电阻式蒸发舟结构的制作方法

专利检索2025-08-08  19


本发明涉及集流体,尤其涉及一种电阻式蒸发舟结构。


背景技术:

1、用金属,特别是用铝均匀镀覆的最常用的方法是高真空带式蒸镀法。使用方法是将铝丝靠近蒸发舟,铝丝便熔化并升华成铝蒸气,将待涂覆的基材通过蒸发舟上方,铝蒸气作为薄的金属层沉积在基材表面上。

2、目前,常用的蒸发舟为tba复合陶瓷相蒸发舟,基于热压成型的方式制得坯料,其主要成分为二硼化钛,氮化硼和氮化铝,其中,二硼化钛作为导电颗粒,氮化硼作为导热填充颗粒,氮化铝作为耐蚀及导热材料。

3、上述蒸发舟在镀铝过程中,因高温环境下,易受到铝液腐蚀,造成蒸发舟提前失效,同时,严重影响蒸镀效果;主要原因之一是因为熔融的铝易与氮化硼反应形成氮化铝[1],从而在送丝的机械运动的促进下,使得铝液将二硼化钛朝向蒸发舟两侧推动,使得导电颗粒堆积在蒸发舟的两侧,减少蒸发舟中部的导电颗粒量,使得中部送丝区域电阻不断增大。

4、现有技术中,主要还是从增加耐蚀能力上来减少铝的腐蚀作用,比如在蒸发舟表面形成耐蚀涂层,来隔绝铝液与陶瓷材料接触。但是随着蒸发舟的使用,涂层会开裂失效,或从其孔隙中渗透至内部腐蚀舟体。

5、因此,需要进一步改进来延缓上述腐蚀。

6、参考文献

7、[1]黄向东,沈峰,李强,等.铝液对氮化硼基导电陶瓷蒸发舟表面腐蚀的研究[j].硅酸盐通报,2006,25(5):5.doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2006.05.037.


技术实现思路

1、本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明的一个目的在于提出一种电阻式蒸发舟结构,基于舟体蒸发侧设置若干间隔的凹槽,凹槽中填充含有导电颗粒的耐蚀涂层,协同阻挡导电颗粒被冲刷,并提供导电颗粒的补充。

2、本发明的技术方案如下:

3、一种电阻式蒸发舟结构,包括:

4、舟体,其设置第一夹持端和第二夹持端,本实施例中设置于舟体两端,用于与电极接触;

5、蒸发区,设置在舟体的蒸发侧,用于承载并加热蒸发金属液;

6、若干槽体,间隔的形成在蒸发区表面,其沿蒸发区的宽度方向设置;

7、以及,形成覆盖槽体的涂层结构,涂层结构包括第一耐蚀层,第一耐蚀层中包含有导电颗粒,其导电颗粒含量高于舟体,并作为舟体表面的保护层。

8、进一步的,舟体材质包括如下质量百分比的各组分,45-55%二硼化钛,30%-40%氮化硼,10%-15%氮化铝,以及1%-4%的烧结助剂。

9、进一步的,涂层结构的总厚度为0.1-2.5mm。

10、进一步的,涂层结构中包含55-65%二硼化钛,20%-28%氮化硼,15%-20%氮化铝。

11、进一步的,涂层结构中还包括硅组成的单质和/或其含氮、碳、氧的化合物,质量百分含量为3%-10%。

12、进一步的,槽体的宽度dn取值为0-20mm。

13、进一步的,槽体的深度hn的取值范围为0-2mm。

14、进一步的,相邻槽体的间隔优选设置为3-20mm。

15、进一步的,涂层结构设置为多层。

16、进一步的,舟体底部对应槽体成型有补偿区。

17、进一步的,涂层结构为热喷涂形成。

18、本发明中的有益效果:基于开槽及涂层结构,可形成舟体导电颗粒的形成的屏障,在涂层失效后,进一步减缓熔融靶材液将脱离的导电颗粒向两侧冲刷,作为导电颗粒的停留空间,并提供导电颗粒的补充,延缓舟体的失效时间。



技术特征:

1.一种电阻式蒸发舟结构,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,舟体材质包括如下质量百分比的各组分,45-55%二硼化钛,30%-40%氮化硼,10%-15%氮化铝,以及1%-4%的烧结助剂。

3.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,槽体的宽度dn取值为0-20mm。

4.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,槽体的深度hn的取值范围为0-2mm。

5.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,相邻槽体的间隔设置为3-20mm。

6.如权利要求1所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,涂层结构的总厚度为0.1-2.5mm。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,涂层结构中包含55-65%二硼化钛,20%-28%氮化硼,15%-20%氮化铝。

8.如权利要求7所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,涂层结构中还包括硅组成的单质和/或其含氮、碳、氧的化合物,质量百分含量为3%-10%。

9.如权利要求1-6中任意一项所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,涂层结构设置为多层。

10.如权利要求1-6中任意一项所述的电阻式蒸发舟结构,其特征在于,舟体底部对应槽体成型有补偿区。


技术总结
本发明公开了一种电阻式蒸发舟结构,包括:舟体,其设置第一夹持端和第二夹持端,本实施例中设置于舟体两端,用于与电极接触;蒸发区,设置在舟体的蒸发侧,用于承载并加热蒸发金属液;若干槽体,间隔的形成在蒸发区表面,其沿蒸发区的宽度方向设置;以及,形成覆盖槽体的涂层结构,涂层结构包括第一耐蚀层,第一耐蚀层中包含有导电颗粒,其导电颗粒含量高于舟体,并作为舟体表面的保护层。本发明基于开槽及涂层结构,可形成舟体导电颗粒的形成的屏障,在涂层失效后,进一步减缓熔融靶材液将脱离的导电颗粒向两侧冲刷,作为导电颗粒的停留空间,并提供导电颗粒的补充,延缓舟体的失效时间。

技术研发人员:刘志康,伽龙,吴明忠,焦鑫鹏,殷国峰
受保护的技术使用者:浙江柔震科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/5/29
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