本技术涉及密封门板组件，具体涉及干刻蚀设备腔体用密封门板组件。
背景技术：
1、刻蚀均匀性是刻蚀制程的一项重要技术指标，制程温度的均匀性，制程气体供应的均匀性，腔体的结构构造等都会对其产生影响，但是这些影响因子互相影响，情况复杂，需要根据产品型号的不同实时调节这些参数，来使得刻蚀均匀，现有的干刻蚀设备在进行密封时，通常使用挡板密封，挡板密封时往往为了观察腔体内物品，通常在挡板处设置玻璃板，然而玻璃板设置在挡板处后，在不使用干刻蚀设备时，玻璃板容易受到外部碰撞造成损坏。为此，我们提出干刻蚀设备腔体用密封门板组件。
技术实现思路
1、针对现有技术中的问题，本实用新型提供了干刻蚀设备腔体用密封门板组件。
2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是干刻蚀设备腔体用密封门板组件，包括干刻蚀设备主体和挡板，所述挡板的板壁处安装有防护机构，所述防护机构由凹形框、横板、把手、紧固螺栓、滑槽和螺纹孔组合构成，所述挡板的板壁处焊接有凹形框，所述凹形框的框内壁处开设有连接横板的滑槽，所述滑槽的槽内壁处活动连接有横板，所述横板的板壁处焊接有把手，所述凹形框的框壁处螺纹连接有可转动的紧固螺栓，所述横板的板壁处开设有与紧固螺栓连接的螺纹孔。
3、通过采用上述技术方案，在对干刻蚀设备主体进行密封时，由于干刻蚀设备主体的进料口处通过铰链连接有可转动的挡板，挡板的板壁处安装有防护机构，防护机构由凹形框、横板、把手、紧固螺栓、滑槽和螺纹孔组合构成，由于挡板的板壁处连通安装有玻璃板，通过玻璃板观察干刻蚀设备主体内的物品，由于挡板的板壁处焊接有凹形框，凹形框的框壁处开设有滑槽，横槽与滑槽的槽内壁处滑动连接，从而人员推动把手，使得横板在滑槽内移动，由于凹形框的框壁处螺纹连接有紧固螺栓，人员拧动紧固螺栓后，使得紧固螺栓与螺纹孔连接，实现将横板固定，从而横板对玻璃板进行防护，避免玻璃板受到外部碰撞损坏。
4、具体的，还包括锁紧机构，所述挡板的板壁处安装有锁紧机构。
5、通过采用上述技术方案，通过锁紧机构方便将挡板与干刻蚀设备主体进行连接。
6、具体的，所述锁紧机构由插杆、限位杆、圆盘、插孔和横槽组合构成，所述挡板的板壁处开设有插孔，所述插孔的孔内壁处活动连接有插杆，所述插杆的杆壁处焊接有限位杆，所述挡板的板壁处开设有横槽，且限位杆贯穿横槽，所述限位杆的另一端焊接有圆盘。
7、通过采用上述技术方案，在对挡板与干刻蚀设备主体进行连接时，由于挡板的板壁处安装有锁紧机构，锁紧机构由插杆、限位杆、圆盘、插孔和横槽组合构成，由于挡板的板壁处开设有插孔，插孔的孔内壁处活动连接有插杆，人员推动圆盘，使得限位杆在横槽内移动，使得插杆在插孔内移动，从而使得插杆插入到干刻蚀设备主体的壳壁处，实现将挡板的固定。
8、具体的，所述干刻蚀设备主体的进料口处通过铰链连接有可转动的挡板。
9、通过采用上述技术方案，通过挡板能够对干刻蚀设备主体进行密封。
10、具体的，所述挡板的板壁处连通安装有玻璃板。
11、通过采用上述技术方案，通过玻璃板方便人员对干刻蚀设备主体内物品观察。
12、具体的，所述干刻蚀设备主体的底部安装有可移动的滑轮。
13、通过采用上述技术方案，通过滑轮方便对干刻蚀设备主体进行移动。
14、本实用新型的有益效果：
15、(1)本实用新型所述的干刻蚀设备腔体用密封门板组件，在对干刻蚀设备主体进行密封时，由于干刻蚀设备主体的进料口处通过铰链连接有可转动的挡板，挡板的板壁处安装有防护机构，防护机构由凹形框、横板、把手、紧固螺栓、滑槽和螺纹孔组合构成，由于挡板的板壁处连通安装有玻璃板，通过玻璃板观察干刻蚀设备主体内的物品，由于挡板的板壁处焊接有凹形框，凹形框的框壁处开设有滑槽，横槽与滑槽的槽内壁处滑动连接，从而人员推动把手，使得横板在滑槽内移动，由于凹形框的框壁处螺纹连接有紧固螺栓，人员拧动紧固螺栓后，使得紧固螺栓与螺纹孔连接，实现将横板固定，从而横板对玻璃板进行防护，避免玻璃板受到外部碰撞损坏。
16、(2)本实用新型所述的干刻蚀设备腔体用密封门板组件，在对挡板与干刻蚀设备主体进行连接时，由于挡板的板壁处安装有锁紧机构，锁紧机构由插杆、限位杆、圆盘、插孔和横槽组合构成，由于挡板的板壁处开设有插孔，插孔的孔内壁处活动连接有插杆，人员推动圆盘，使得限位杆在横槽内移动，使得插杆在插孔内移动，从而使得插杆插入到干刻蚀设备主体的壳壁处，实现将挡板的固定。
1.干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，包括干刻蚀设备主体(1)和挡板(3)，所述挡板(3)的板壁处安装有防护机构(2)，所述防护机构(2)由凹形框(201)、横板(202)、把手(203)、紧固螺栓(204)、滑槽(205)和螺纹孔(206)组合构成，所述挡板(3)的板壁处焊接有凹形框(201)，所述凹形框(201)的框内壁处开设有连接横板(202)的滑槽(205)，所述滑槽(205)的槽内壁处活动连接有横板(202)，所述横板(202)的板壁处焊接有把手(203)，所述凹形框(201)的框壁处螺纹连接有可转动的紧固螺栓(204)，所述横板(202)的板壁处开设有与紧固螺栓(204)连接的螺纹孔(206)。
2.根据权利要求1所述的干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，还包括锁紧机构(5)，所述挡板(3)的板壁处安装有锁紧机构(5)。
3.根据权利要求2所述的干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，所述锁紧机构(5)由插杆(501)、限位杆(502)、圆盘(503)、插孔(504)和横槽(505)组合构成，所述挡板(3)的板壁处开设有插孔(504)，所述插孔(504)的孔内壁处活动连接有插杆(501)，所述插杆(501)的杆壁处焊接有限位杆(502)，所述挡板(3)的板壁处开设有横槽(505)，且限位杆(502)贯穿横槽(505)，所述限位杆(502)的另一端焊接有圆盘(503)。
4.根据权利要求1所述的干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，所述干刻蚀设备主体(1)的进料口处通过铰链连接有可转动的挡板(3)。
5.根据权利要求1所述的干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，所述挡板(3)的板壁处连通安装有玻璃板(6)。
6.根据权利要求1所述的干刻蚀设备腔体用密封门板组件，其特征在于，所述干刻蚀设备主体(1)的底部安装有可移动的滑轮(4)。
