本申请涉及制造半导体器件的方法和设备，尤其涉及一种灵活路由的派工方法和派工系统。
背景技术：
1、晶圆厂派工场景十分复杂，体现在生产场景复杂，包括扩散区、光刻区、刻蚀区等典型生产区域的往复式生产场景；派工场景的复杂性还体现在派工对象多元化，除了晶圆，生产中的非生产片、晶圆盒等都需要派工系统进行派工。不同派工场景需要不同的派工策略，如何根据场景的特性灵活匹配策略是目前派工系统亟需解决的问题。
2、目前晶圆厂的通用方法是将派工策略和机台进行一对一绑定。该方法的缺点是缺乏灵活性，晶圆厂机台有上万台，策略绑定需要消耗大量时间、新增或策略版本升级需要重新绑定机台，可维护性差，并且上述方法仅规定了机台的派工策略，未规定晶圆等派工对象的策略，无法获知派工对象下一步去哪个机台进行生产。
技术实现思路
1、本申请的一个目的是提供一种灵活路由的派工方法和派工系统，至少用以解决派工策略缺乏灵活性的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请的一些实施例提供了以下几个方面：
3、第一方面，本申请提供了一种灵活路由的派工方法，包括：
4、确定当前派工场景的类别；
5、响应于用户输入的至少一个参数，在派工场景的类别下匹配派工策略的路由；
6、根据所述路由命中派工策略得到策略执行的结果。
7、可选的，所述类别包括指定机台派工和指定晶圆派工；
8、在指定机台派工类别下，所述参数包括机台id、机台组id和机台所在区域；在指定晶圆派工类别下，所述参数包括晶圆批次的id、晶圆所处的加工步骤和晶圆所属的产品型号。
9、可选的，所述派工策略的路由包括路由条件、运行策略和并行策略；
10、所述响应于用户输入的至少一个参数，在派工场景的类别下匹配派工策略的路由，包括：
11、在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略。
12、可选的，在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略，包括：
13、如果机台id为第一参数，确定所述第一参数对应的机台的第一运行策略和并行的第二运行策略；所述第一运行策略为任意版本策略，如果所述第一运行策略为最新策略版本，策略版本更新后会自动匹配最新版本内容无需对现有路由进行修订。
14、如果机台id为第二参数，调用随机函数生成随机比例；根据所述随机比例确定所述第二参数对应的机台的运行策略；
15、为了方便描述和区分，这里的第一参数和第二参数表示不同的参数，不具有顺序含义。
16、可选的，在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略，包括：
17、如果机台组id为第三参数，确定所述第三参数对应的机台组的运行策略和并行策略。
18、可选的，在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略，包括：
19、如果晶圆批次的id为第四参数，确定所述第四参数对应的晶圆批次的第三运行策略和并行的第四运行策略；所述第三运行策略为任意版本策略，如果所述第三运行策略为最新策略版本，策略版本更新后会自动匹配最新版本内容无需对现有路由进行修订。
20、为了方便描述和区分，这里的第一运行策略、第二运行策略、第三运行策略和第四运行策略表示不同的运行策略，不具有顺序含义。
21、可选的，在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略，包括：
22、根据参数组合确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略；
23、所述参数组合包括生产所需的至少两个参数。
24、可选的，根据所述路由命中派工策略并执行命中的派工策略，包括：
25、将所述至少一个参数按照路由的优先级对各路由进行匹配，确定匹配的路由；
26、命中匹配的路由的派工策略；
27、执行命中的派工策略。
28、可选的，所述路由通过表达式实现。
29、第二方面，本申请还提供一种派工系统，执行任一项所述的灵活路由的派工方法，并将策略执行的结果反馈给请求端，所述请求端至少包括制造执行系统。
30、相较于现有技术，本申请实施例提供的方案中，自定义的灵活路由配置弥补了现有只可以绑定机台进行whatnext派工的缺陷，可应对wherenext派工等更多派工场景，大大拓宽了派工系统的应用场景。晶圆厂系统管理人员无需在所有机台上进行策略绑定，只需在策略路由中定义特定策略适配的机台或机台组，策略迭代后可自动执行新策略无需重新进行绑定机台的操作，大大提升策略管理、配置的效率；可实现派工策略的灰度运行、分步上线，策略迭代更加安全可控，提升派工系统的派工质量，实现安全、稳定派工，创造经济效益。
1.一种灵活路由的派工方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的，其特征在于，所述类别包括指定机台派工和指定晶圆派工；在指定机台派工类别下，所述参数包括机台id、机台组id和机台所在区域；在指定晶圆派工类别下，所述参数包括晶圆批次的id、晶圆所处的加工步骤和晶圆所属的产品型号。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述派工策略的路由包括路由条件、运行策略和并行策略；
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略，包括：
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略，包括：
6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略，包括：
7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在当前派工场景下，根据所述至少一个参数匹配路由条件并确定所述路由条件对应的运行策略和并行策略，包括：
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述路由命中派工策略并执行命中的派工策略，包括：
9.根据权利要求1-8任一项所述的方法，其特征在于，所述路由通过表达式实现。
10.一种派工系统，其特征在于，执行权利要求1-9任一项所述的灵活路由的派工方法，将策略执行的结果反馈给请求端，所述请求端至少包括制造执行系统。
