本技术属于半导体制造，具体的说，是涉及一种基于离子注入机的传片报警设备。
背景技术：
1、离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成，它是由离子源得到所需要的，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。当注入机异常时，若操作人员无法及时发现处理，将导致设备产能利用率低。
2、为提高注入机生产效率以及产品质量，现有技术中，设置传片报警装置，通过报警装置来显示注入机的异常，例如中国专利cn201820945542.x，其公开了一种基于离子注入机的传片报警设备，该装置采用箱体结构，箱体内容纳有电路系统，用于对多个注入机的传片过程进行集中化告警，上述技术方案主要存在以下不足：(1)箱体采用密封式箱体，长时间使用状态下，设备发热会导致箱体的整体温度提升，对电路系统元器件存在损伤隐患，影响生产效率以及产品质量；(2)箱体内线束没有专门规整，当设备出现线路故障时，不易快速排查。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种基于离子注入机的传片报警设备，以解决现有技术所存在的问题。
2、为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：
3、一种基于离子注入机的传片报警设备,包括箱体，设置在所述箱体内的电路板、开关电源，以及设置在所述箱体上的显示面板、交流电源输入接口、报警信号取样接口和蜂鸣器，在所述箱体内左侧设置有用于安装pcb板的电路安装面板，在所述箱体的相对侧均设置有集尘散热机构，所述集尘散热机构包括设置在所述箱体表面的散热面板和嵌入所述箱体内并与所述散热面板连接的集尘腔，在所述箱体还设置有用于规整线束的排线机构。
4、进一步的，所述排线机构包括设置在所述电路安装面板上的绕线柱，和设置在所述箱体内后端右侧并与其可拆卸式连接的排线板。
5、进一步的，所述排线板上沿其纵向设置有若干排线槽，位于所述排线槽的右端设置有若干束线环。
6、进一步的，所述箱体上端设置有安装孔，所述显示面板通过所述安装孔安装在所述箱体上。
7、进一步的，所述散热面板上设置有若干散热条孔，集尘腔的壁上开设有若干通风孔。
8、进一步的，所述电路安装面板与所述箱体右侧之间构成安装腔体，所述开关电源设置在所述安装腔体内。
9、进一步的，相对的所述集尘散热机构沿所述箱体的宽度方向错位布置。
10、与现有技术相比，本实用新型具备以下有益效果：
11、(1)本实用新型在箱体的相对侧均设置集尘散热机构，两个集尘散热机构构成气体对流，实现对箱体散热，同时，为了避免环境灰尘对箱体内电路元器件的影响，设置集尘腔对气流进行集尘过滤。
12、(2)本实用新型基于电路安装面板设置绕线柱，同时在箱体内右侧设置排线板，通过绕线柱和排线板组成排线机构，通过该排线机构实现对箱体内线束的规整，当设备发生线路故障时，方便快速排查检修。
1.一种基于离子注入机的传片报警设备,其特征在于：包括箱体(1)，设置在所述箱体(1)内的电路板、开关电源(5)，以及设置在所述箱体(1)上的显示面板(6)、交流电源输入接口(2)、报警信号取样接口(3)和蜂鸣器(4)，在所述箱体(1)内左侧设置有用于安装pcb板的电路安装面板(7)，在所述箱体(1)的相对侧均设置有集尘散热机构，所述集尘散热机构包括设置在所述箱体(1)表面的散热面板(9)和嵌入所述箱体(1)内并与所述散热面板(9)连接的集尘腔(10)，在所述箱体(1)还设置有用于规整线束的排线机构。
2.根据权利要求1所述的基于离子注入机的传片报警设备，其特征在于：所述排线机构包括设置在所述电路安装面板(7)上的绕线柱(8)，和设置在所述箱体(1)内后端右侧并与其可拆卸式连接的排线板(11)。
3.根据权利要求2所述的基于离子注入机的传片报警设备，其特征在于：所述排线板(11)上沿其纵向设置有若干排线槽(12)，位于所述排线槽(12)的右端设置有若干束线环(13)。
4.根据权利要求3所述的基于离子注入机的传片报警设备，其特征在于：所述箱体(1)上端设置有安装孔(14)，所述显示面板(6)通过所述安装孔(14)安装在所述箱体(1)上。
5.根据权利要求4所述的基于离子注入机的传片报警设备，其特征在于：所述散热面板(9)上设置有若干散热条孔，所述集尘腔(10)的壁上开设有若干通风孔。
6.根据权利要求5所述的基于离子注入机的传片报警设备，其特征在于：所述电路安装面板(7)与所述箱体(1)右侧之间构成安装腔体(15)，所述开关电源(5)设置在所述安装腔体(15)内。
7.根据权利要求6所述的基于离子注入机的传片报警设备，其特征在于：相对的所述集尘散热机构沿所述箱体(1)的宽度方向错位布置。
