所述当前中间器件的邻近中间器件的性能参数确定,所述当前中间器件为任一所述中间器件。

6、本申请中筛选方法、筛选装置、筛选设备及非易失性计算机可读存储介质中,可根据各个器件的性能参数确定全局筛选阈值,使得全局筛选阈值可表征待测件上的大部分器件的性能参数的分布情况。在获取待测件的各个器件的性能参数后,可根据全局筛选阈值和各个器件的性能参数对各个器件进行全局筛选,以排除全局离群点,即排查出在全部器件中,性能参数与大部分器件的性能参数差异过大的器件,并将性能参数与大部分器件的性能参数差异不过过大的器件确认为中间器件。然后,根据当前中间器件及当前中间器件的邻近中间器件的性能参数确定局部筛选阈值,使得局部筛选阈值可用于表征当前中间器件及当前中间器件的邻近中间器件中,大部分中间器件的性能参数的分布情况,其中当前中间器件为任一中间器件。接着,便可根据局部筛选阈值对当前中间器件进行局部筛选,以判断当前中间器件是否为离群点,从而确定当前中间器件是否为目标器件。如此,在进行全局筛选和局部筛选后,可依次排查出全局离群点和局部离群点,使得可准确地找出性能参数与待测件上的大部分器件的性能参数相差较远的器件,特别是可有效地找出没有超出极限值,但又和周围数据有较大区别的离群点,以确保最终确定的目标器件的性能参数能够较符合要求,从而降低目标器件的可靠性隐患和成本。

7、本申请实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本申请的实践了解到。



技术特征:

1.一种筛选方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的筛选方法,其特征在于,所述全局筛选阈值包括第一均值,所述根据全局筛选阈值和各个所述器件的性能参数对各个所述器件进行筛选,以获取多个中间器件,包括:

3.根据权利要求1或2所述的筛选方法,其特征在于,所述全局筛选阈值包括第一均值及第一标准方差,所述根据全局筛选阈值和各个所述器件的性能参数对各个所述器件进行筛选,以获取多个中间器件,包括:

4.根据权利要求1所述的筛选方法,其特征在于,所述局部筛选阈值包括第二均值,所述根据局部筛选阈值和当前中间器件的性能参数确定当前中间器件是否为目标器件,包括:

5.根据权利要求1或4所述的筛选方法,其特征在于,所述局部筛选阈值包括第二均值及第二标准方差,所述根据局部筛选阈值和当前中间器件的性能参数确定当前中间器件是否为目标器件,包括:

6.根据权利要求4所述的筛选方法,其特征在于,所述根据局部筛选阈值和当前中间器件的性能参数确定当前中间器件是否为目标器件,还包括:

7.根据权利要求6所述的筛选方法,其特征在于,所述根据邻近参数及所述中间器件,确定所述当前中间器件的邻近范围包括:

8.根据权利要求1所述的筛选方法,其特征在于,所述性能参数包括栅极漏电流、源漏漏电流、击穿电压或导通电阻中至少一者。

9.根据权利要求8所述的筛选方法,其特征在于,在所述器件的任意一个性能参数表征器件失效的情况下,确定所述器件失效。

10.一种筛选装置,其特征在于,包括:

11.一种筛选设备,其特征在于,包括:

12.一种计算机程序的非易失性计算机可读存储介质,其特征在于,当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时,实现权利要求1-9任一项所述的筛选方法。


技术总结
本申请中筛选方法、筛选装置、筛选设备及非易失性计算机可读存储介质中,方法包括:获取待测件的各个器件的性能参数;根据全局筛选阈值和各个器件的性能参数对各个器件进行筛选,以获取多个中间器件,全局筛选阈值根据各个器件的性能参数确定;根据局部筛选阈值和当前中间器件的性能参数确定当前中间器件是否为目标器件,局部筛选阈值根据当前中间器件及当前中间器件的邻近中间器件的性能参数确定,当前中间器件为任一中间器件。如此,可依次排查出全局离群点和局部离群点,可有效地找出没有超出极限值,但又和周围数据有较大区别的离群点,以确保最终确定的目标器件的性能参数能够较符合要求,从而降低目标器件的可靠性隐患和成本。

技术研发人员:魏林程,倪炜江,郝志杰,杨皓宇
受保护的技术使用者:安徽芯塔电子科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/5/29
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