本发明涉及一种基板药品处理系统，尤其涉及一种为了夹紧把持电路基板的边缘部位而配备有在上、下部夹钳上分别配置有夹紧磁铁的多个上、下部夹钳，可以通过将配备有上、下部夹钳的基板载具夹具倾斜旋转成倾斜的角度而使得如蚀刻液等药品均匀地对基板的表面进行处理，同时还可以通过最大限度地减小上、下部夹钳所把持的电路基板的接触面积而减少如蚀刻液等药品的滞留现象，进而通过在上、下部夹钳的端部形成在与基板的上、下侧接触的部位以不同的形态凸出的第一、第二凸出部而诱导液体的排出并借此预防蚀刻液的滞留现象的结构得到改良的基板药品处理系统。
背景技术：
1、通常来讲，印刷电路基板(printed circuit board：pcb)是指一种在如电子通信设备等中使用的最基本的部件，最近伴随着电子产品向小型化、薄型化、高密度化、封装(package)化以及个人便携化发展的轻薄短小化的趋势，形成多层的电路层的多层化、使电路图案微细化的微细图案化、小型化以及封装化都在同时发展。
2、因此，为了在印刷电路基板上形成微细图案并提升其可靠性以及设计密度，呈现出了向在对原材料进行变更的同时对电路的层构成进行复合化的结构发展的趋势，部件也从双列直插封装(dip，dual in-line package)类型发展成了表面安装技术(smt，surfacemount technology)类型，其安装密度也在逐步升高。
3、此外，印刷电路基板包括用于对多个电子部件进行电性连接的电路图案，还包括与电路图案电性连接的凸块。其中，所述电子部件与所述凸块电性连接并安装在所述印刷电路基板上，从而将所述电子部件与所述电路图案彼此电性连接。
4、最近，为了顺应半导体以及显示装置产业的发展并迎合渴望轻薄短小的产品的消费者们的需求，急需开发出一种可以对以玻璃粘合的形态制造的显示面板(panel)进行薄型化的技术。此外，更具体地来讲，用于在基板上形成微细图案的蚀刻技术也被受人们的关注。
5、即，伴随着装置的薄型化，在如液晶显示器(lcd)的基板等中使用的玻璃的厚度也需要实现超薄型化，而如上所述的薄型化的技术可以通过显示面板(panel)的蚀刻来实现。
6、作为目前众所周知的利用化学蚀刻法对面板进行薄型化的现有技术，包括如浸涂法(dip)以及喷涂法(spray)等。
7、尤其是，对于如喷涂法等通过从大型玻璃基板的外部供应蚀刻液而对基板的一侧面进行蚀刻或纤细化(薄型化)的单面蚀刻来讲，通常会执行如下所述的过程。
8、首先，为了将基板贴紧并固定到用于对基板进行固定的基板台上而形成保护膜(如胶带等)，并在贴紧基板之后对基板与基板台的接触面进行封口密封，接下来通过利用蚀刻模块向基板的一侧面供应蚀刻液而执行蚀刻。
9、但是，如上所述的蚀刻工程是在蚀刻之前的基板厚度为一定程度以上的状态下执行蚀刻，而在蚀刻之后是以基板被薄型化成极薄厚度的状态结束，而在接下来移除封口材料并撕除胶带的情况下，可能会导致基板上的功能性膜受到损伤或基板蚀刻面的另一侧面上的电路受到损伤的问题发生。
10、作为现有的与基板载具用夹具相关的先行技术，如在韩国注册专利公报第10-1038572号“配备有真空基板夹具的基板药品处理系统”(注册日期：2011.05.26)中公开的内容，作为一种通过利用蚀刻液供应模块向基板上供应蚀刻液而对基板进行薄型化或形成图案的药物处理系统，包括：真空基板夹具主体，以与基板对应的形状形成；多个真空孔，在所述真空基板夹具主体上形成，与基板吸附用真空管路连接；以及，密封用封口部，对贴紧到所述真空基板夹具面的基板面进行密封。
11、如上所述，在适用真空压的情况下，因为需要在所述底板上安装真空流路以及真空软管，因此不仅会导致基板结构变得复杂的问题，而且需要追加安装用于形成真空压的单独的真空装置，从而会导致制造成本显著增加以及所述印刷电路基板因为真空压而受到损伤的问题发生。
12、作为现有的与基板载具夹具相关的另一先行技术，如在韩国公开专利公报第10-2022-150488号“基板处理装置的基板把持用夹具装置”(公开日期：2022.11.11)中公开的内容，作为为了在将基板以垂直竖立的状态下连续移动的同时进行处理的基板处理装置中对各个基板进行把持而使用的装置，包括：夹具框架，由上部杆、下部杆、左侧杆以及右侧杆构成矩形形态；上、下部夹钳，沿着所述上部杆以及下部杆的延长方向分别安装有多个，用于对所述基板的上、下端进行把持；以及，侧端把持机构，安装在所述左侧杆以及右侧杆中的某一处以上，用于对所述基板的侧端部进行把持。
13、在如上所述的情况下，因为上、下部夹钳以及侧端把持机构将弹性地以夹钳的形态夹紧把持基板的边缘部位，因此蚀刻液会滞留在被上、下部夹钳以及侧端把持机构夹紧的基板的边缘部位，从而导致所蚀刻的基板的厚度平整度下降以及蚀刻效果下降的问题。
14、先行技术文献
15、专利文献
16、(专利文献1)韩国注册专利公报第10-1038572号“配备真空基板夹具的基板药品处理系统”(注册日期：2011.05.26)
17、(专利文献2)韩国公开专利公报第10-2022-150488号“基板处理装置的基板把持用夹具装置”(公开日期：2022.11.11)
技术实现思路
1、本发明旨在解决如上所述的诸多问题，其目的在于提供一种为了夹紧把持电路基板的边缘部位而配备有在上、下部夹钳上分别配置有磁铁的多个上、下部夹钳，可以通过将配备有上、下部夹钳的基板载具夹具倾斜旋转成倾斜的角度而使得蚀刻液均匀地对基板的表面进行蚀刻，同时还可以通过最大限度地减小上、下部夹钳所把持的电路基板的接触面积而减少蚀刻液的滞留现象，进而通过在上、下部夹钳的端部形成在与基板的上、下侧接触的部位以不同的形态凸出的第一、第二凸出部而诱导液体的排出并借此预防蚀刻液的滞留现象的结构得到改良的基板药品处理系统。
2、为了达成如上所述的目的，本发明的特征在于，包括：处理槽，用于执行对基板的药品工程或水洗工程；第一、第二主体，配置在所述处理槽的左、右两侧，配备有用于对夹紧或解除夹紧基板的基板载具夹具进行循环移送的移送设备；第一装卸单元，以可上、下升降的方式配置在所述第一主体，用于在进行下降动作时与所述基板载具夹具的上部夹钳发生干涉，从而使得所述上部夹钳发生旋转并借此将基板的边缘安置在下部夹钳的一端部；基板供应部，配备于所述第一主体，用于向借助于所述第一装卸单元解除上、下部夹钳的夹紧状态的基板载具夹具的上侧供应基板；第一倾斜单元，配备于所述第一主体，用于在基板被夹紧到所述基板载具夹具的上、下部夹钳的状态下，将基板载具夹具倾斜旋转到倾斜角度；第一移送部，用于将所述基板载具夹具从所述第一倾斜单元经由所述处理槽移送到所述第二主体一侧；第二倾斜单元，配置在所述第二主体内，用于将从所述第一移送部供应过来的基板载具夹具倾斜旋转到倾斜角度；第二装卸单元，以可进行升降动作的方式配置在所述第二主体内，用于在进行下降动作时解除从所述第二倾斜单元供应过来的基板载具夹具的上、下部夹钳对基板的夹紧状态；基板排出部，用于从所述基板载具夹具的上、下部夹钳吸附所述已经解除夹紧状态的基板并排出到外部；第二升降单元，配置在所述第二主体内，用于使得已经卸下所述基板的基板载具夹具进行下降动作；第二移送部，用于将借助于所述第二升降单元进行下降动作的基板载具夹具移送到所述第一主体的下部一侧；以及，第一升降单元，配置在所述第一主体内，用于使得借助于所述第二移送部移送过来的基板载具夹具进行上升动作。
3、所述第一、第二装卸单元，包括：框架主体，分别固定到所述第一、第二主体内；多个接触框架，配置在所述框架主体，借助于升降执行机构进行上、下升降动作；以及，对齐组件，用于将所述基板载具夹具对齐到准确的位置。
4、所述对齐组件，包括：限位器部件，用于在对所述基板载具夹具进行移送时使其停止在对应于左、右侧方向的准确位置上；以及，移动执行机构，将基板载具夹具向前、后方向进行移动，用于使被所述限位器部件停止的所述基板载具夹具停止在对应于前、后方向的准确位置上。
5、所述第一、第二倾斜单元，包括：固定板，分别固定到第一、第二主体内；倾斜主体，配置在所述固定板的上侧，可供从所述第一、第二装卸单元移送过来的基板载具夹具安置，一侧部位作为旋转销以可旋转的方式配置在所述固定板；以及，倾斜执行机构，通过倾斜杆连接到所述倾斜主体的下部，以所述旋转销为中心驱动所述倾斜主体进行倾斜旋转。
6、所述基板载具夹具，包括：夹紧框架，由第一、第二以及第三、第四框架构成；上、下部夹钳，以分别与所述夹紧框架的第一、第二框架以及第三、第四框架相隔的方式配置，分别配置有用于对基板的边缘部位进行夹紧把持的夹紧磁铁，从而使得上部夹钳在磁铁的引力作用下以铰链轴为中心进行旋转动作；第一凸出部，从所述上部夹钳的一端部下侧面向下侧凸出形成；以及，第二凸出部，从所述下部夹钳的一端部上侧面向上侧凸出形成，且为了排出液体而由彼此相隔的多个凸起构成。
7、所述上部夹钳，在另一端部形成有通过与所述铰链销相比向外侧延长并在装卸单元进行下降动作时发生干涉而将所述上部夹钳向上侧旋转的延长部，而所述下部夹钳，在上部面一端部侧形成有阶梯状凹入的断坎部。
8、所述第一、第二凸出部，为了与基板的接触而由硅树脂材质构成。
9、所述夹紧框架，还包括：张力调节组件，介于所述第一、第二框架的一端部与所述第四框架之间，用于通过对所述第一、第二框架与第四框架之间的间隔进行调节而维持张力。
10、所述张力调节组件，包括：第一连接块，以与所述第一、第二框架的一端部重叠的方式通过螺栓进行结合，配备有第一调节磁铁；第二连接块，以与所述第四框架的一端部以及另一端部分别重叠的方式通过螺栓进行结合，为了与所述第一调节磁铁形成斥力而配备有相同磁极极性的第二调节磁铁，相对于所述第一连接块相隔配置；连接孔，在所述第一连接块的内部形成；以及，导向销，以嵌入到导向衬套的方式配置在所述第二连接块的内部并以端部嵌入到所述连接孔的方式结合，从而用于对所述第一、第二连接块的水平方向运动进行导向。
11、所述上、下部夹钳，为了最大限度地减小与基板的接触面积而在一端部形成有体积小于中间部位的宽度体积的第一、第二把持部，且在所述第一、第二把持部彼此接触的部位形成有所述第一、第二凸出部。
12、在所述铰链销中，结合有在所述上部夹钳向下部夹钳一侧旋转的方向上具有弹性力的弹性弹簧，从而提供复位力。
13、本发明为了夹紧把持基板50的边缘部位而配备有在上、下部夹钳120、130上分别配置有夹紧磁铁121、131的多个上、下部夹钳120、130，可以通过将配备有上、下部夹钳120、130的基板载具夹具100倾斜旋转成倾斜的角度而使得如蚀刻液等药品均匀地对基板50的表面进行处理，同时还可以通过最大限度地减小上、下部夹钳120、130所把持的基板50的接触面积而减少如蚀刻液等药品的滞留现象，进而通过在上、下部夹钳120、130的端部形成在与基板50的上、下侧接触的部位以不同的形态凸出的第一、第二凸出部125、135而诱导液体的排出并借此预防蚀刻液的滞留现象。
14、本发明可以通过第一、第二装卸单元300a、300b的接触框架320的升降动作轻易地完成可借助于铰链销140以及弹性弹簧150进行旋转的上部夹钳120的夹紧以及解除夹紧动作。
15、此外，本发明可以通过利用调节磁铁的斥力对由第一、第二以及第三、第四框架111、112、113、114构成矩形框形态的载具夹具100的第一、第二框架111、112的长度进行调节而维持载具夹具100的张力。
1.一种基板药品处理系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基板药物处理系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的基板药物处理系统，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的基板药物处理系统，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的基板药物处理系统，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的基板药物处理系统，其特征在于，
7.根据权利要求5所述的基板药物处理系统，其特征在于，
8.根据权利要求5所述的基板药物处理系统，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的基板药物处理系统，其特征在于，
10.根据权利要求5所述的基板药物处理系统，其特征在于，
11.根据权利要求5所述的基板药物处理系统，其特征在于，
