本发明涉及图像处理，尤其涉及一种扫描电镜图像的补偿方法、装置及存储介质、扫描电镜。
背景技术：
1、扫描电镜在扫描样品获取样品的电镜图像数据时，在信号反向模式下所采集到的第一张图像前几行有亮度偏低的现象，在信号正向模式下所采集到的第一张图像前几行有亮度偏高的现象。
技术实现思路
1、本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种扫描电镜图像的补偿方法，解决扫描电镜在刚开始扫描作业时图像采集效果存在异常的问题。
2、本发明的第二个目的在于提出一种扫描电镜图像的补偿方法。
3、本发明的第三个目的在于提出一种计算机可读存储介质。
4、本发明的第四个目的在于提出一种扫描电镜。
5、为达到上述目的，本发明第一方面实施例提出一种扫描电镜图像的补偿方法，所述扫描电镜包括电子束闸和探测器，所述方法包括：根据所述扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行通断控制；利用所述探测器分别得到所述电子束断开时产生的第一电信号和所述电子束导通时产生的第二电信号；根据所述第一电信号和目标偏置值对与所述第一电信号相邻所述第二电信号进行补偿，并根据补偿后的第二电信号生成所述目标样品的扫描电镜图像。
6、根据本发明实施例的扫描电镜图像的补偿方法，通过获取电子束断开时探测器产生的第一电信号以及电子束闸导通时探测器产生的第二电信号，根据第一电信号和目标偏置值得到与第一电信号相邻第二电信号的补偿值，以在电子束导通时，用相邻电子束断开时所获得补偿值，补偿有效样品图像的交流信号，解决扫描电镜在刚开始扫描作业时图像采集效果存在异常的问题。
7、另外，根据本发明上述实施例提出的扫描电镜图像的补偿方法还可以具有如下附加的技术特征：
8、根据本发明的一个实施例，所述扫描电镜的扫描方式为不断重复地向一个方向扫描获取一行一行的扫描电镜子图像，所述根据所述扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行通断控制，包括：
9、当所述扫描电镜的扫描位点扫描至所述目标样品的每一行右端结束位置时，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行断开控制；
10、扫描位点复位至所述目标样品的左侧，且向下偏转至下一行左侧起始位置时，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行导通控制。
11、根据本发明的一个实施例，以第一预设频率采集所述第一电信号，以第二预设频率采集所述第二电信号，所述第一预设频率大于所述第二预设频率。
12、根据本发明的一个实施例，当所述第二预设频率小于预设扫描频率阈值时，设置所述第一预设频率，使所述第一预设频率大于或等于所述预设扫描频率阈值，其中，所述预设扫描频率阈值由至少需要采集的所述第一电信号的个数、当前扫描复位时间和待去除的切换瞬时时长确定。
13、根据本发明的一个实施例，所述根据所述第一电信号和目标偏置值对与所述第一电信号相邻所述第二电信号进行补偿，包括：计算以所述第一预设频率采集得到的所述第一电信号的平均值；根据所述平均值和目标偏置值对与所述第一电信号相邻所述第二电信号进行补偿。
14、根据本发明的一个实施例，所述根据所述第一电信号和目标偏置值对与所述第一电信号相邻所述第二电信号进行补偿之前，所述方法还包括：确定通过所述电子束闸控制到达所述目标样品的电子束的断开持续时间达到预设时间。
15、根据本发明的一个实施例，所述目标偏置值是在所述扫描电镜图像的亮度恢复至预设目标亮度时，根据利用所述探测器得到的电信号确定的。
16、为达到上述目的，本发明第二方面实施例提出了一种扫描电镜图像的补偿装置，所述扫描电镜包括电子束闸和探测器，所述装置包括：控制模块，用于根据所述扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行通断控制；生成模块，用于利用所述探测器分别得到所述电子束断开时产生的第一电信号和所述电子束导通时产生的第二电信号；补偿模块，用于根据所述第一电信号和目标偏置值对与所述第一电信号相邻所述第二电信号进行补偿，并根据补偿后的第二电信号生成所述目标样品的扫描电镜图像。
17、为达到上述目的，本发明第三方面实施例提出了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，实现如本发明第一方面实施例提出的扫描电镜图像的补偿方法。
18、为达到上述目的，本发明第四方面实施例提出了一种扫描电镜，包括电子束闸、探测器和控制器，所述控制器与所述电子束闸和所述探测器分别连接，包括存储器、处理器，所述存储器上存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现如本发明第一方面实施例提出的扫描电镜图像的补偿方法。
19、本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
1.一种扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述扫描电镜包括电子束闸和探测器，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述扫描电镜的扫描方式为不断重复地向一个方向扫描获取一行一行的扫描电镜子图像，所述根据所述扫描电镜对目标样品的扫描情况，通过所述电子束闸对到达所述目标样品的电子束进行通断控制，包括：
3.根据权利要求2所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，以第一预设频率采集所述第一电信号，以第二预设频率采集所述第二电信号，所述第一预设频率大于所述第二预设频率。
4.根据权利要求3所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，
5.根据权利要求3或4所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述根据所述第一电信号和目标偏置值对与所述第一电信号相邻所述第二电信号进行补偿，包括：
6.根据权利要求2所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述根据所述第一电信号和目标偏置值对与所述第一电信号相邻所述第二电信号进行补偿之前，所述方法还包括：
7.根据权利要求6所述的扫描电镜图像的补偿方法，其特征在于，所述目标偏置值是在所述扫描电镜图像的亮度恢复至预设目标亮度时，根据利用所述探测器得到的电信号确定的。
8.一种扫描电镜图像的补偿装置，其特征在于，所述扫描电镜包括电子束闸和探测器，所述装置包括：
9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时，实现如权利要求1-7中任一项所述的扫描电镜图像的补偿方法。
10.一种扫描电镜，其特征在于，包括电子束闸、探测器和控制器，所述控制器与所述电子束闸和所述探测器分别连接，包括存储器、处理器，所述存储器上存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现如权利要求1-7中任一项所述的扫描电镜图像的补偿方法。
