一种仿精子的游泳机器人和制备方法

专利检索2025-07-15  8


本申请涉及机器人领域,尤其涉及一种仿精子的游泳机器人和制备方法。


背景技术:

1、仿生机器人是通过模拟生物体的运动、感知和认知特征,来进行高效运动以及执行任务的机器人。根据仿生机器人的运动方式和工作环境,仿生机器人可以分为爬行、飞行或游泳机器人。其中,游泳机器人因为可以用于在液体环境中执行任务,例如水下探索、获取样本、进行救援和监测水质,从而获得广泛关注。并且,随着对精准医学和药物传递系统需求的快速增长,微型仿生机器人获得了更大的应用价值。

2、然而,截至目前,大多数在液体环境中工作的仿生微型机器人(游泳微型机器人)都是基于有机材料制造的。受有机材料固有属性的限制,游泳微型机器人的性能和寿命仍存在不足。因此,如何设计游泳机器人的材料以及结构,使得机器人的可控性以及性能得以提高是亟待解决的技术问题。


技术实现思路

1、本申请提供一种仿精子的游泳机器人和制备方法,通过二氧化钒以及铬的双晶片制造了一种仿精子的机器人,利用仿精子的特定结构,以及无机材料二氧化钒的相变驱动机理,实现一种同时具有高性能,高寿命,以及高可控性的微型游泳机器人。

2、第一方面,提供了一种仿精子的游泳机器人,包括头部和尾部,其中:头部为圆筒形,头部由第一长条形的第一双晶片绕第一轴卷曲而形成,且第一双晶片绕第一轴的卷曲程度可变;尾部的一端连接于头部的一个边缘,尾部为螺旋形,尾部由第二长条形的第二双晶片绕第二轴卷绕而形成,且第二双晶片绕第二轴的卷绕程度可变;其中,第一双晶片和第二双晶片为双层结构,双层结构包括第一层和第二层,第一层的材料包括二氧化钒,第二层的材料包括铬。

3、从而,利用包括二氧化钒以及铬的双晶片制造了一种游泳机器人,并通过二氧化钒的相变驱动机制实现游泳机器人的驱动。由于使用全无机材料,使得在液体工作环境下,游泳机器人的性能和寿命得以提升。并且,由于机器人中的头部以及尾部的连接关系以及对应形状,使得机器人的运动模式可以被控制。

4、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,其中:第一边与第二边连接,第一边为第一双晶片发生卷曲的边,第二边为第二双晶片未发生卷绕的边。从而,通过两个连接的双晶片进行对应的卷曲以及卷绕,一体成型形成游泳机器人。

5、结合第一方面,在第一方面的某些实现方式中,第二边连接于第一边的中点。通过控制连接位置,使得机器人的运动模式进一步精确控制。

6、第二方面,提供了一种制备方法,用于制备游泳机器人,方法包括:在基底上沉积氧化钒,并进行有氧退火,以使氧化钒转换为二氧化钒;在二氧化钒的第一区域沉积铬,以利用铬在基底上形成第一双晶片和第二双晶片的图案;刻蚀掉二氧化钒中除第一区域外的区域,以获得与基底相接的第一双晶片和第二双晶片,其中,第一双晶片为第一长条形,第二双晶片为第二长条形,其中,第一边与第二边连接,第一边为第一双晶片待发生卷曲的边,第二边为第二双晶片不发生卷绕的边;分离第一双晶片和基底,并分离第二双晶片和基底,以释放有氧退火的过程中积累的热应力,热应力使得第一双晶片绕第一轴自发卷曲形成游泳机器人的头部,第二双晶片绕第二轴自发卷绕形成游泳机器人的尾部。

7、从而,通过沉积、光刻、刻蚀等步骤,释放沉积过程中积累的热应力,从而机器人的最终卷绕形状能够一体成型,提高机器人的制备成功率,上述方式同样适用于规模化制造机器人。

8、结合第二方面,在第二方面的某些实现方式中,所述第二边连接于所述第一边的中点。通过控制连接位置,使得机器人的运动模式进一步精确控制。

9、结合第二方面,在第二方面的某些实现方式中,所述基底为石英,石英的面内主取向与第一边垂直。通过利用具有各向异性的石英制备双晶片,并控制长条形双晶片的方向与石英取向之间的关联,从而使得双晶片对应卷绕形成相应的圆筒形和螺旋形,精准控制机器人的成型。

10、结合第二方面,在第二方面的某些实现方式中,基底为石英,石英的面内主取向与第三边的夹角为锐角,第三边为第二双晶片待发生卷绕的边。通过利用具有各向异性的石英制备双晶片,并控制长条形双晶片的方向与石英取向之间的关联,从而使得双晶片对应卷绕形成相应的圆筒形和螺旋形,精准控制机器人的成型。

11、结合第二方面,在第二方面的某些实现方式中,石英的面内主取向与第三边的夹角为45度。从而精准控制机器人中尾部螺旋形的成型。



技术特征:

1.一种仿精子的游泳机器人,其特征在于,包括头部和尾部,其中:

2.根据权利要求1所述的游泳机器人,其特征在于,其中:

3.根据权利要求2所述的游泳机器人,其特征在于,所述第二边连接于所述第一边的中点。

4.一种制备方法,其特征在于,用于制备游泳机器人,所述方法包括:

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述第二边连接于所述第一边的中点。

6.根据权利要求4或5所述的制备方法,其特征在于,所述基底为石英,所述石英的面内主取向与所述第一边垂直。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的制备方法,其特征在于,所述基底为石英,所述石英的面内主取向与第三边的夹角为锐角,所述第三边为所述第二双晶片待发生卷绕的边。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述石英的面内主取向与所述第三边的夹角为45度。


技术总结
本申请提供了一种仿精子的游泳机器人和制备方法,该游泳机器人包括头部和尾部,其中:头部为圆筒形,头部由第一长条形的第一双晶片绕第一轴卷曲而形成,且第一双晶片绕第一轴的卷曲程度可变;尾部的一端连接于头部的一个边缘,尾部为螺旋形,尾部由第二长条形的第二双晶片绕第二轴卷绕而形成,且第二双晶片绕第二轴的卷绕程度可变;其中,第一双晶片和第二双晶片为双层结构,双层结构包括第一层和第二层,第一层的材料包括二氧化钒,第二层的材料包括铬。从而利用仿精子的特定结构,以及无机材料二氧化钒的相变驱动机理,实现一种同时具有高性能,高寿命,以及高可控性的微型游泳机器人。

技术研发人员:马赫,张猛,李媛,张新平
受保护的技术使用者:北京工业大学
技术研发日:
技术公布日:2024/5/29
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