晶圆片的脏面清洁设备的制作方法

专利检索2025-07-12  9


本申请涉及清洁设备的领域,尤其是涉及一种晶圆片的脏面清洁设备。


背景技术:

1、晶圆片一般指硅晶片,是由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,被广泛应用于集成电路的制造。

2、晶圆片在转运、加工的过程中,为了保护晶圆片的表面,背面会贴一层粘合剂薄膜,在完成一定的工艺加工后,需要对背面的粘合剂薄膜层粉末化,再清理粉末化的粘合剂薄膜层,从而实现去除掉粘合剂薄膜,获取所要的晶圆片,晶圆片的脏片即晶圆片上粘合剂层粉末化的面。

3、但是,人工拉扯胶带粘接粉末化的粘合剂薄膜层耗费人力,清理效率较低。


技术实现思路

1、为了提高清理效率,本申请提供一种晶圆片的脏面清洁设备。

2、本申请提供的一种晶圆片的脏面清洁设备采用如下的技术方案:

3、一种晶圆片的脏面清洁设备,包括上料组件、夹持件、控制组件和胶带,所述夹持件连接于上料组件,所述夹持件用于夹持工件,所述上料组件用于转运工件,所述控制组件包括安装架、放卷辊和收卷辊,所述放卷辊和收卷辊均绕自身轴线转动连接于安装架,所述放卷辊的轴线和收卷辊的轴线相互平行,所述胶带的一端连接于放卷辊的外壁,所述胶带的另一端连接于收卷辊的外壁,所述胶带的粘接面用于粘接晶圆片的脏面。

4、通过采用上述技术方案,夹持件对工件夹持,上料组件带动夹持件移动,将工件移动到正确的位置,收卷辊转动带动胶带移动,胶带对晶圆片的脏面进行粘接清洁,通过上料组件与控制组件的配合实现对晶圆片脏面清洁的自动化,提高清理效率。

5、优选的,所述上料组件包括支撑架、旋转盘、连接板、升降座和旋转电机,所述旋转盘绕自身轴线转动连接于支撑架,所述旋转盘的转动轴线竖直,所述连接板固定连接于旋转盘的上端,所述升降座滑动连接于连接板,所述升降座的滑动方向竖直,所述旋转电机的电机壳固定连接于升降座,所述旋转电机的电机轴固定连接于夹持件。

6、通过采用上述技术方案,旋转盘、升降座和旋转电机相互配合,便于精准调整晶圆片脏面的位置,便于供胶带粘接,提高清洁效率。

7、优选的,所述控制组件还包括第一输料辊、第二输料辊和导向辊,所述第一输料辊、第二输料辊和导向辊均绕自身轴线转动连接于安装架,所述第一输料辊的轴线平行于收卷辊的轴线,所述第二输料辊的轴线和导向辊的轴线均平行于第一输料辊的轴线,所述第一输料辊和第二输料辊均设于收卷辊和放卷辊的上方,所述导向辊设于第二输料辊和收卷辊之间,所述胶带从放卷辊放出后依次绕过第一输料辊、第二输料辊和导向辊后被收卷辊收卷,所述收卷辊设于第二输料辊靠近第一输料辊的一侧,所述导向辊设于收卷辊的正上方。

8、通过采用上述技术方案,第二输料辊与导向辊之间的胶带用于对晶圆片的脏面粘接,粘接后的胶带移动到导向辊与收卷辊之间,导向辊在收卷辊的正上方使得导向辊与收卷辊之间的胶带竖直,便于观察粘接脏面后的胶带,便于判断脏面是否清洁干净。

9、优选的,所述控制组件还包括隔板,所述隔板固定连接于安装架,所述放卷辊和第一输料辊设于隔板的一侧,所述第二输料辊、导向辊和收卷管设于隔板的另一侧。

10、通过采用上述技术方案,隔板将收卷辊和放卷辊隔开,减少了收卷辊所在的隔板一侧的脏物污染放卷辊的概率。

11、优选的,所述控制组件还包括张紧辊,所述张紧辊绕自身轴线转动连接于安装架,所述张紧辊的轴线平行于第一输料辊的轴线,所述张紧辊设于第一输料辊与放卷辊之间,所述张紧辊设于第一输料辊远离第二输料辊的一侧,所述胶带从放卷辊放出依次绕过张紧辊、第一输料辊、第二输料辊和导向辊后被收卷辊收卷。

12、通过采用上述技术方案,张紧辊使得胶带张紧,便于张紧的胶带清理晶圆片脏面,调高对晶圆片脏面的清理效率。

13、优选的,所述控制组件还包括清洁辊,所述清洁辊绕自身轴线转动连接于安装架,所述清洁辊的转动轴线平行于收卷辊的转动轴线,所述清洁辊设于第二输料辊和导向辊之间,所述清洁辊设于导向辊的轴线远离第二输料辊的一侧。

14、通过采用上述技术方案,清洁辊将胶带下压,使得胶带贴合晶圆片脏面,收卷辊转动带动胶带移动,便于对晶圆片脏面粘接,且胶带与晶圆片的接触面积较小,便于分离胶带与晶圆片。

15、优选的,所述控制组件还包括安装座,所述安装架滑动连接于安装座,所述安装架的滑动方向水平且垂直于清洁辊的轴线。

16、通过采用上述技术方案,安装架移动的同时,收卷辊转动使得胶带移动,便于对晶圆片的脏面进行全面的粘接清洁,提高清理效率。

17、优选的,所述安装座的上端连接有导轨,所述安装架的下端设有导向槽,所述导轨滑动嵌于导向槽内。

18、通过采用上述技术方案,导轨对安装架的滑动进行导向,便于控制安装架稳定的滑动,提高清理效率。

19、优选的,晶圆片的脏面清洁设备还包括拍摄件,所述拍摄件包括支架和摄像头,所述摄像头连接于支架,所述摄像头用于拍摄导向辊与收卷辊之间胶带。

20、通过采用上述技术方案,摄像头对导向辊和收卷辊之间粘接脏面的胶带进行拍摄,便于观察晶圆片脏面是否清理干净,未清理干净重新进行清理,提高清理质量。

21、综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:

22、1.夹持件对工件夹持,上料组件带动夹持件移动,将工件移动到正确的位置,收卷辊转动带动胶带移动,胶带对晶圆片的脏面进行粘接清洁,通过上料组件与控制组件的配合实现对晶圆片脏面清洁的自动化,提高清理效率;

23、2.第二输料辊与导向辊之间的胶带用于对晶圆片的脏面粘接,粘接后的胶带移动到导向辊与收卷辊之间,导向辊在收卷辊的正上方使得导向辊与收卷辊之间的胶带竖直,便于观察粘接脏面后的胶带,便于判断脏面是否清洁干净;

24、3.安装架移动的同时,收卷辊转动使得胶带移动,便于对晶圆片的脏面进行全面的粘接清洁,提高清理效率。



技术特征:

1.一种晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:包括上料组件(2)、夹持件(3)、控制组件(4)和胶带(5),所述夹持件(3)连接于上料组件(2),所述夹持件(3)用于夹持工件,所述上料组件(2)用于转运工件,所述控制组件(4)包括安装架(42)、放卷辊(471)和收卷辊(472),所述放卷辊(471)和收卷辊(472)均绕自身轴线转动连接于安装架(42),所述放卷辊(471)的轴线和收卷辊(472)的轴线相互平行,所述胶带(5)的一端连接于放卷辊(471)的外壁,所述胶带(5)的另一端连接于收卷辊(472)的外壁,所述胶带(5)的粘接面用于粘接晶圆片的脏面。

2.根据权利要求1所述的晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:所述上料组件(2)包括支撑架(21)、旋转盘(22)、连接板(25)、升降座(26)和旋转电机(28),所述旋转盘(22)绕自身轴线转动连接于支撑架(21),所述旋转盘(22)的转动轴线竖直,所述连接板(25)固定连接于旋转盘(22)的上端,所述升降座(26)滑动连接于连接板(25),所述升降座(26)的滑动方向竖直,所述旋转电机(28)的电机壳固定连接于升降座(26),所述旋转电机(28)的电机轴固定连接于夹持件(3)。

3.根据权利要求1所述的晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:所述控制组件(4)还包括第一输料辊(451)、第二输料辊(452)和导向辊(491),所述第一输料辊(451)、第二输料辊(452)和导向辊(491)均绕自身轴线转动连接于安装架(42),所述第一输料辊(451)的轴线平行于收卷辊(472)的轴线,所述第二输料辊(452)的轴线和导向辊(491)的轴线均平行于第一输料辊(451)的轴线,所述第一输料辊(451)和第二输料辊(452)均设于收卷辊(472)和放卷辊(471)的上方,所述导向辊(491)设于第二输料辊(452)和收卷辊(472)之间,所述胶带(5)从放卷辊(471)放出后依次绕过第一输料辊(451)、第二输料辊(452)和导向辊(491)后被收卷辊(472)收卷,所述收卷辊(472)设于第二输料辊(452)靠近第一输料辊(451)的一侧,所述导向辊(491)设于收卷辊(472)的正上方。

4.根据权利要求3所述的晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:所述控制组件(4)还包括隔板(44),所述隔板(44)固定连接于安装架(42),所述放卷辊(471)和第一输料辊(451)设于隔板(44)的一侧,所述第二输料辊(452)、导向辊(491)和收卷辊(472)设于隔板(44)的另一侧。

5.根据权利要求3所述的晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:所述控制组件(4)还包括张紧辊(461),所述张紧辊(461)绕自身轴线转动连接于安装架(42),所述张紧辊(461)的轴线平行于第一输料辊(451)的轴线,所述张紧辊(461)设于第一输料辊(451)与放卷辊(471)之间,所述张紧辊(461)设于第一输料辊(451)远离第二输料辊(452)的一侧,所述胶带(5)从放卷辊(471)放出依次绕过张紧辊(461)、第一输料辊(451)、第二输料辊(452)和导向辊(491)后被收卷辊(472)收卷。

6.根据权利要求3所述的晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:所述控制组件(4)还包括清洁辊(48),所述清洁辊(48)绕自身轴线转动连接于安装架(42),所述清洁辊(48)的转动轴线平行于收卷辊(472)的转动轴线,所述清洁辊(48)设于第二输料辊(452)和导向辊(491)之间,所述清洁辊(48)设于导向辊(491)的轴线远离第二输料辊(452)的一侧。

7.根据权利要求6所述的晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:所述控制组件(4)还包括安装座(41),所述安装架(42)滑动连接于安装座(41),所述安装架(42)的滑动方向水平且垂直于清洁辊(48)的轴线。

8.根据权利要求7所述的晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:所述安装座(41)的上端连接有导轨(411),所述安装架(42)的下端设有导向槽(4211),所述导轨(411)滑动嵌于导向槽(4211)内。

9.根据权利要求3所述的晶圆片的脏面清洁设备,其特征在于:晶圆片的脏面清洁设备还包括拍摄件(6),所述拍摄件(6)包括支架(61)和摄像头(62),所述摄像头(62)连接于支架(61),所述摄像头(62)用于拍摄导向辊(491)与收卷辊(472)之间胶带(5)。


技术总结
本申请涉及清洁设备的领域,尤其是一种晶圆片的脏面清洁设备,其包括上料组件、夹持件、控制组件和胶带,夹持件连接于上料组件,夹持件用于夹持工件,上料组件用于转运工件,控制组件包括安装架、放卷辊和收卷辊,放卷辊和收卷辊均绕自身轴线转动连接于安装架,放卷辊的轴线和收卷辊的轴线相互平行,胶带的一端连接于放卷辊的外壁,胶带的另一端连接于收卷辊的外壁,胶带的粘接面用于粘接晶圆片的脏面。夹持件对工件夹持,上料组件带动夹持件移动,将工件移动到正确的位置,收卷辊转动带动胶带移动,胶带对晶圆片的脏面进行粘接清洁,通过上料组件与控制组件的配合实现对晶圆片脏面清洁的自动化,提高清理效率。

技术研发人员:刘泽洋,杨帆,邵先情
受保护的技术使用者:上海微松工业自动化有限公司
技术研发日:20231113
技术公布日:2024/5/29
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