本发明涉及一种基板装卸机器人、基板装卸方法以及成膜装置。
背景技术：
1、以往，已知有装卸基板的基板装卸机器人。另外，公知有装卸基板的基板装卸方法以及对基板进行成膜处理的成膜装置(例如参照专利文献1)。
2、【现有技术文献】
3、【专利文献】
4、【专利文献1】日本特开2010-222700号公报
技术实现思路
1、【发明所要解决的课题】
2、但是，在专利文献1中，有时基板装卸机器人将基板过度地按压在设置于基板保持器上的支承部件上，基板的端部有时会被支承部件损伤。另外，有时设置在基板装卸机器人上的基板支承部件偶然地与基板或基板保持器接触，由于接触时的冲击而使各种部件破损。
3、因此，鉴于上述问题，本发明的技术的目的在于防止基板的装卸时的各种部件的破损。
4、【解决课题的手段】
5、根据本发明的一个方式，
6、提供一种基板装卸机器人，其中，
7、具备：保持基板的基板保持部件；
8、使所述基板保持部件移动的机械臂；以及
9、连接所述基板保持部件和所述机械臂的前端的至少3根线状部件，
10、所述3根所述线状部件由形状记忆合金形成，
11、相对于能自由装卸地保持所述基板的基板保持器装卸所述基板时的所述基板保持部件的温度为所述形状记忆合金的形状恢复温度的范围内。
12、根据本发明的其他方式，
13、提供一种基板装卸方法，包括：
14、准备工序，利用由形状记忆合金形成的至少3根线状部件将保持基板的基板保持部件和使所述基板保持部件移动的机械臂的前端连接；
15、准备工序，将装卸所述基板时的所述基板保持部件的温度设为所述形状记忆合金的形状恢复温度的范围内；
16、保持工序，将所述基板保持部件插入到所述基板的开口中，使得能通过所述基板保持部件保持所述基板；以及
17、装卸工序，对能自由装卸地保持所述基板的基板保持器执行所述基板的装卸。
18、根据本发明的另一方式，
19、提供一种成膜装置，具备：
20、对基板进行成膜处理的腔室；
21、设置有能自由装卸地保持所述基板的基板保持器的载体；
22、输送所述载体的输送机构；以及
23、对所述基板保持器执行所述基板的装卸的、根据本发明的一个方式的基板装卸机器人。
24、【发明的效果】
25、根据本发明的一个方式，能够防止基板的装卸时的各种部件的破损。
1.一种基板装卸机器人，其中，
2.根据权利要求1所述的基板装卸机器人，其中，
3.一种基板装卸方法，包括：
4.一种成膜装置，具备：
