本发明涉及真空泵及用于该真空泵的隔热部件，特别地，涉及能够在从低真空至超高真空的压力范围中利用的真空泵及用于该真空泵的隔热部件。
背景技术：
1、制造存储器、集成电路等的半导体装置时，为了避免空气中的灰尘等带来的影响，需要在高真空状态的腔内对高纯度的半导体基板(晶片)进行掺杂、蚀刻，例如涡轮分子等真空泵被用于腔内的排气。
2、作为这样的真空泵，已知具备圆筒状的壳、嵌套固定在壳内且配设有螺纹槽的圆筒状的定子、能够高速旋转地被支承于定子内的转子的真空泵等。
3、真空泵中，有时由于从壳的吸气口抽吸的气体而在泵内部(壳内部)压缩的过程中从气体向固体发生相变而在泵内部固化。结果，有时固化物堆积于泵内部而发生气体流路闭塞那样的不良。
4、作为解决该不良情况的方法，以往已知若加热真空泵而提高温度则能够防止固化。然而，若在不掌握内部的温度状态的情况下将泵加热，则有不意欲加热的部位的温度成为超过适当温度的温度、即陷入过热状态的可能性。因此，已知在意欲加热的部分和非意欲加热的部分之间设置隔热件而仅选择性地加热意欲加热的部分的技术(参照专利文献1)。
5、专利文献1：日本特开2015-151932号公报。
6、发明所要解决的课题
7、然而，专利文献1中记载的发明为了提高隔热部的隔热效果，需要减少隔热部的壁厚而减少截面积。但是，若减少截面积则隔热部的刚性下降。并且，由于刚性变低而有以下问题。
8、(1)压弯的风险增加。
9、(2)固有振动频率下降，发生共振。
10、(2)由于来自外部的冲击等而变形，旋转部与固定部接触而成为故障的原因。
11、(3)加工中容易产生应变，加工困难因而成本增加。
12、因此，若考虑这些问题，则隔热部为壁厚较厚且较长的零件，也会有空间上的限制。因此，难以得到必要且充分的隔热效果。
技术实现思路
1、因此，产生为了提供提高隔热部的刚性和隔热效果、容易按照目标管理泵内部的构成零件的温度的真空泵及用于该真空泵的隔热部件而应解决的技术课题，本发明的目的在于解决该课题。
2、本发明是为了实现上述目的而被提出的，技术方案1中记载的发明提供一种真空泵，其具备加热功能或冷却功能的至少一方，其中，具备隔热部，前述隔热部配设于被加热或冷却的被调温零件，呈沿轴向或半径方向形成为空腔的中空构造。
3、根据该结构，作为零件的一部分的隔热部为中空构造，所以隔热部的截面二次力矩增加，由此刚性提高。因此，即使隔热部的截面积相同，刚性及隔热效果均提高，容易按照目标管理真空泵内部的构成零件的温度。即，能够选择性地仅加热或冷却下游侧的流路等必要的零件。
4、技术方案2中记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1中记载的结构中，从开口方向观察时，前述空腔形成为大致三角形形状。
5、根据该结构，若从开口方向观察空腔的孔形状为大致三角的孔形状，则隔热部的刚性提高，此外也容易形成隔热部。由此，能够抑制成本而提高隔热效果。
6、技术方案3中记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1中记载的结构中，从开口方向观察时，前述空腔形成为大致平行四边形形状。
7、根据该结构，若从开口方向观察空腔的孔形状而形成为大致平行四边形形状，则即使选择性地降低半径方向的刚性而内侧的零件发生热膨胀，大致平行四边形的部分也能够变形而缓和负荷。
8、技术方案4中记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1至3中任一项中记载的结构中，前述空腔的至少一部分被封堵。
9、根据该结构，通过封堵空腔的至少一部分，与空腔是通孔的情况相比，刚性进一步提高。
10、技术方案5中记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1至4中任一项中记载的结构中，还具备涡轮分子泵机构，前述涡轮分子泵机构具备旋转体和多个固定翼，前述旋转体具有沿轴向多层状地排列的多个旋转翼，前述多个固定翼配设在前述多个旋转翼间，前述被调温零件是前述多个固定翼中的至少一个固定翼，前述隔热部配设于前述固定翼的支承部。
11、根据该结构，涡轮分子泵机构具备旋转体和多个固定翼，前述旋转体具有沿轴向多层状地排列的多个旋转翼，前述多个固定翼配设在前述多个旋转翼间，在前述涡轮分子泵机构中，将为中空构造的隔热部作为间隔件设置于固定翼的支承部，所以涡轮分子泵机构中的截面二次力矩增加。由此，马达整体的刚性及隔热效果均提高，容易按照目标管理真空泵内部的构成零件的温度。结果，能够选择性地仅加热或冷却下游侧的流路等必要的零件。
12、技术方案6中记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1至5中任一项中记载的结构中，还具备霍尔威克型泵机构，前述霍尔威克型泵机构在半径方向上彼此相向的旋转圆筒的外周面和固定圆筒的内周面的至少一面上形成有螺纹槽，前述被调温零件是前述固定圆筒，前述隔热部配设于前述固定圆筒的支承部。
13、根据该结构，真空泵具备霍尔威克型泵机构，前述霍尔威克型泵机构在半径方向上彼此相向的旋转圆筒的内周面和固定圆筒的外周面的至少一面上形成有螺纹槽，在前述真空泵中，将为中空构造的隔热部作为间隔件设置于固定圆筒的支承部，所以霍尔威克型泵机构中的截面二次力矩增加。由此，泵整体的刚性及隔热效果均提高，容易按照目标管理真空泵内部的构成零件的温度。结果，能够选择性地仅加热或冷却下游侧的流路等必要的零件。
14、技术方案7中记载的发明提供一种真空泵，在技术方案1至6中任一项中记载的结构中，还具备西格巴恩型泵机构，前述西格巴恩型泵机构具有在轴向上彼此相向的旋转圆板和固定圆板，在与前述旋转圆板相向的前述固定圆板的至少一面形成具有涡旋状山部和涡旋状谷部的涡旋状槽，前述被调温零件是前述固定圆板，前述隔热部配设于前述固定圆板的支承部。
15、根据该结构，真空泵具备西格巴恩型泵机构，前述西格巴恩型泵机构具有在轴向上彼此相向的旋转圆板和固定圆板，在与旋转圆板相向的固定圆板的至少一面形成具有涡旋状山部和涡旋状谷部的涡旋状槽，在前述真空泵中，将为中空构造的隔热部作为间隔件设置于固定圆筒的支承部，所以西格巴恩型泵机构的截面二次力矩增加。由此，泵整体的刚性及隔热效果均提高，容易按照目标管理真空泵内部的构成零件的温度。结果，能够选择性地仅加热或冷却下游侧的流路等必要的零件。
16、技术方案8中记载的发明提供一种隔热部件，用于具备加热功能或冷却功能的至少一方的真空泵，配设于被加热或冷却的被调温零件，呈沿轴向或半径方向形成为空腔的中空构造。
17、根据该结构，将呈沿轴向或半径方向形成为空腔的中空构造的隔热部件用于真空泵，从而隔热部的截面二次力矩增加，刚性提高。由此，泵整体的刚性及隔热效果均提高，容易按照目标管理真空泵内部的构成零件的温度。结果，能够选择性地仅加热或冷却下游侧的流路等必要的零件。
18、发明效果
19、根据本发明，作为零件的一部分的隔热部为中空构造，所以隔热部的截面二次力矩增加，由此刚性提高。因此，即使隔热部的截面积相同，刚性及隔热效果也均提高，容易按照目标管理真空泵内部的构成零件的温度。结果，能够选择性地仅加热或冷却下游侧的流路等必要的零件。由此，在需要加热的情况下，能够加热泵的真正需要的部分(部位)，防止反应生成物的堆积。相反地，在需要冷却的情况，能够冷却泵的真正需要的部分(部位)，防止泵的加热。
1.一种真空泵，具备加热功能或冷却功能的至少一方，其特征在于，
2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
3.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，
5.如权利要求1至4中任一项所述的真空泵，其特征在于，
6.如权利要求1至5中任一项所述的真空泵，其特征在于，
7.如权利要求1至6中任一项所述的真空泵，其特征在于，
8.一种隔热部件，用于具备加热功能或冷却功能的至少一方的真空泵，其特征在于，
