本发明涉及一种在对搬送对象物进行搬送的工业用机器人中使用的工业用机器人的手。另外，本发明涉及一种包括所述手的工业用机器人。
背景技术：
1、以往，已知有一种用于搬送半导体晶片的水平多关节型的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人包括搭载半导体晶片的手、在前端侧能够转动地连结有手的臂、以及能够转动地连结有臂的基端侧的主体部。手包括：搭载部，搭载半导体晶片；手基部，构成手的基端侧部分；以及保持机构，用于将搭载于搭载部的半导体晶片保持于水平方向上的一定位置。搭载部的基端侧固定于手基部。手基部能够转动地连结于臂的前端侧。
2、在专利文献1中记载的工业用机器人中，保持机构包括：端面抵接构件，具有与半导体晶片的端面抵接的抵接面；按压构件，与半导体晶片的端面接触并将半导体晶片的端面按压至端面抵接构件的抵接面；以及驱动机构，使按压构件在水平方向上直线性地移动。驱动机构收容于形成为中空状的手基部的内部。按压构件的基端部连结于驱动机构，并收容于手基部的内部。按压构件的前端侧部分配置于手基部的外部，按压构件的前端能够与半导体晶片的端面接触。在手基部形成有供按压构件插通的开口部。
3、[现有技术文献]
4、[专利文献]
5、[专利文献1]日本专利特开2015-36186号公报
技术实现思路
1、[发明所要解决的问题]
2、专利文献1中记载的工业用机器人在对半导体晶片使用水等液体的环境下使用的情况下(即，搭载半导体晶片的手在使用液体的环境下使用的情况下)，有液体从手基部的开口部浸入至手基部的内部的担忧。另外，若液体浸入至手基部的内部，则产生收容于手基部的内部的驱动机构发生腐蚀的担忧。
3、因此，本发明的课题在于提供一种手，其为工业用机器人的手，包括：搭载部，搭载搬送对象物；搭载支撑部，固定搭载部的基端侧；以及保持机构，用于将搭载于搭载部的搬送对象物保持于水平方向上的一定位置，所述工业用机器人的手即使在使用液体的环境下使用，也能够有效果地抑制液体浸入至收容有构成保持机构的一部分的驱动机构的搭载支撑部的内部的配置空间。另外，本发明的课题在于提供一种包括所述手的工业用机器人。
4、[解决问题的技术手段]
5、为了解决所述课题，本发明的一方式的工业用机器人的手是对搬送对象物进行搬送的工业用机器人的手，其特征在于，包括：搭载部，搭载搬送对象物；搭载支撑部，至少一部分形成为中空状并且固定搭载部的基端侧；保持机构，用于将搭载于搭载部的搬送对象物保持于水平方向上的一定位置；多个密封构件，用于防止液体浸入至搭载支撑部的内部；以及气体供给机构，向搭载支撑部的内部供给气体，保持机构包括：端面抵接构件，具有与搬送对象物的端面抵接的抵接面且安装于搭载部的前端侧；按压构件，具有与搬送对象物的端面接触并将搬送对象物的端面按压至抵接面的按压部、及在前端侧安装有按压部的轴状的轴部，并被保持于搭载支撑部；以及驱动机构，收容于搭载支撑部的内部的配置空间，并且连结轴部的基端侧，且使按压构件相对于搭载支撑部在水平方向上直线性地移动，在搭载支撑部形成有配置有轴部的一部分并且与配置空间连通的轴配置孔，多个密封构件沿轴部的轴向排列并配置于轴配置孔中，并且与轴部的外周面接触，气体供给机构向配置空间供给气体并使配置空间为正压。
6、本方式的工业用机器人的手包括：多个密封构件，用于防止液体浸入至搭载支撑部的内部；以及气体供给机构，向搭载支撑部的内部供给气体。另外，在本方式中，多个密封构件沿轴部的轴向排列并配置于轴配置孔中，并且与轴部的外周面接触，气体供给机构向配置空间供给气体并使配置空间为正压。因此，在本方式中，即使在使用液体的环境下使用手，也能够有效果地抑制液体通过轴配置孔浸入至搭载支撑部的内部的配置空间。
7、在本方式中，例如手包括在轴部的轴向上以相互隔开间隔的状态配置的第一密封构件及第二密封构件这两个密封构件作为密封构件，当将在轴部的轴向上配置有按压部的一侧设为第一方向侧时，第一密封构件配置于比第二密封构件更靠第一方向侧处。
8、在本方式中，优选为在搭载支撑部形成有从搭载支撑部的外侧面连通到轴配置孔的第一密封构件与第二密封构件之间的部分的液体的排出孔。若以所述方式构成，则即使液体通过轴配置孔的配置有第一密封构件的部分，液体浸入至轴配置孔的第一密封构件与第二密封构件之间的部分，也能够将浸入的液体从排出孔排出。因此，能够更有效果地抑制液体通过轴配置孔而浸入至搭载支撑部的内部的配置空间。
9、在本方式中，优选为第一密封构件是全密封圈，第二密封构件是u形密封件或v形密封件。若以所述方式构成，则例如与第一密封构件及第二密封构件为o形环的情况相比，能够减少第一密封构件及第二密封构件与轴部的滑动摩擦。因此，能够在抑制第一密封构件及第二密封构件的磨损的同时，有效果地抑制液体浸入至搭载支撑部的内部的配置空间。另外，若以所述方式构成，则第一密封构件是全密封圈，由于第一密封构件的密封性高，因此能够更有效果地抑制液体浸入至搭载支撑部的内部的配置空间。
10、在本方式中，优选为驱动机构使按压构件在如下把持位置、即按压部与搬送对象物的端面接触并将搬送对象物的端面按压至抵接面的把持位置、和按压部从搬送对象物的端面离开的退避位置之间移动，在按压构件配置于把持位置时，轴部的一部分配置于搭载支撑部的外部，当将在轴部的轴向上配置有按压部的一侧设为第一方向侧，且将轴部的、在按压构件配置于把持位置时配置于搭载支撑部的外部的部分设为外部配置部时，在按压构件配置于退避位置时，外部配置部配置于比配置于最靠第一方向侧的密封构件更靠第一方向侧处。
11、若以所述方式构成，则能够在按压构件配置于把持位置时防止配置于搭载支撑部的外部且附着有液体的外部配置部与密封构件接触。因此，例如即使在使用包含研磨剂的药液的环境下使用手，也能够防止附着有药液中所含的研磨剂的外部配置部与密封构件接触。其结果，即使在使用包含研磨剂的药液的环境下使用手，也能够防止由附着于外部配置部的研磨剂引起的密封构件的损伤。
12、在本方式中，优选为搭载支撑部包括：筒状的密封保持构件，形成有轴配置孔并且在内周侧保持多个密封构件；以及支撑部主体，与密封保持构件分体形成并且固定密封保持构件，在支撑部主体形成有配置有密封保持构件并且与配置空间连通的密封保持构件配置孔，密封保持构件相对于支撑部主体能够装卸，在密封保持构件的外周面或密封保持构件配置孔的内周面形成有外周侧密封配置凹部，所述外周侧密封配置凹部配置有用于防止液体浸入至配置空间的外周侧密封构件。若以所述方式构成，则若从支撑部主体拆卸密封保持构件，则能够将多个密封构件一起从支撑部主体拆卸。因此，能够容易地进行多个密封构件的更换作业。
13、在本方式中，优选为手包括在轴部的轴向上以相互隔开间隔的状态配置的第一密封构件及第二密封构件这两个密封构件作为密封构件，当将在轴部的轴向上配置有按压部的一侧设为第一方向侧且将第一方向侧的相反侧设为第二方向侧时，第一密封构件配置于比第二密封构件更靠第一方向侧处，第一密封构件是全密封圈，第二密封构件是u形密封件或v形密封件，密封保持构件包括：筒状的密封保持构件主体，在内周侧形成有配置有第二密封构件的内周侧密封配置凹部；以及盖构件，具有从第一方向侧插入至密封保持构件主体的内周侧的筒状的插入部，盖构件与密封保持构件主体分体形成，并且能够相对于密封保持构件主体装卸，在密封保持构件主体的内周侧形成有限制第一密封构件向第二方向侧移动的第一限制面，插入部的第二方向侧的端面成为限制第一密封构件向第一方向侧移动的第二限制面。
14、若以所述方式构成，则例如与第一密封构件及第二密封构件为o形环的情况相比，能够减少第一密封构件及第二密封构件与轴部的滑动摩擦。因此，能够在抑制第一密封构件及第二密封构件的磨损的同时，有效果地抑制液体浸入至搭载支撑部的内部的配置空间。另外，若以所述方式构成，则第一密封构件是全密封圈，由于第一密封构件的密封性高，因此能够更有效果地抑制液体浸入至搭载支撑部的内部的配置空间。
15、另外，若以所述方式构成，则形成有限制第一密封构件向第一方向侧移动的第二限制面的盖构件与密封保持构件主体分体形成，相对于密封保持构件主体能够装卸，因此即使与u形密封件或v形密封件相比刚性高的全密封圈作为第一密封构件配置于密封保持构件的内周侧，通过从密封保持构件主体拆卸盖构件，也能够容易地在密封保持构件的内周侧配置第一密封构件。
16、本方式的手可用于包括连结有手的臂、以及连结有臂的主体部的工业用机器人。在所述工业用机器人中，即使在使用液体的环境下使用手，也能够有效果地抑制液体通过轴配置孔浸入至搭载支撑部的内部的配置空间。
17、[发明的效果]
18、如上所述，在本发明中，一种工业用机器人的手，包括：搭载部，搭载搬送对象物；搭载支撑部，固定搭载部的基端侧；以及保持机构，用于将搭载于搭载部的搬送对象物保持于水平方向上的一定位置，所述工业用机器人的手即使在使用液体的环境下使用，也能够有效果地抑制液体浸入至收容有构成保持机构的一部分的驱动机构的搭载支撑部的内部的配置空间。
1.一种工业用机器人的手，是对搬送对象物进行搬送的工业用机器人的手，所述工业用机器人的手的特征在于，
2.根据权利要求1所述的工业用机器人的手，其特征在于，包括在所述轴部的轴向上以相互隔开间隔的状态配置的第一密封构件及第二密封构件这两个所述密封构件作为所述密封构件，
3.根据权利要求2所述的工业用机器人的手，其特征在于，在所述搭载支撑部形成有从所述搭载支撑部的外侧面连通到所述轴配置孔的、所述第一密封构件与所述第二密封构件之间的部分的液体的排出孔。
4.根据权利要求2或3所述的工业用机器人的手，其特征在于，所述第一密封构件是全密封圈，
5.根据权利要求1至3中任一项所述的工业用机器人的手，其特征在于，所述驱动机构使所述按压构件在如下把持位置、即所述按压部与所述搬送对象物的端面接触并将所述搬送对象物的端面按压至所述抵接面的把持位置、和所述按压部从所述搬送对象物的端面离开的退避位置之间移动，
6.根据权利要求1至3中任一项所述的工业用机器人的手，其特征在于，所述搭载支撑部包括：筒状的密封保持构件，形成有所述轴配置孔并且在内周侧保持多个所述密封构件；以及支撑部主体，与所述密封保持构件分体形成并且固定所述密封保持构件，
7.根据权利要求6所述的工业用机器人的手，其特征在于，包括在所述轴部的轴向上以相互隔开间隔的状态配置的第一密封构件及第二密封构件这两个所述密封构件作为所述密封构件，
8.一种工业用机器人，其特征在于，包括：如权利要求1至3中任一项所述的工业用机器人的手、连结有所述工业用机器人的手的臂、以及连结有所述臂的主体部。
