一种冷却装置的制作方法

专利检索2025-07-17  11


本技术涉及设备冷却,特别是涉及一种冷却装置。


背景技术:

1、目前,冷却装置基本都采用的是管道式冷却的结构,该方式存在冷却效率低,且由于管道分布的问题,导致冷却的区域占比较小,使得冷却温度不均匀,难以满足真空设备的冷却需求。


技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是:冷却装置基本都采用的是管道式冷却的结构,该方式存在冷却效率低,且由于管道分布的问题,导致冷却的区域占比较小,使得冷却温度不均匀,难以满足真空设备的冷却。

2、为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种冷却装置,设置于待冷却对象,以与所述待冷却对象进行热交换,所述冷却装置包括多个冷却模组、第一管、第二管以及多个连接管道,多个所述冷却模组设置于所述待冷却对象表面,且多个所述冷却模组通过所述连接管道依次连通,以形成用于供冷却介质流通的冷却通道,位于所述冷却通道的一端的所述冷却模组连接有所述第一管,位于所述冷却通道的另一端的所述冷却模组连接有所述第二管;

3、所述冷却模组包括壳体以及导流件,所述壳体包括第一连接口与第二连接口,所述导流件设置于所述壳体内,以与所述壳体之间围合形成流道,所述流道的一端与所述第一连接口连接,所述流道的另一端与所述第二连接口连接,所述第一连接口用于与所述第一管或所述连接管道连通,以供所述冷却介质流入所述流道;所述第二连接口用于与所述第二管或所述连接管道连通,以供所述冷却介质从所述流道流出。

4、在一些实施例中,所述壳体包括上壳体、下壳体以及支壁,所述上壳体与所述下壳体之间通过所述支壁连接,以界定出空腔,所述导流件设置于所述空腔内。

5、在一些实施例中,所述支壁包括相对设置的第一侧壁与第二侧壁;

6、所述导流件包括多个第一导流板以及多个第二导流板;多个所述第一导流板沿所述第一侧壁的长度方向依次间隔设置,多个所述第二导流板沿所述第二侧壁的长度方向依次间隔设置,且所述第一导流板与所述第二导流板之间交错设置,以形成弯曲的流道结构。

7、在一些实施例中,所述第一导流板自所述第一侧壁朝所述第二侧壁的方向延伸形成,并与所述第二侧壁具有间隔;所述第二导流板自所述第二侧壁朝所述第一侧壁的方向延伸形成,且与所述第一侧壁具有间隔。

8、在一些实施例中,相邻的两个所述第一导流板之间平行设置,相邻的两个所述第二导流板之间平行设置;所述第一导流板与所述第二导流板平行设置。

9、在一些实施例中,所述第一导流板垂直于所述第一侧壁,所述第二导流板垂直于所述第二侧壁。

10、在一些实施例中,所述冷却模组包括至少一个涡旋组件,所述至少一个涡旋组件设置于所述流道内,用于使得所述冷却介质形成涡流。

11、在一些实施例中,所述连接管道呈u形、s形、v形、z形或一字形。

12、在一些实施例中,所述第一管具有第三连接口;所述第二管具有第四连接口。

13、本实用新型实施例一种冷却装置与现有技术相比,其有益效果在于:

14、本实用新型实施例通过在待冷却对象上设置多个冷却模组,并用连接管道连通以形成冷却通道,冷却介质从第一管流向位于冷却通道一端的冷却模组后,经过连接管道依次流向各冷却模组,并由位于冷却通道另一端的冷却模组流向第二管;在冷却介质自第一管到第二管的流经过程中,与待冷却对象进行热交换,以带走待冷却对象的热量,实现待冷却对象的冷却需求。此外,本实用新型的冷却介质在经过第一连接口流入流道后,经流道的导流后自第二连接口流出,利用流道的设置以及流道的导流作用,辅助冷却介质在壳体内的流动,提高换热效率;同时将导流件和壳体集成为一个冷却模组,而集成式的冷却模组可以方便工作人员根据需要在待冷却对象上布置不同数量的冷却模组以及采用不同的安装方式,两者进行组合使用,以提高冷却区域的占比的同时,保证冷却模组在待冷却对象上的分配更加均匀,以使得冷却温度更加均匀,以提高冷却的效率,满足真空设备的冷却需求。



技术特征:

1.一种冷却装置,设置于待冷却对象,以与所述待冷却对象进行热交换,其特征在于,所述冷却装置包括多个冷却模组、第一管、第二管以及多个连接管道,多个所述冷却模组设置于所述待冷却对象表面,且多个所述冷却模组通过所述连接管道依次连通,以形成用于供冷却介质流通的冷却通道,位于所述冷却通道的一端的所述冷却模组连接有所述第一管,位于所述冷却通道的另一端的所述冷却模组连接有所述第二管;

2.根据权利要求1所述的冷却装置,其特征在于,所述壳体包括上壳体、下壳体以及支壁,所述上壳体与所述下壳体之间通过所述支壁连接,以界定出空腔,所述导流件设置于所述空腔内。

3.根据权利要求2所述的冷却装置,其特征在于,所述支壁包括相对设置的第一侧壁与第二侧壁;

4.根据权利要求3所述的冷却装置,其特征在于,所述第一导流板自所述第一侧壁朝所述第二侧壁的方向延伸形成,并与所述第二侧壁具有间隔;所述第二导流板自所述第二侧壁朝所述第一侧壁的方向延伸形成,且与所述第一侧壁具有间隔。

5.根据权利要求3所述的冷却装置,其特征在于,相邻的两个所述第一导流板之间平行设置,相邻的两个所述第二导流板之间平行设置;所述第一导流板与所述第二导流板平行设置。

6.根据权利要求5所述的冷却装置,其特征在于,所述第一导流板垂直于所述第一侧壁,所述第二导流板垂直于所述第二侧壁。

7.根据权利要求1-6任意一项中所述的冷却装置,其特征在于,所述冷却模组包括至少一个涡旋组件,所述至少一个涡旋组件设置于所述流道内,用于使得所述冷却介质形成涡流。

8.根据权利要求1所述的冷却装置,其特征在于,所述连接管道呈u形、s形、v形、z形或一字形。

9.根据权利要求1所述的冷却装置,其特征在于,所述第一管具有第三连接口;所述第二管具有第四连接口。


技术总结
本技术公开了一种冷却装置,设置于待冷却对象上,该冷却装置包括多个冷却模组、第一管、第二管以及多个连接管道,多个冷却模组设置于待冷却对象表面,且通过连接管道依次连通,位于首端的冷却模组连接有第一管,位于末端的冷却模组连接有第二管;冷却模组包括壳体以及导流件,壳体包括第一连接口与第二连接口,导流件设置于壳体内,以在壳体内形成流道,流道的一端与第一连接口连接,流道的另一端与第二连接口连接。本技术通过将导流件和壳体集成为一个冷却模组,可以方便根据需要在待冷却对象上布置不同数量的冷却模组以及对应的安装方式,以提高冷却区域的占比的同时,使得冷却温度更加均匀,满足真空设备的冷却需求。

技术研发人员:冯长卫
受保护的技术使用者:江苏先导微电子科技有限公司
技术研发日:20231106
技术公布日:2024/5/29
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