检查用插座的制作方法

专利检索2025-11-05  1


本发明涉及检查用插座,尤其,涉及即使在没有额外的追加装置的情况下也可以提供烧机检查(burn-in test)所需要的热量的检查用插座。


背景技术:

1、通常,半导体器件可反复执行一系列的制造工序,由此形成在作为半导体基板所使用的硅晶圆上,如上形成的半导体器件可通过切割工序、焊接工序和封装工序被制成半导体封装。

2、如上制造的半导体封装可通过特性检查被判断为良品或不良品。这种特性检查可包括向半导体封装施加高温热量的烧机检查。

3、通常,为了进行烧机检查而需要用于施加高温热量的如腔室等的额外的外部装置。由此,现有的用于烧机检查的设备需要用于设置外部装置的宽广空间,此外,这种外部装置的设置将伴随众多部件,因此,不可避免地增加费用。


技术实现思路

1、技术问题

2、本发明的目的在于,提供即使在没有额外的追加装置的情况下也可以提供烧机检查所需要的热量的检查用插座。

3、技术方案

4、用于实现上述目的的本发明的检查用插座300包括:联接部120;框架110,用于支撑上述联接部120;以及热线150,配置在上述框架110。

5、上述热线150配置在上述框架110的上述第一面su及第二面sb中的至少一面。

6、上述框架110的第一面su为朝向插座引导部140的面,上述框架110的第二面sb为配置在上述第一面的相反侧的面。

7、上述热线150的至少一部分配置在上述框架110的第一面su与上述插座引导部140之间。

8、上述热线150的至少一部分配置在上述框架110的第二面sb与检查用装置之间。

9、上述热线150与外部的供电部连接。

10、上述热线150通过上述插座引导部140的孔140h1、140h2与上述外部的供电部600连接。

11、上述热线150印刷或蒸镀在上述框架110上。

12、本发明还包括配置在上述框架110上的膜130,上述热线150配置在上述膜130上。

13、上述膜130配置在上述框架110的第一面及第二面中的至少一面上。

14、上述膜130还包括不与上述框架110重叠的延伸部132,上述热线150的至少一部分配置在上述膜130的延伸部132上。

15、上述框架包括:本体部,具有联接孔;以及延伸部,从上述本体部延伸。

16、上述热线的端子配置在上述延伸部。

17、上述热线150包括包围上述框架110的中心部并配置在从上述框架110的中心部隔开不同距离的位置的多个热线151、152、153。

18、上述热线150包括沿着上述框架110的不同边配置的多个热线151、152、153、154。

19、上述框架110包括至少一个结合孔110h2,上述热线150的至少一部分具有包围上述结合孔110h2的形状。

20、上述框架810包括:板812;以及支撑膜811,配置在上述板的上部或下部。

21、上述热线配置在上述支撑膜。

22、上述支撑膜配置在上述板的上部,上述检查用插座还包括中继端子812t1、812t2,配置在上述板,与上述热线的端子连接。

23、上述端子150t1、150t2与中继端子812t1、812t2的形状及尺寸中的至少一个不同。

24、上述板包括本体部及从上述板的本体部延伸的延伸部,上述支撑膜包括本体部及从上述支撑膜的本体部延伸的延伸部,上述板的本体部与上述支撑膜的本体部重叠,上述板的延伸部与支撑膜的延伸部重叠,上述热线配置在上述板及上述支撑膜中的一个的本体部及延伸部中的至少一个,上述热线的端子配置在上述板及上述支撑膜中的一个上述延伸部。

25、本发明还包括中继端子,配置在上述板及上述支撑膜中的另一个延伸部,与上述热线的端子连接。

26、上述框架710包括:支撑膜711;以及板712,配置在上述支撑膜上。

27、上述联接部包括绝缘部及导电部。

28、上述导电部包括至少一个导电粒子。

29、上述导电部包括至少一个导电金属线。

30、上述联接部包括各向异性导电片,上述各向异性导电片包括弹性绝缘物质的绝缘部及至少一个导电粒子。

31、上述联接部还包括上述各向异性导电片上的支撑片。

32、并且,用于实现上述目的的本发明的检查用插座300包括:联接部120;框架110,用于支撑上述联接部120;热线150,配置在上述框架110;以及插座引导部140,配置在上述框架110。

33、上述热线150的至少一部分与上述插座引导部140重叠。

34、上述热线150的至少一部分与上述插座引导部140接触。

35、上述热线150通过上述插座引导部140的孔140h1、140h2与外部的供电部600连接。

36、本发明还包括插在上述插座引导部140的孔140h1、140h2并与上述供电部600及上述热线150连接的导电部140c1、140c2。

37、本发明还包括配置在上述导电部140c1、140c2和上述插座引导部140的孔140h1、140h2的内壁之间的绝缘部。

38、本发明还包括配置有上述联接部的检查板200。

39、上述热线150通过连接在上述联接部120的检查板200与供电部600连接。

40、上述热线150通过上述检查板200的导电图案201、202与上述供电部600连接。

41、上述框架110包括通过上述插座引导部140与检查板200之间的缝隙来向上述插座引导部140的外部延伸的延伸部112,而且,上述热线150的至少一部分配置在上述框架110的延伸部112上。

42、上述热线150在上述插座引导部140的外部与供电部600连接。

43、发明的效果

44、本发明的检查用插座可提供如下效果。

45、第一,在检查用插座的框架上配置热线,因此,无需用于提供烧机检查所需热量的如腔室的额外的外部装置。因此,可以简化烧机检查所需装置,从而不受空间制约,且可节俭费用。

46、第二,发热源(例如,热线)配置在受检设备附近,因此,可以减少热损失,并可实现快速的热传递,因此可以缩减烧机检查时间。

47、第三,可沿着框架的每个边配置多个热线来选择性地产生热量,因此,可以实现受检设备的部分特性检查。

48、第四,热线的一部分为包围框架的多个结合孔的环形状,因此,可以轻松识别框架的多个结合孔。因此,可以更加轻松地执行框架与插座引导部之间的结合工序。

49、第五,具有热线的端子、中继端子及电源端子配置成一列并直接接触来接收电源的结构,因此,在制造方面(例如,制造方法及制造费用等)及热效率方面可具有优秀的特性。

50、另一方面,本发明可获得的效果并不局限于以上提及的效果,本发明所属技术领域的普通技术人员可以从以下的记载明确理解未提及的其他效果。


技术特征:

1.一种检查用插座,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,上述热线配置在上述框架的第一面及第二面中的至少一面。

3.根据权利要求2所述的检查用插座,其特征在于,

4.根据权利要求3所述的检查用插座,其特征在于,上述热线的至少一部分配置在上述框架的第一面与上述插座引导部之间。

5.根据权利要求3所述的检查用插座,其特征在于,上述热线的至少一部分配置在上述框架的第二面与检查用装置之间。

6.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,上述热线与外部的供电部连接。

7.根据权利要求6所述的检查用插座,其特征在于,上述热线通过上述插座引导部的孔与上述外部的供电部连接。

8.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,上述热线印刷或蒸镀在上述框架上。

9.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,

10.根据权利要求9所述的检查用插座,其特征在于,上述膜配置在上述框架的第一面及第二面中的至少一面上。

11.根据权利要求9所述的检查用插座,其特征在于,

12.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,上述框架包括:

13.根据权利要求12所述的检查用插座,其特征在于,上述热线的端子配置在上述延伸部。

14.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,上述热线包括包围上述框架的中心部并配置在从上述框架的中心部隔开不同距离的位置的多个热线。

15.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,上述热线包括沿着上述框架的不同边配置的多个热线。

16.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,

17.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,上述框架包括:

18.根据权利要求17所述的检查用插座,其特征在于,上述热线配置在上述支撑膜。

19.根据权利要求18所述的检查用插座,其特征在于,

20.根据权利要求19所述的检查用插座,其特征在于,上述端子与中继端子的形状及尺寸中的至少一个不同。

21.根据权利要求17所述的检查用插座,其特征在于,

22.根据权利要求21所述的检查用插座,其特征在于,还包括中继端子,配置在上述板及上述支撑膜中的另一个延伸部,与上述热线的端子连接。

23.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,上述联接部包括绝缘部及导电部。

24.根据权利要求23所述的检查用插座,其特征在于,上述导电部包括至少一个导电粒子。

25.根据权利要求23所述的检查用插座,其特征在于,上述导电部包括至少一个导电金属线。

26.根据权利要求1所述的检查用插座,其特征在于,

27.根据权利要求26所述的检查用插座,其特征在于,上述联接部还包括上述各向异性导电片上的支撑片。

28.一种检查用插座,其特征在于,包括:

29.根据权利要求28所述的检查用插座,其特征在于,上述热线的至少一部分与上述插座引导部重叠。

30.根据权利要求28所述的检查用插座,其特征在于,上述热线的至少一部分与上述插座引导部接触。

31.根据权利要求28所述的检查用插座,其特征在于,上述热线通过上述插座引导部的孔与外部的供电部连接。

32.根据权利要求31所述的检查用插座,其特征在于,还包括插在上述插座引导部的孔并与上述供电部及上述热线连接的导电部。

33.根据权利要求32所述的检查用插座,其特征在于,还包括配置在上述导电部和上述插座引导部的孔的内壁之间的绝缘部。

34.根据权利要求28所述的检查用插座,其特征在于,还包括配置有上述联接部的检查板。

35.根据权利要求34所述的检查用插座,其特征在于,上述热线通过连接在上述联接部的检查板与供电部连接。

36.根据权利要求35所述的检查用插座,其特征在于,上述热线通过上述检查板的导电图案与上述供电部连接。

37.根据权利要求34所述的检查用插座,其特征在于,

38.根据权利要求37所述的检查用插座,其特征在于,上述热线在上述插座引导部的外部与供电部连接。


技术总结
本发明涉及即使在没有额外的追加装置的情况下也可以提供烧机检查所需要的热量的检查用插座,其包括:联接部(120);框架(110),用于支撑上述联接部(120);以及热线(150),配置在上述框架(110)。

技术研发人员:吴钟于,尹贤植,李柄周
受保护的技术使用者:株式会社ISC
技术研发日:
技术公布日:2024/5/29
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